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1、微细加工技术与设备 ,结合装置开的结构、运动方式等进行了阐述。在此基础上在分析各种传统检测方法的基础上,研究了小口径非展了实验,给出了去除量、压力、粗糙度与时间的关系。研究球面的检测方法,给出了设计实例,实现了非球面曲面的结果表明,利用该气囊式抛光方法对非球面光学零件进行抛光学检测,满足了非球面曲面在工程中的应用。图11表2光,效果良好,表面粗糙度可达2nm,该方法能满足中高等精)(参4于晓光度的加工要求;适合平面、球面、非球面、甚至任意曲面的抛TQ171.65?O436.12007010845)(光。图8参9于晓光 环形子孔径拼接干涉检测非球
2、面的数学模型和仿真研究TQ171.6842007010850=MathematicalmodelandsimulationfortestingasphericФ124mm口径碳化硅质非球面镜面数控研抛技术研究=surfacebyannularsubaperturestitchinginterferometryResearchoncomputercontrolledpolishingtechnologyof([刊,中]/王孝坤中科院长春光机所.吉林,长春())Ф124mmasphericreaction2burnedsiliconcarbidemir
3、ror()130033,张学军//光学精密工程.—2006,144.—(5272532[刊,中]/牛海燕中科院长春光机所光学技术研究中心.())利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、吉林,长春130033,张学军//光学精密工程.—2006,()144.—5392544CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大介绍了碳化硅质光学镜面的光学加工流程和加工手口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原段,分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理应用的磨料和加工方法。利用
4、自主研制的非球面数控加的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后λ工中心,探索一种新型轮式研磨抛光技术,解决了中小口全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079和径非球面元件的数控加工问题,形成比较规范的中小口径λ0.0027,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供碳化硅非球面元件加工方法,并应用到Ф124mm口径两面了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非均为非球面的碳化硅元件的加工中。工件最终加工精)(球面的途径。图7参6于晓光λ()λ()(λ度为第一面:0.761PV、0.059RMS=0.6328TQ171.6
5、5?O436.12007010846μλ()λ()(λ)m;第二面:0.834PV、0.089RMS=0.632大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法μ)()8m,满足了设计要求。图10参11于晓光=Calibrationmethodforprojectiondistortionininterfero2TQ171.6842007010851metrictestinghighorderandoff2axisasphericsurfacewith超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究=Studyofultra2(bigaperture[刊,中]
6、/李锐钢中科院长春光机所光学技术precisionverticalgrindingforasphericlensmould[刊,中]/())研究中心.吉林,长春130031,郑立功//光学精密工程.(())欧阳渺安佛山职业技术学院.广东,佛山528000//光()—2006,144.—5332538()精密工程.—2006,144.—5452552学提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD研究了非球镜面模具直轴超精密磨削技术,给出了非的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两球面镜面模具超精密加工机理、算法原理、软硬件结构、系
7、者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的统实现、工艺分析及实例应用,开发了小型超精密非球面投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的镜面加工系统SGTCAM1.0。研究结果表明,系统原理正μ投影畸变标定,拟合精度为1.96453m。根据标定结果确,加工出的非球面光学零部件形状误差在100nm以下,对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形表面粗糙度在5nm以下,达到纳米级加工精度。图12参λ(λμ)精度达到均方根值/2020.6328m,证明拟合精度完全()12于晓光()满足数控抛光的要求。图8参9于晓光TQ171.682
8、007010847微细加工技术与设备抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响=Influ2encesofpolishing
