《光电材料与制备技术》课程教学大纲

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1、《光电材料与制备技术》课程教学大纲课程名称（中英文）：光电材料与制备技术（Optoelectronicmaterialsandfabricationtechnology）课程类别（必修/选修）：选修总学时/周学时/学分：48/3/3其中实验（实训、讨论等）学时：0先修课程：大学物理授课时间：周一3/4节，第1-16周；周三3/4节，第1-8周授课地点：松山湖,6F203授课对象：2015光信息1-2班开课学院：电子工程与智能化学院任课教师姓名/职称：张绍强/讲师联系电话：648503Email:zhangsha

2、oq@126.com答疑时间、地点与方式：1.每次上课的课前、课间和课后，采用一对一的问答方式；2.每次发放作业时，采用集中讲解方式；3.qq，微信等方式在线答疑。使用教材：《现代薄膜材料与技术》，张永宏主编，西北工业大学出版社，2016.8第1版，2016.8第1次印刷教学参考资料：1.《薄膜技术与薄膜材料》，田民波等编著，清华大学出版社，2011年第1版；2.《半导体器件物理》，施敏、伍国珏著，耿莉、张瑞智译，西安交通大学出版社，2010年第3版；3.《半导体制造技术》，MichaelQuirk，Julia

3、nSerda著，韩郑生等译，电子工业出版社，2004年第1版；4.《纳米光电薄膜材料》，吴锦雷著，北京大学出版社，2011年第1版。课程考核方式：开卷（）闭卷（√）课程论文（）其它（）课程简介:《光电材料与制备技术》是光信息科学与技术专业的应用类课程。本课程主要学习光电材料的分类、用途、薄膜材料的制备（真空基础、物理气相沉积、化学方法）、纳米光电材料的特殊性能和制备方法（水热法、溶胶凝胶法制备等）、光电材料的常用检测方法（XRD，SEM，紫外-可见光分光光度计等），以及常用的学术论文查找方法。课程培养学生了解光

4、电器件的基础——光电材料的基本知识，学习一些常用的光电材料制备方法和检测手段，学习查找相关学术资料的能力，为后续的光电技术类课程的学习打下必要的基础。课程教学目标1.了解光电材料的分类、用途，以及光电材料在光电学科的作用；2.了解真空相关的基本知识，掌握真空系统的实现方法、掌握薄膜材料的相关基础知识，理解薄膜材料的基本特征、特性，了解薄膜技术的最新进展以及和其他技术的关联；3.了解纳米材料的特殊性质，理解纳米材料如水热法的制备方法。4.课程支撑学生核心能力达成（可多选）：■C1具备较宽的自然科学基础、较好的人文

5、科学素养和社会责任感，并具有较强的交流能力以及创新、合作、敬业精神；■C2掌握从事光电信息工程工作所需的数学、物理学等方面的基本理论和基本知识，具有一定的经济管理知识；□C3掌握光电信息科学与工程的基本理论、基本知识和基本实验技能，具备综合运用所学知识分析并解决工程实际问题的能力，并具有较强的计算机应用能力；□C4具有良好的光信息系统的研究、设计、技术开发能力和应用能力，具有较强的实践和动手能力；■C5掌握文献检索和资料查询方法，具有一定的科研意识和初步的科学研究、技术开发与组织管理能力；□C6掌握光电材料的基

6、本评价表征及物性测量：了解常规的材料检测手段，如XRD、SEM、Ui-Vi分光光度计等方法；掌握常见的光电薄膜材料相关的成分、结构、光电性能等的表征方法；5.掌握基本的材料文献查找方法，并学会在文献中查找所需的资料；了解光电信息科学与工程专业领域的技术标准及其产业发展状况，熟悉国家光电子信息产业政策及国内外有关知识产权的法律法规，具有较强的自学能力、分析能力和应用能力；□C7具有一定的国际视野和跨文化环境下的交流、竞争与合作的初步能力，掌握一门外语，具有较好的听、说、读、写能力，能较顺利地阅读本专业的外文书籍和

7、资料。理论教学进程周次教学主题教学时长教学的重点、难点及要求教学方式核心能力支撑1材料学概述4材料学简介，材料科学与工程四要素及其相互关系，常用的材料制备方法课堂教学C1、C22光电材料的种类和制备方法,薄膜制备的真空技术基础(一)4光电材料的分类，性能特征，在工业与科研中的应用；真空的定义与意义课堂教学C1、C23薄膜制备的真空技术基础(二)；4真空的获得与测量、真空系统的搭建课堂教学C1、C24薄膜制备的物理方法-蒸发镀膜4物质的热蒸发、薄膜沉积的厚度均匀性和纯度、真空蒸发装置课堂教学C1、C25薄膜制备的

8、物理方法-溅射镀膜4气体放电现象、物质的溅射现象、磁控溅射原理课堂教学C1、C26薄膜制备的物理方法-分子束外延技术4外延的基本概念、分子束外延装置、分子束外延特点、分子束外延的应用课堂教学C1、C27薄膜制备的化学方法-化学和电化学转化4薄膜的化学转化、化学镀膜原理、薄膜电化学转化、电镀反应课堂教学C1、C28薄膜制备的化学方法-化学气相沉积4化学气相沉积的反应类型、传统方法、特殊的