薄膜电阻率测量系统设计毕业设计说明书

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1、兰州理工大学毕业论文摘要电阻率是电子材料的重要参考性能数，薄膜电阻率的测量备受关注。采用传统四探针高电阻率测量方法测量薄膜电阻率，需要加入较多的修正才能得到精确的结果。因此，研究薄膜电阻率的测量系统原理、软硬件集成方法等具有很重要的意义和应用价值。在综合比较各种电阻率测量方法的基础上，本设计采用双电测组合法测量薄膜电阻率。首先，系统研究双电测组合法薄膜电阻率测量原理，跟据测量要求改进电阻率的计算方法，极大的简化相关修正，提高测量结果的可靠性和精确度。其次，基于单片机的Rymaszewski四探针双

2、电测组合法设计了薄膜电阻率自动化测量系统。在8051单片机的控制下，利用基于CD4052芯片的接口电路实现电流探针，电压探针的自动切换，并通过单片机控制实现两次电压测量；同时根据两次测量结果编程完成范德堡修正因子的计算，最终实现薄膜电阻率自动测量和显示，建立基于8051单片机的双电测四探针薄膜电阻率测量系统。实验结果表明，所设计的自动测量系统不仅可以满足多种薄膜电阻率测量要求，而且提高了测量精度和自动化程度，同时精简了薄膜电阻率测量过程。关键词：四探针双电测组合法;范德堡修正因子;CD4052;薄

3、膜电阻率81兰州理工大学毕业论文AbstractAttentionismainlypaidtothemeasurementofresistivity--animportantpropertyofthinfilm.Owingtoapplytraditionalfour-probemethodonfilmsampleresistivitymeasurement,complexcorrectionsarerequiredinordertoacquireanaccurateresultandsamplew

4、illeasilybescratchedduringthemeasuringprocesswhenusingmanualfour-probeequipment.Therefore,themeasurementtheory,softwareandhardwareintegrationmethodbyvirtualinstrumentationforthinfilmresistivityautomaticsystemareofimportantvalue.Incomprehensivecomparat

5、ivemeasurementmethodofresistivity,onthebasisofthedesignUSESdoubleelectricalmeasurementgrouplegalmeasuringfilmresistivity.First,systemresearchdoubleelectricalmeasurementisthelegitimatefilmresistivitymeasurementsoftheprinciplewithaccordingtomeasurementr

6、equirements,thecalculationmethodofimprovingresistivity,greatlysimplifiedrelatedcorrection,improvethereliabilityandprecisionmeasurementresult.Secondly,BasedonSCMRymaszewskifour-pointprobedoubleelectricalmeasurementgroupthefilmresistivitylegitimatedesig

7、nautomationmeasuringsystem.In8051underthecontrolofthesinglechipmicrocomputerbasedonCD4052chipinterfacecircuitimplementscurrentprobe,voltageprobetoswitch,andthroughthesingle-chipmicrocomputercontrolachievetwovoltagemeasurement;Andaccordingtotwomeasurem

8、entresultsprogrammedVanderbiltcorrectionfactorcalculation,andfinallyachievethefilmresistivityofautomaticmeasurementanddisplay,basedonthesinglechipmicrocomputer8051doubleelectricalmeasurementoffourprobefilmresistivitymeasuringsystem.Theexperime