GBT25184-2010-X射张光电子能谱仪检定方法.pdf

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1、ICS71．040．40G04a亘中华人民共和国国家标准cB／'r25184—2010X射线光电子能谱仪检定方法VerificationmethodforX-rayphotoelectronspectrometers2010-09-26发布2011-08-01实施宰瞀鹃紫瓣訾糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会认1”标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T25184—2010前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯1范围⋯⋯⋯⋯⋯⋯·2规范性引用文件⋯·3符号和缩略语⋯⋯-4方法原理与系统构成5计量单位与技术指标6检定环境⋯⋯⋯⋯·7检定项目与方法⋯·8报告检定结果⋯⋯⋯9检定周期⋯⋯⋯⋯

2、⋯目次I1l13455毖毖www.bzfxw.com前言GB／T25184—2010本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。本标准由全国微束分析标准化技术委员会表面分析分委员会归口。本标准负责起草单位：福建光电有限公司、厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室。本标准主要起草人：王水菊、时海燕、丁训民。www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载1范围x射线光电子能谱仪检定方法GB／T25184—2010本标准规定了x射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化Al或Mgx射线或单色化A1x射线，且带有溅射清洁用离子枪的x射线光电子能谱仪

3、的检定。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用本文件。GB／T19500--2004X射线光电子能谱分析方法通则GB／T21006--2007表面化学分析x射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标的线性(ISO21270：2004，IDT)GB／T22461—2008表面化学分析词汇(IsO18115：2001，IDT)GB／T20175--2006表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法(ISO14606：2000，IDT)GB／T22571-

4、-2008表面化学分析x射线光电子能谱仪能量标尺的校准(IsO15472：2001，IDT)GB／T25185--2010表面化学分析x射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告(ISO19318：2004，IDT)ISO15470：1999表面化学分析x射线光电子能谱仪所选仪器性能参数表述(SurfaceChemicalAnalysis—X-rayphotoelectronspectrometers--Descriptlonofselectedinstrumentalperformanceparameters)ISO18116表面化学分析样品制备和安装程序标准指南(Surfac

5、echemicalanalysis—Guidelinesforpreparationandmountingofspecimensforanalysis)ISO18118：2004表面化学分析AES和XPS均相材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子的使用指南(Surfacechemicalanalysis--AugerelectronspectroscopyandX—rayphotoelectronspectroscopy--Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivityfactorsforthequantitat

6、iveanalysisofhomogeneousmaterials)ISO18516：2006表面化学分析AES和XPS横向分辨率的测定(Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopyDeterminationoflateralresolution)ISO19319表面化学分析AES和XPS横向分辨率、分析面积和分析器分析面积的测定(Surfacechemicalanalysis--AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoele

7、ctronspectroscopy--Determinationoflateralresolution，analysisarea，andsampleareaviewedbytheanalyzer)ISO24237表面化学分析XPS强度标的重复性和一致性(Surfacechemicalanalysis--X-rayphotoelectronspectroscopy--Repeatabilityandconstancyofintensityscale)3符号和缩略语下列符号和缩略语适