水溶性负性光敏聚酰亚胺的制备

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1、摘要水溶性负性光敏聚酰亚胺的研究摘要本课题研究了一种新型的水系显影的负性聚酰亚胺(PI)及其合成方法，该聚合物以4，4．二胺基二苯醚(ODA)和均苯四酸二酐(PMDA)为基本原料，在合成的过程中加入了马来酸酐(MA)作为封端剂，并加入了2．二甲氨基乙醇(DMEA)和2．二甲氨基．乙烷基甲基丙烯酸酯(DMAMA)作为成盐剂和聚酰胺酸(PAA)反应生成聚酰胺酸盐(MA．PAD)，从而使生成的聚合物具有水溶性；另外，MA和DMAMA分子内的双键赋予了此种聚合物光敏的性质。把得到的MA．PAD溶液涂膜，在光

2、掩膜下，经紫外光光照处理，经水显影成像，再升温使其亚胺化，就可得到具有一定力学性能的图案化聚酰亚胺(PI)。本课题对得到的样品进行了核磁共振谱图(13C．NMR)，原子力显微镜(AFM)，扫描电子显微镜(SEM)，傅里叶转变红外光谱(FTIR)，以及热失重(TG)等测试。通过13C-NMR谱图和FTIR谱图可以看出MA已经封端，且DMEA和DMAMA成功与PAA分子链络合成盐；通过SEM图和AFM图可以看到聚酰亚胺薄膜的图案化，并且边界清晰、分辨率较高；通过对样品的TG分析，可以算出在加热过程中小分

3、子DMEA、DMAMA和水的脱除量，从而可计算出参与成盐的链节量。北京化一[大学硕上学位论文可溶光敏性聚酰亚胺具有优良的光成像性能和力学性能，在微电子加工领域有广泛的应用前景。关键词：聚酰胺酸盐，光敏，水溶性，负性，聚酰亚胺IIABSTRACTRESEARCHOFⅥ绡LTERSOLUBLEANDPHoToSENSITIVEPoLYIMIDEAnewkindofwatersolubleandphotosensitivepolyimide(PI)wassynthesizedandcharacterize

4、d．ThiskindofpolymerWasobtainedbythereactingbetweenODAandPMDA．Inthemeantime，someamountofMA，usedaschainterminator,andDMEA，DMAMA，whichwereusedtoreactwithpolyamide(PAA)toformpolyamidesalt，wereaddedtothereactionsystem．ThisreactionendowedtheobtainedPAAwithwa

5、tersolubility．Meanwhile，thecarbondoublebondsinMAandDMAMAaresensibletouv,andCanbeopenedtoformacrosslinksystem．TheobtainedPAAsolutionwascoatedonsiliconwafer,andtreatedbyUVunderphotomasks．ThenthecoatedfilmWaswashedbywatertogetthepatterns．Finally,thermotre

6、atmentprocedureswerecarriedouttothecoatedfilmstogetpolyimidefilmswithacceptablemechanicalintensity．Thesampleswerealsocharacterizedby13C-NMR,AFM，SEM，FTIR,andTG．WecanconfirmthatMA，DMEA，andDMAMAhavebeenconnectedtothePAAmainchainsbythespectrumof13C-NMRandF

7、TIR．北京化工大学硕上学位论文Also，theSEMandAFMpicturesshowthatPIfilmshaveformedregularandhighresolutionpatterns．Inaddition，theamountofreactedMA，DMEA，DMAMAcanbeobtainedintheTGanalysis．TheobtainedPIhasvaluablepotentialapplicationsinthemicro—electronicindustryforitssu

8、periorphotosensibilityandmechanicalintensity．KEYWARDS：polyamidesalt，photosensitive，watersoluble，negative，polyimideIV北京化工大学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在