基于lcos相位调制器件的制备与测试

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1、隶。轫大◆粤硕士学位论文万方数据基于LCoS相位调制器件的制备与测试万方数据PREPARATIONANDMEASUREMENTOFLIQUIDCRYSTALONSILICONPHASEMODULATORAThesisSubmittedtoSoutheastUniversityfIlllIIlllIIIUllIIIIIIIIIIlrllIIfY2708596FortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYLIUPeilinSupervisedbyPro．LIQingSchoolofElectronicScienceandEngineering

2、SoutheastUniversityMay2014万方数据东南大学学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。研究生签名：日期：巡、么!三东南大学学位论文使用授权声明东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文

3、。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可以公布(包括以电子信息形式刊登)论文的全部内容或中、英文摘要等部分内容。论文的公布(包括以电子信息形式刊登)授权东南大学研究生院办理。一签名蛐搿瞧一．夕万方数据摘要空间光调制器件是近代光信息处理系统中的关键型器件，在光学图像处理，数据编译码，激光整形，光学镊子等诸多领域内得到了广泛的应用。特别是相位型的空间光调制器件，它通过改变入射光相位的方式来调制成像平面的振幅，与传统液晶显示器的光强调制方式相比，具备更高的光能利用率和更高的衍射效率，从而被广泛的用在光电混合信息处理系统中。LCoS

4、器件则是一种新型的液晶器件，具备光能利用率高，集成度高及分辨率高等优势，基于LCoS的相位调制器件具有更为广泛的应用前景。本文以硅基液晶相位调制器件为研究对象，研究其工作原理及影响相位调制特性的因素。并利用TechWiz软件进行模拟仿真，对比了不同的LCoS相位调制器件的工作模式，并对其优化和选择。采用反平行取向的工作模式，优化了影响其相位调制特性的关键工艺参数，并以理论计算及仿真模拟为指导，设计了LCoS相位调制器的结构材料参数。工艺中确定了各环节的工艺参数，流通了整个工艺流程，制备了LCoS相位调制器的样品。根据相位调制特性的测试方法，搭建了光学平台，对样品屏的光电特性及相

5、位调制特性进行了测试，分析了测试结果，为相位调制器件的进一步研究打下了良好的基础。关键词：硅基液晶器件，液晶工艺，相位调制器件，相位特性测试万方数据AbstractSpatiallightmodulatorsarethecriticaldeviceinmodemopticalinformationprocessingsystemandhavebeenwidelyusedinopticalimageprocessing，datacoding，lasersurgery,opticaltweezersandotherrelatedsubjects．Inparticular,theph

6、asespatiallightmodulator，whichcanmodulatetheamplitudeoftheincidentwavebychangingthephase，hashigherenergyefficiencyandhigherdiffractionefficiencywhenitwascomparedwithconventionalliquidcrystaldisplaymode，soitwillbewidelyusedintheopticalinformationprocessingsystem．Asanewliquidcrystaldevices，LCo

7、Shasmanyadvantages，suchashighenergyefficiency,highintegration，highresolutionandSOon．TheseadvantagesmakeLCoShasawiderrangeofapplications．Inthispaper，westudiedLCOSphasemodulator’Sprinciplesandthefactorsthataffectthecharacteristicsofphasemodulation．We