《硅片检查作业》word版

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1、硅片检查作业中国·无锡-江阴海润科技有限公司受控状态实施日期2007年04月01日适用部门硅片生产部受控实施责任者车间主管作业内容适用范围适用于清洗后硅片检查作业。对象产品硅片使用设备使用材料WT-1000少子寿命测定仪、MS203ρ-t测定仪一次性塑料手套、口罩、泡沫包装盒关键参数№作业步骤与方法注意事项、自互检要求1<检查前准备>①用酒精擦拭检查台，确认检查台上没有其他硅片；②戴好口罩、手套(手套需用洒精擦拭)；③确认工艺单上的晶体来源、编号、电阻率、规格尺寸、刀号、机台号及备注；④清点硅片枚数与工艺单记录是否一致；2

2、<抽样品检测>①测定前先点检校正ρ-t测量仪；②将台车上的样品硅片同工艺单一起搬至ρ-t检测台上；③在线切割机抽检数据表上写明刀号、机器号、厚度、晶体来源及晶体编号；④抽样品检查项目：1、中心厚度、TTV、表面质量记录在线切割机抽检数据表上；2、电阻率(取样片中的一个值)记录在电阻率测试记录单上；3、取头尾各1枚测量少子寿命将值记录填写在工艺单的备注栏内；4、取样片中的任意1枚测量对角线及宽度尺寸确认值是否在规格范围内；3<产品检测>①将抽样品返回母体；图1图2②确认所有片盒中除端数盒外是否都是满盒；③外观检查方法：按左图

3、1的检查方式检查硅片外周的状况；按照左图2的检查方式分8个面来检查硅的面状况；注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：韩雄伟孔卫民张洪亮陈文杰编号版本号总2页ZY/P-0010a第1页硅片检查作业中国·无锡-江阴海润科技有限公司受控状态实施日期2007年04月01日适用部门硅片生产部受控实施责任者车间主管作业内容№作业步骤与方法注意事项、自互检要求4<产品检测>续④检查内容，将硅片中的等外品挑出暂放在指定位置(不良类别：崩边、缺角、TTV、超厚、超薄、裂纹、裂片、严线)判定参照检查

4、标准；⑤将检查后的合格硅片放在指定位置，每50枚隔一张白纸、每100枚隔一张海绵；5<检查后包装&合并>①整支棒硅片全部检查完毕后，核对硅片数量与工艺单数量是否吻合，确认无误后进行包装；②按300枚/盒用专用的包装盒包装好，包装时最多放6张海绵作为填充材。写好合格证，粘贴在外包装上并用胶带将包装盒封好放到指定位置；③将等外品放到等外品置场；④将零散的合格片同工艺单一起交给组长待合并；⑤将工艺单的记录输入电脑，并统计该根晶棒的合格率当合格率<92%时需及时上报上长；⑥合并前核对工艺单的数据，确认检查零散合格片数量与工艺单数量

5、是否一致；⑦一根棒的硅片最多分两个盒包装，合并的硅片合格证上只写2个晶体编号(取数量多的两个晶体编号)；6<包装入库>①将同一单晶、规格(电阻率、尺寸、等级)装在同一纸板箱内；(6寸为6盒/箱，8寸为4盒/箱)②写好装箱单贴在包装箱上；③每天将整箱的硅片填写入库单入库；注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：韩雄伟孔卫民张洪亮陈文杰编号版本号总2页ZY/P-010a第2页