pzt热释电薄膜材料的研究

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1、电子科技火学硕十论文摘要近年来，铁电薄膜材料的制备、结构、性能和应用已经成为国际上新型材料研究的一个热点。由于铁电薄膜材料具有良好的压电、热释电、铁电、电光及非线性光学性能，可广泛应用于微电子机械系统、铁电存储器和热释电红外探测器等方面，因而受到广泛的关注。PzT薄膜材料是目前研究较多的一类材料，它具有较高的自发极化、相对低的介电常数和损耗，是制备热释电薄膜非制冷红外探测器首选材料之一。本论文从实验上对PbZrozTio703[PZT(30，70)】和PZFNT[Pb(Zro58Feo2Nbo2Ti02)03】薄膜的制备工艺、微结构以及性能

2、进行了系统的研究。采用射频磁控溅射法在5英寸的Pt／Ti／Si02／Si基片上制各了PZT薄膜，并对薄膜进行快速退火处理。通过AFM和XRD的分析以及性能测试，结果表明：所制备的薄膜具有良好的介电、铁电和热释电性能，在优化条件下其热释电系数、介电常数、损耗、剩余极化以及探测优值分别为2．09×10-sC／era2K、630、1．4％、26uC／em2和2．81x10-9Ccm／J，基本满足热释电器件对薄膜材料性能的要求。同时还得到了薄膜制备工艺参数对薄膜微结构和性能影响的一些规律。此外，还采用RF磁控溅射法在5英寸的Pt／Ti／Si02／S

3、i和PZT／Pt／Ti／Si02／Si基片上制备了PZFNT薄膜，后处理采用快速退火工艺。对两种薄膜进行了分析，实验结果表明，采用PZT缓冲层可明显降低PZFNT薄膜的结晶温度，并对PZFNT薄膜的性能有显著的影响，使其介电和铁电性能得到提高。在优化工艺条件下，可获得热释电系数为6．4×10-9C／era2K，介电常数和损耗分别为1328和3．1％，剩余极化为29．8uC／cm2的铁电薄膜，该薄膜可望在铁电存储器和热释电红外探测器中得到应用。关键词tPZT薄膜，PZFNT薄膜，射频磁控溅射，快速退火，热释电电子科技人学硕十论文Abstrac

4、tRecently,thefabrication，structures，propertiesandapplicationsofferroelectricthinfilmshavegainedsignificanceinthenovelmaterialssciencea11over1heworld．Frroeleetriethinfilmshavebeenpaidmuchattectiontofortheirgoodpiezoelectric，pyroelectric，ferroelectric，elecuoopticandnon—linea

5、ropticalproperties，andtheirapplicationsinmicroelectromechanicalsystems,ferroelectricmemoriesandpyroelectricdetectors．PZTthinfilmsarebeinginvestigatedextensivelyintheferroelectricmaterials．BecausePZTthinfilmshavelargespontaneouspolarizationandsmalldielectricconstantanddiele

6、ctricloss，theyaretheappropriatematerialsforpyroelectricuncooledinfrareddetectors．Inthispaper，thefabricationprocess,．micro—structureandpropertiesofPbZr03Ti0703【PZT(30／70)]andPZFNTlyb(Zro．58Pc0．2Nbo2Ti02)03]thinfi]ITISweresystematicallystudiedfromexperimentalaspect．RFmagnetr

7、onsputteringtechnologyandtherapidthermalannealingprocesshavebeenutilizedtofabricatethePZTthinrimson5-inchPZT／Pt／Ti／Si02／Sisubstrates．Analysesbytheaidofatomfozcemicroscopy【'AFM)andX-raydiffraction(xRD)andmeasurementrevealthatthethinfilmshavegooddielectric，ferroelectricandpy

8、roelectricpropertiesintheoptimumprocess．Andthelhinfilmshavethepyroeleetriecoefficientof2．