集成电路装备专项技术总师叶甜春：从无到有，填补空白.doc

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1、集成电路装备专项技术总师叶甜春：从无到有，填补空白集成电路装备专项技术总师叶甜春：从无到有，填补空白集成电路装备专项技术总师叶甜春：从无到有，填补空白　　在集成电路上我国曾长期受制于人。国外先是对我国实行禁止出口，而后略有松动又实行严格审查和限制：如果卖给我们较先进的集成电路设备和材料，人家有权随时随地对我们的使用情况进行检查。为了改变这种状况，实现自主创新发展，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项于2008年开始启动实施。　　经过广大科研人员近10年的艰苦攻关，我国集成电路制造技术实现了“从无到有”“由弱渐强”的巨大变化，引领

2、和支撑了我国集成电路产业的快速崛起。　　你知道集成电路（又称芯片）有多密集吗？以28纳米技术为例，集成度相当于在指甲盖大小的面积上制造出10亿个以上的晶体管，其中每根导线相当于人体头发丝的1/3000。而更先进的14纳米技术，则相当于在人体头发丝截面上制造出50万个以上的晶体管，其中每根导线相当于人体头发丝的1/5000。　　那你又知道集成电路同我们日常生活的关系吗？假如没有了集成电路，电脑、手机、家电、汽车、高铁、电网、医疗仪器、机器人、工业控制等等就都无从谈起。信息时代离不开集成电路。　　在集成电路上我国曾长期受制于人。国外先是对我国实行禁止

3、出口，而后略有松动又实行严格审查和限制：如果卖给我们较先进的集成电路设备和材料，人家有权随时随地对我们的使用情况进行检查。　　为了改变这种状况，实现自主创新发展，根据《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006—2020年）》，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（简称专项）于2008年开始启动实施。　　从无到有填补空白　　集成电路制造技术代表着当今世界微细制造的最高水平，涉及学科技术范围广，从原材料到终端产品，共涉及半导体物理、化学、精密加工、精密光学、计算机、自动化、材料等40多个学科的最顶尖技术，是目前为止涉及学科最多的产

4、业，因此集成电路产业是一个国家高端制造能力的综合体现，是全球高科技国力竞争的战略必争制高点。　　“我们的目标是开展集成电路制造装备、成套工艺和材料技术攻关，掌握核心技术，开发关键产品，实现产业自主创新发展。”叶甜春说。　　叶甜春是中科院微电子所所长，集成电路装备专项的技术总师。他在接受科技日报记者专访时说，经过广大科研人员近10年的艰苦攻关，我国集成电路制造技术实现了“从无到有”“由弱渐强”的巨大变化，引领和支撑了我国集成电路产业的快速崛起。　　我们曾经有过两项空白。　　在专项实施前，我国集成电路高端制造装备为零。　　“经过专项实施，一批集成电路

5、制造关键装备实现从无到有的突破。”叶甜春说，目前我们的国产刻蚀机、磁控溅射、离子注入机等30多种关键设备都已研制成功，并通过了大生产线的考核，实现了批量供货。总体技术水平达到28纳米精度，部分14纳米精度的关键设备开始进入客户生产线验证，累计销售了306台。国内主要配套零部件配套体系初步形成，国产零部件销售3556台（套）。　　中国的技术进步，打破了发达国家对我们实行的出口管制。2015年美国商务部工业与安全局宣布：国外（中国）有和美国ECCN3B001.c性能相当的刻蚀设备技术能力，因此，基于这项编码的美国国家安全出口管制将失效。　　我们还曾有

6、过一项空白。　　专项实施前，我国集成电路行业所需的材料也几乎全部需要进口。经过近10年努力，目前我国在特种气体、靶材、部分化学品（研磨液、电镀液等）等关键材料方面已完成研发，通过大生产线考核认证后大批量使用，并且有部分产品进入了海外市场。国产光刻胶等也已进入大生产线试用。点面突破助推产业发展　　点的突破令人欢喜，但面的推进更令人振奋。我国在集成电路的高端设备和材料方面实现了从无到有，形成了良性发展的产业生态。　　作为基础产业的集成电路制造装备业，其成果辐射的带动面很广。利用集成电路装备专项取得的装备核心技术，使我国在LED、传感器、光伏等泛半导体

7、制造领域的装备国产化率大幅提升。LED、光伏等领域已实现关键装备成套国产化，国产装备成为市场主流。具不完全统计，国产装备在泛半导体产业已实现销售6590台。这些国产化的装备，使我国在LED、光伏等领域投资成本显著降低，持续推动我国相关产业整体竞争力大幅提升，我国在LED照明、光伏等产业规模跃居世界第一，技术水平也实现了国际领先。　　在集成电路装备专项实施之前，国内集成电路制造最先进的量产工艺为130纳米，处于研发的工艺也仅为90纳米。专项实施后，我国的主流工艺水平提升了5代，其中55、40、28纳米三代成套工艺已研发成功并实现量产，而更先进的22

8、、14纳米先导技术在研发上也取得突破，形成了自主知识产权；封装企业从低端进入高端，三维高密度集成技术达到了国际先进水平。这些工艺制造的智