ic制程专业词汇

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1、頁次英文名稱中文名稱1ActiveArea主動區（工作區）2ACETONE丙酮3ADI顯影後檢查4AEI蝕刻後檢查5AIRSHOWER空氣洗塵室6ALIGNMENT對準7ALLOY/SINTER熔合8AL/SI鋁/矽靶9AL/SI/CU鋁/矽/銅10ALUMINUN鋁11ANGLELAPPING角度研磨12ANGSTROM埃13APCVD（ATMOSPRESSURE）常壓化學氣相沈積14AS75砷15ASHING，STRIPPING電漿光阻去除16ASSEMBLY晶粒封裝17BACKGRINDING晶背研磨18BAKE,SOFTBAKE,HARDBAK

2、E烘烤，軟烤，預烤19BF2二氟化硼20BOAT晶舟21B.O.E緩衝蝕刻液22BONDINGPAD銲墊23BORON硼24BPSG含硼及磷的矽化物25BREAKDOWNVOLTAGE崩潰電壓26BURNIN預燒試驗27CAD電腦輔助設計28CDMEASUREMENT微距測試29CH3COOH醋酸30CHAMBER真空室,反應室31CHANNEL通道32CHIP,DIE晶粒33CLT（CARRIERLIFETIME）截子生命週期34CMOS互補式金氧半導體35COATING光阻覆蓋36CROSSSECTION橫截面37C-VPLOT電容,電壓圓38CW

3、QC全公司品質管制39CYCLETIME生產週期時間40CYCLETIME生產週期時間41DEFECTDENSITY缺點密度42DEHYDRATIONBAKE去水烘烤43DENSIFY密化44DESCUM電漿預處理45DESIGNRULE設計規範46EDSIGNRULE設計準則47DIEBYDIEALIGNMENT每FIELD均對準48DIFFUSION擴散49DIWATER去離子水50DOPING參入雜質51DRAM,SRAM動態,靜態隨機存取記憶體52DRIVEIN驅入53E-BEAMLITHOGRAPHY電子束微影技術54EFR（EARLYFAI

4、LURERATE）早期故障率55ELECTROMIGRATION電子遷移56ELECTRON/HOLE電子/電洞57ELLIPSOMETER橢圓測厚儀58EM（ELECTROMIGRATIONTEST）電子遷移可靠度測試59ENDPOINTDETECTOR終點偵測器60ENERGY能量61EPIWAFER磊晶晶片62EPROM(ERASABLE-PROGRAMMABLEROM）電子可程式唯讀記憶體63ESDELECTROSTATICDAMAGEELECTROSTATICDISCHARGE靜電破壞靜電放電64ETCH蝕刻65EXPOSURE曝光66FAB

5、RICATION（FAB）製造67FBFC（FULLBITFUNCTIONCHIP）全功能晶片68FIELD/MOAT場區69FILTRATION過濾70FIT（FAILUREINTIME）71FOUNDRY客戶委託加工72FOURPOINTPROBE四點偵測73F/S（FINESONICCLEAN）超音波清洗74FTIR傅氏轉換紅外線光譜分析儀75FTY（FINALTESTYIELD）76FUKEDEFECT77GATEOXIDE閘極氧化層78GATEVALVE閘閥79GEC（GOODELECTRICALCHIP）優良電器特性晶片80GETTERIN

6、G吸附81G-LINEG-光線82GLOBALALIGNMENT整片性對準與計算83GOI（GATEOXIDEINTEGRITY）閘極氧化層完整性84GRAINSIZE顆粒大小85GRRSTUDY(GAUGEREPEATABILITYANDREPRODUUCIBILITY）測量儀器重複性與再現性之研究86H2SO4硫酸87H3PO4磷酸88HCL氯化氫（鹽酸）89HEPA高效率過濾器90HILLOCK凸起物91HMDSHMDS蒸鍍92HNO3硝酸93HOTELECTRONEFFECT熱電子效應94I-LINESTEPPERI-LINE步進對準曝光機95

7、IMPURITY雜質96INTEGRATEDCIRCUIT（IC）積體電路97IONIMPLANTER離子植入機98IONIMPLANTATION離子植入99ISOTROPICETCHING等向性蝕刻100ITY（INTEGRATEDTESTYIELD）101LATCHUP栓鎖效應102LAYOUT佈局103LOADLOCK傳送室104LOTNUMBER批號105LPCVD（LOWPRESSURE）低壓化學氣相沈積106LPSINTER低壓燒結107LPY（LASERPROBEYIELD）雷射修補前測試良率108MASK光罩109MICRO,MICRO

8、METER,MICRON微，微米110MISALIGN對準不良111MOS金氧半導體112MP