蒋庄德将MEMS产品推向工程应用，带动了高端MEMS传感器技术的发展.doc

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1、蒋庄德将MEMS产品推向工程应用，带动了高端MEMS传感器技术的发展　　编者按：西安交大蒋庄德院士是我国高端MEMS（微机电系统）传感技术的开拓者和带头人，他因在此领域的杰出贡献荣获2014年何梁何利基金奖的“科学与技术进步奖”。《中国科学报》进校专访蒋庄德院士，并刊登了本报记者张行勇、通讯员刘昱含撰写的文章“蒋庄德从‘零的突破’到‘高端领跑’”。　　MEMS从“零的突破”到“高端领跑”，这位2014年度何梁何利奖得主花了整整二十年。蒋庄德的心得是：“做学问、做研究切忌跟风，要不受各种‘蒋庄德将MEMS产品推

2、向工程应用，带动了高端MEMS传感器技术的发展　　编者按：西安交大蒋庄德院士是我国高端MEMS（微机电系统）传感技术的开拓者和带头人，他因在此领域的杰出贡献荣获2014年何梁何利基金奖的“科学与技术进步奖”。《中国科学报》进校专访蒋庄德院士，并刊登了本报记者张行勇、通讯员刘昱含撰写的文章“蒋庄德从‘零的突破’到‘高端领跑’”。　　MEMS从“零的突破”到“高端领跑”，这位2014年度何梁何利奖得主花了整整二十年。蒋庄德的心得是：“做学问、做研究切忌跟风，要不受各种‘热闹’干扰方可。只有坐得住，才能

3、立得稳。”　　愈深厚，愈亲切——这是许多人在接触学科“大牛”都会有的感受，而这也正是中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德给很多人的感觉。这位获得2014年度何梁何利基金“科学与技术进步奖”的学者，接受了《中国科学报》记者的专访。在位于西安交通大学曲江校区“高端制造装备协同创新中心”微纳芯片、传感器研发实验室外的展柜前，蒋庄德亲自介绍了团队近些年在微机电系统（MEMS）和纳米技术领域取得的成果，顺便科普了不少学科基础知识。　　　　蒋庄德长期从事微纳制造和精密测量技术等方面的研究，在耐高温压力传感器及系列MEM

4、S器件、数字化精密测量技术与装备的工程科技领域作出了重要贡献，并在微纳米技术相关基础理论等方面开展了创新性研究。在微纳制造技术领域，他主持研制的耐高温压力传感器及系列MEMS器件，解决了航空航天、军工、石化、先进制造等领域高温恶劣环境下的压力/加速度测量难题，打破了国外的技术封锁和垄断，并将MEMS产品推向工程应用，引领和带动了高端MEMS传感器技术的发展。　　2013年当选中国工程院机械与运载工程学部院士的他，如今依然将自己看作后生晚辈。他对记者说：“还是多采访报道西安交大的老教授们，他们是我的老师和前辈，

5、默默无闻、踏踏实实地在西部奉献一生，更令人敬佩！”　　曙光总在困难后　　1977年，22岁的蒋庄德从西安交大机械制造专业毕业后留校任教。后获西安交通大学机械制造专业工学硕士学位和英国伯明翰大学机械工程专业博士学位。　　上世纪90年代初，MEMS和纳米技术成为世界高新科技竞争的制高点。美国早在上世纪80年代就声称世界已进入传感器时代，日本工商界人士声称《支配了传感器技术就能够支配新时代》。　　当时已经留校任教的蒋庄德，敏锐地意识到了这一发展趋势和巨大潜力。1993年，他率先向学校提交了《关于立即开展纳米技术和微

6、型机械研究的报告》。　　然而，作为机械、电子等学科的交叉领域，MEMS和纳米技术研究当时在国内属于新兴领域，西安交大并没有任何基础，基本处于无资金、无队伍、无专业实验室的“三无”状态。最终，学校提供了两万块钱作为启动资金，支持蒋庄德开展全新的探索性研究。　　蒋庄德从骊山微电子公司买了一批二手设备，自己动手在实验室搭了一个简易暗室，推板车、安设备，除了上课就泡在实验室里；走流程、摸工艺，即使条件非常有限，他还是一次次重复，力求做到更好、做到极致。后来组织几位研究生成立了首个科研小组，大家齐心协力，在一个完全陌生

7、的领域中边学边做。在姚熹院士“赞助”的实验室里奋战了几个月，最终成功研制了分度圆直径为300微米的硅基渐开线齿轮和阵列式硅微传感器。　　随着研究前景的日益明晰，蒋庄德获得了越来越多的支持：国家自然科学基金、国防青年基金、教育部博士点基金、国家重点实验室基金……特别是在学校的支持下，团队终于结束了“借壳”生活，从中科院化学所购置了扫描隧道显微镜（STM）等仪器设备，拥有了一个50平方米左右的超净实验室。　　最艰苦的时期在日后回忆起来往往是最珍贵的记忆，回想初创时期的种种艰辛，蒋庄德心生感慨：“尽管随之而来的是在

8、研发过程中遇到的各种技术难题与瓶颈，但咬牙挺过困难时期必定会出现曙光。这是自己的体会。”　　十年基础，十年应用　　有了硬件设备的支持，蒋庄德在MEMS和纳米技术领域的研究一路高歌猛进。2000年，国家“863”计划先进制造技术领域预研项目001号“耐高温压力传感器”进行招标，全国共有8家科研单位竞标，几乎全部是行业翘楚。蒋庄德所带领的团队一举夺魁，并在一年的时间里顺利结项，获得了高度认可。后来科技部