电子束热蒸发,待蒸发材料要求

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1、为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划电子束热蒸发,待蒸发材料要求　　电子束蒸发系统操作步骤　　抽真空→热蒸发/电子枪操作→　　关闭热蒸发/电子枪系统→关闭真空系统　　抽真空　　1.关闭进气阀，开冷却水，打开总电源　　2.将抽气管子放窗外，打开冷却水报警　　3.开机械泵，电磁阀1，开角阀　　4.开真空计，当真空度高于10帕时，关闭角阀　　5.电磁阀2，开插板阀，开分子泵　　6.当运行分子泵后，真空示数正常下降，关闭真空计　　电子枪系统操作　　1.　　3.枪灯丝电

2、源　　4.束流控制调为手动，打开高压8Kv　　5.检查束流是否最小，按手控仪上高压键，稳定2分钟　　6.慢慢增加束流　　7.调节光斑位置　　8.打开膜厚仪冷却水，打开膜厚仪，打开样品台挡板　　关闭电子枪系统过程目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划电子束热蒸发,待蒸发材料要求　　电子束蒸发系统操作步骤　　抽真空→热蒸发/电子枪操作→　　关

3、闭热蒸发/电子枪系统→关闭真空系统　　抽真空　　1.关闭进气阀，开冷却水，打开总电源　　2.将抽气管子放窗外，打开冷却水报警　　3.开机械泵，电磁阀1，开角阀　　4.开真空计，当真空度高于10帕时，关闭角阀　　5.电磁阀2，开插板阀，开分子泵　　6.当运行分子泵后，真空示数正常下降，关闭真空计　　电子枪系统操作　　1.　　3.枪灯丝电源　　4.束流控制调为手动，打开高压8Kv　　5.检查束流是否最小，按手控仪上高压键，稳定2分钟　　6.慢慢增加束流　　7.调节光斑位置　　8.打开膜厚仪冷却水，打开膜厚仪，打开样品台挡板　　关闭电子枪系

4、统过程目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　1.束流慢慢调到最小，关闭手控仪上高压，关闭8KV开关　　2.枪灯丝电流关闭，关闭扫描键，关闭内5开关　　关闭真空系统过程　　1.停止分子泵，关闭插板阀，分子泵转速为0，电磁阀中间　　2.分子泵停止半小时后，停止机械泵，关闭真空计，关闭总电源，关冷却水　　膜厚仪操作　　Setting:进入参

5、数设置→移动光标到参数类型；↑，↓：更改参数，厚度，密度，声阻抗按数字直接输入；begin:按两次测膜厚；operating：停止镀膜；delete：镀膜结束；再按operating回到基本显示状态热蒸发操作　　压缩机操作　　1.电源竖直→关闭；水平→打开　　2.气路平直→打开；垂直→关闭　　旋钮：控制气压大小　　注意事项　　1.真空度低于，机械泵不能直接打开连通，会造成回油，电离规不能打开　　2.电子束结束，束流旋到最小；X/Y振幅最小，X/Y位置不要变化目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，

6、可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　3.真空计，膜厚仪不需要显示时，及时关闭；真空腔及时关闭，不要让腔体长时间暴露大气　　4.分子泵，电子束停止操作后，冷却水继续冷却20分钟左右　　5.打开气路，要慢慢操作；电子器件要预热　　6.不要把东西丢在真空腔内　　7.定期清洁真空室　　8.戴口罩，手套，穿实验服操作　　紧急断电事项　　1.关闭高压部分：关闭手控仪上高压键，关柜8KV，束流调到自动，关枪灯丝电源，关扫描

7、键　　2.关真空系统部分：电磁阀中间，关闭插板阀，关闭分子泵电源，关闭机械泵，关前后总电源　　3.学习灭火器灭火　　特别提醒　　定期检查分子泵，机械泵的油，注意声音水，电，气，门，窗关闭了吗？　　实验2热蒸发法制备金属薄膜材料　　实验时间：实验地点：福煤实验楼D405指导老师：　　【摘要】热蒸发法制备金属薄膜材料是基本的薄膜制备技术，通过本实验可以进一步熟悉真空获得和测量，学会使用蒸发镀膜技术，了解蒸发镀膜的原理及方法和了解真空镀膜技术。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，

8、并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　【关键字】热蒸发；薄膜材料；镀膜技术　　0引言　　真空镀膜技术在国民经济各个