lcos显示屏制备技术及其性能测试研究

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1、摘要硅基液晶显示器(LiquidCrystalonSilicon，LCoS)是一种新型微显示器件，它融合了当今信息产业的两大支柱技术——以单晶硅为衬底的CMOS器件集成技术和以透明平板硬质基底为封装盒的LCD显示技术，具备小尺寸、高分辨率、高光利用效率和低功耗等诸多优点，在投影显示以及近目显示系统中都有广泛的应用。本课题正是基于LCoS在近目头盔显示系统中的应用，深入研究了高分辨率VA(VerticalAlignment)工作模式LCoS的制备工艺和测试。论文在深入理解LCoS原理和工艺结构的基础上，阐述了LCoS与普通TFT-LCD在驱动

2、和电极结构的联系和区别，并且对LCoS工艺和驱动的特殊性做了详细的探讨。论文还对VA工作模式LCoS的特性进行了重点讨论并对工作参数的优化进行了模拟研究。通过软件模拟确定了适用于场序扫描的液晶材料参数、盒厚和电极结构参数，为LCoS屏制作提供了理论指导。以软件模拟的结果为基础，着重阐述了VA型LCoS液晶二[艺制备步骤。通过对现有普通扭曲向列(TN)液晶工艺改进和发展，在大量实验的基础，J二，得到了适合VA模式的工艺参数，并对影响LCoS液晶屏的反射率的主要参数：衬挚物的密度、摩擦取向及灌晶工艺，进行了莺点探讨，给出了工艺实验结果。完成了V

3、A型LCoS样屏的制备和对LCoS样屏的测试。通过搭建的实验平台测试了样品屏的光电特性曲线，得到了VA型LCoS的对比度，为LCoS显示器件的进一步研究打下了良好基础。关键词：LCoS，VA，参数模拟，液晶盒，光电特性AbstraetAbstractI。CoS(LiquidCrystalonSilicon)displayiSanewkindofflatpaneldisplay．ItiSacombinationofthetwomaiortechniquesofinformationscienceandtechnology,thatiS．the

4、CMOSintegrationtechniquebasedonsinglesiliconbackplaneandtheLCDfLiquidCrystalDisplaylwithtransparentplatbackplaneencapsulation．Becauseofitsobviousadvantagessuchassmallsize．highresolution，goodlightefficiencyandlOWconsumption，LCoSiSnowattractingmuchattentioninmanydifferentare

5、as．especiallyinprojectiondisplayandtheNear-Eyesystems．ThisPaperbasedontheuseofLCoSintheHelmet—Mpunteddisplaysystemgetsinvolvedinthetechnicsandtestingofhigh．resolutionVA—LCoS(VerticalAlignment．LCoS)in．depth．OnthebasisofunderstandingoftheLCoStheoryandprocessdeeply,thediffere

6、nceandsimilarbetweenofTFT-LCDandLCoSondriveandelectrodestructureareintroducedinthePaDer．Atthesametimetheparticul撕tyofthetechnicsanddriveofLCoSiSdiscussedindetail．’I'hePaDeralsointroducesthefeaturesofVA．LCoSandtheoptimizationkindsofparametersthroughsoftwaresimulation．Thepar

7、ametersofliquidcrystalmaterialsandthecellthicknesswiththeelectrodestructurewhicharesuitableforfieldsequentialscanningdisplayaredeterminedbythesoftwaresimulation．Accordingtoresultsoflotsofexperiments．thetechnicalparametersforVA．LCoSaregivenonthebasisofimprovementanddevelopm

8、entoftechnicsofLCD．ThemainstepsofliquidcrystaltechnicsforLCoS(includingthedensityofspacer