硅片工艺改进分析报告及改进计划

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1、ByJinXin（No1Wafer）2008-02-161硅片HCT线锯工艺改进分析报告及改进计划HK000L8P_AnalystPresentation目录改进前工艺HCT工程师改进工艺目前改进后工艺问题分析目前工艺分析改进计划辅助行动改进前工艺线速:13m/s工作台速度:350um/min钢线规格:140um/780km导轮槽距:370um滑轮更换:2刀/次砂浆袋更换:5刀/次HCT工程师改进工艺线速:14.8m/s工作台速度:320um/min钢线规格:120um/780km导轮槽距:335um滑轮更换:2刀/次砂浆袋更换:5刀/次目前改进工艺线速:13m/s工作台速度:270um/m

2、in钢线规格:120um/780km导轮槽距:340um滑轮更换:1刀/次砂浆袋更换:2刀/次问题分析1.HCT工程师改进工艺残余问题分析(1)速度过高,皮带断裂W08、W09在改进工艺之前对皮带进行过检查,但在当晚切割时发现皮带断裂,分析原因可能是速度过高,在速度变动时皮带所受拉力将比原来所受力大,导致皮带拉长,使皮带在皮带轮上移位而拉断.问题分析(2)断线率过高机器编号断线次数W011次W041次W063次W071次W086次W094次W101次W08一月份断线次数为6次,W09自更改工艺后断线次数为4次(其中有1次为皮带断裂导致断线),其他设备断线次数总和为7次.目前工艺分析HCT工程

3、师设定工艺分析设P为走线系数,即工作台每下降1um时所切割用钢线的尺寸注:以下分析假设切割长度相同,钢线附带砂浆量相同的情况下;按HCT工程师所设工艺参数求得P===2.775由此系数我们可推算出我们切割所需要钢线总长：L切割=P*L工作台行程=2.775*131*1000=363525m≈364KM14.8m/s320um/min14.8m/s5.33um/s目前工艺分析目前工艺分析因为针对W08、W09直接抬高速度导致皮带断裂的情况，所以初定钢线速度暂时不于改变，仍为13m/s；又因W08、W09断线率较高，从试验的安全性考虑，将走线系数提升0.1，即工作台每下降1um，切割所用钢线为2

4、.875m，这样我们可反推出工作台速度：所需切割钢线长L切割=2.875*131000=376625m≈377kmV工作台===V钢线速度P13m/s2.875271.3um/min所以将工艺初定为：钢线速度13m/s工作台速度270um/min钢线规格：120um/780km改进计划我们现以HCT工程师所给工艺参数为目标，根据前阶段所暴露出来的问题，总结经验，逐步解决问题，并改良我们的工艺，为了达到HCT工程师所设工艺参数，并完全解决其中的问题，我们制定以下计划：日期行动08年2月13日W01、W02、W03、W04、W09全面检查设备、转换工艺，开始阶段初定前3刀切割2根方棒，钢线速度为

5、13m/s，工作台速度为270um/min08年2月15日改进后设备全部切割3根方棒，总长≤1200mm08年2月16日W08更换导轮，转换工艺，前3刀切割2根方棒08年2月18日改进后设备滑轮更换改为2刀/次，砂浆袋更换3刀/次08年2月21日至08年2月25日视140um钢线库存情况，更换W05、W06、W07、W10导轮，并更换工艺08年3月全面提升钢线速度和工作台速度,提高产能,目标工作台速度:320um/min辅助行动设备部门在设备提升速度后需对皮带定期检查，防止皮带在短时间内拉长而在皮带轮上移位，导致皮带断裂，要求在提速之间彻底检查一次，提速后每日检查一次，连续检查3天；皮带检查

6、要求：主马达（短）：74±1.5HZ从马达（长）：40±0.8HZ辅助行动生产部门生产部门是我们的母体，其他部门都是它的分支，如果母体有了问题，我们这些分支再好也没法正常行走；以下为2月13日开始发生的一些人为故障停机：设备编号故障原因故障发生日期修复日期W02下砂浆循环泵插头烧毁，插头内部有水08年2月13日11时08年2月13日17时W02上砂浆循环泵插头烧毁，插头内部有水08年2月13日17时08年2月13日21时W03回流砂浆缸液位显示器插头拉断，配件很难购买，至今仍无消息08年1月31日08年2月15日12时W09因回流管道与上砂浆循环管道插反，导致热交换器堵塞08年1月14日12

7、时08年2月15日1时辅助行动以上只是近期来发生的一些不必要的故障停机，如果我们的操作工能仔细细心一点的话，完全可以避免这些不必要的损失。我们目前工艺对操作工的要求越来越严格，对于设备每部分的检查都必须细致入微，稍有差池就会导致我们很大的损失。所以希望生产部门能培养操作工的责任心，并与我们积极配合，成功完成好我们的共同任务！结束如有意见建议请提出！Thankyou!