SJT11184-1998-显影设备通用.pdf

《SJT11184-1998-显影设备通用.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、ICS31.020L97备案号:2087-1998Si中华人民共和国电子行业标准SJ/T11184一1998显影设备通用规范Generalspecificationfordevelopingequipment1998-03-11发布1998-05-01实施中华人民共和国电子工业部发布前言本标准是对SJ3194-89(显影设备通用技术条件)的修订版本。本标准与SJ3194-89的主要技术差异如下:a)增加了定义;b)增加了安全和环保的要求;c)扩大了显影设备的使用范围，提高了对性能指标的要求。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本

2、标准起草单位:西北机器厂。本标准主要起草人:马化营、王彦宁、郝恭。中华人民共和国电子行业标准SI/T11184一1998显影设备通用规范代替Si3194-89Generalspecificationfordevelopingequipment1范围本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的显影设备。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都

3、会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191-90包装储运图示标志GB2681-81电工成套装置中的导线颜色GB2682-81电工成套装置中的指示灯和按钮颜色GB5080.7-86设备可靠性试验恒定失效率假设下的效率与平均无故障时间验证试验方案SJ1635-1996电子工业管路的基本识别色和识别符号SJ20385-93军用电子设备电气装配技术要求3定义本标准采用下列定义。3.1基片，ubstrate用于制作半导体器件、晶体管、声表面波器件的单晶硅、石英玻璃等材料的底片的统称。3.2显影developi

4、ng用溶剂去除未曝光部分(负胶)或曝光部分(正胶)，以得到所需要的光刻胶图形的过程。3.3承片台substratetable用以承载基片，并带动基片同步旋转的机械部件。分类与命名4.1按自动化程度可分为:a)自动显影设备;中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准1998-05-01实施SJ/T11184一1998b)半自动显影设备。4.2按有无供干方式分为:a)带烘干装置的显影设备;b)不带烘干装置的显影设备。43按加工基片几何形状可分为:a)圆片显影设备;b)方片显影设备。5要求5.1使用条件在下列条件下，设备应能正常

5、工作。a)环境a度:251C15'C;b)相对湿度:不大于60%;c)供电条件:电压380V士38V(三相)或220V土22V(单相);频率50Hz11Hz;d)基片:平行度<0.05mm,5.2一般要求5.2.1设备应按规定程序批准的图样及技术文件制造。5.2.2设备的电气装配应符合SJ20385的规定。5.2.3设备电气安装时使用的导线颜色应符合GB2681的规定。5.2.4设备使用的按钮、指示灯的颜色应符合GB2682的规定。5.2.5设备配用的外购件，均应符合相应的产品标准的规定，并应具有质量合格证。53外观要求5.3.

6、1设备外观设计应合理。表面无凹陷、毛刺和拉伤等缺陷。5卜3.2开关、仪表及铭牌等面板上元器件应布置合理、方便操作。5.3.3设备外表面喷涂颜色应均匀，色调一致，不得有脱落、龟裂、流挂、起泡或划伤等缺陷。5.3.4电渡及化学涂覆的零部件表面应光滑细致，无斑点、锈蚀、起泡、脱层、烧结等缺陷。5.3.5各种管道的涂色应符合SJ1635的规定。54结构要求5.4.1传动应灵活、平稳.动作应准确、协调。5.4.2各固定部位不得有松动现象。5.5安全要求5.5.1设备应有接地螺钉，并应设置明显的接地标志。5.5.2在测试电压为500V时，电

7、源输人端与机壳之间绝缘电阻应不小于2Mao5.5.3电源输入端与机壳之间应能承受交流1500V，耐压试验lmin，无击穿和闪络现象。5.6废气、废液的排放要求5.6.1设备应设有可靠的废气、废液的排放装置。56.2废液不得流洒到处理杯、废液管道、废液容器以外的其它各处。5.6.3设备应引出排气管，并便于与用户厂房内排气装置相连接。5.7氮气保护要求一2一S7/T11184一1998在进行显影、漂洗和烘干时，每道工序的基片周围均应有氮气保护设施。5.8氮气欠压保护要求设备应具有氮气欠压保护功能。当氮气压力低于设备的设定值时，设备应

8、立刻报警，并停止工作。5.9真空保护要求设备应具有真空保护功能。当真空度压力高于设备设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。5.10显示装置要求5.10.1设备应有工艺程序、烘烤温度、烘烤时间、主轴转速的显示装置。5.10.2设备应有真空度的显示装置。5.10.3