硅外延设备监控系统软件设计与开发

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1、电子科技大学UNIVERSITYOFELECTRONICSCIENCEANDTECHNOLOGYOFCHINA硕士学位论文MASTERDISSERTATION论文题目硅外延设备监控系统软件设计与开发学科专业机械电子工程学号201121080234作者姓名黄鑫指导教师朱煜教授分类号密级UDC注1学位论文硅外延设备监控系统软件设计与开发（题名和副题名）黄鑫（作者姓名）指导教师朱煜教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士学科专业机械电子工程提交论文日期2014.04.23论文答辩日期2014.05.06学位授予单位和日期电子科技大学2014年0

2、6月27日答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。SILICONEPITAXIALEQUIPMENT MONITORINGANDCONTROLSYSTEM SOFTWAREDESIGNANDDEVELOPMENTAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:MachineryandElectronicsEngineeringAuthor:HuangXinAdvisor:Prof.ZhuYuSchool:SchoolofMech

3、atronicsEngineering独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名：日期：年月日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位

4、论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）作者签名：导师签名：日期：年月日摘要摘要IC制造是提升国民经济与实现电子信息现代化的高新产业之一。IC制造过程一般需要切片、外延、淀积、光刻、离子注入等多个工艺制造过程协同完成。而硅外延设备作为IC制造工艺的前端工艺装备，其设备生产的产品质量直接影响着后续工艺设备的产品质量，所以对硅外延工艺过程进行有效监控具有着重要的意义。硅外延工艺过程是一个需要对多种气体（如H2，HCL，SiH4等）进行通断控制，并且在其他辅助设备的协同

5、控制下而完成的一个复杂的工艺过程。而在工艺过程中某一单元设备的不良参数处理不及时将有可能导致硅外延工艺过程的失败，影响企业效益。另一方面，在硅外延工艺过程中伴随着易燃、易爆、有毒等危险气体的掺杂，如果对危险气体的泄漏不进行及时控制，有可能影响设备安全与人员的安全，从而造成经济损失。本文以硅外延设备为研究对象，从硅外延设备的具体需求出发，首先介绍了本文研究的硅外延设备的功能结构组成，其次分析了硅外延设备监控软件的整体功能需求与具体的详细功能需求。并根据硅外延设备监控软件功能的分解，以及从减少模块间的耦合性、提升软件的维护性方面考虑，建立了硅外延设备监控软件的整

6、体功能模型、模块间的关联模型、数据流模型等，设计了组件之间和模块之间的调用关系。最后，从监控软件对数据收集的完整性需求考虑，设计了动态的数据缓冲队列；从硅外延设备数据组织合理性的需求考虑，设计了硅外延设备数据的组织结构；从硅外延设备界面信息显示的实用性需求考虑，设计了基于观察者模式的界面更新方法，并从软件的易维护的考虑出发，对观察者模式采用基于事件与委托的方法进行优化；从硅外延设备报警处理需求等方面考虑，对监控软件模块中的相关报警处理算法进行了详细的设计。在文章的最后，完成了监控软件各组件中的各模块的具体类的实现，并通过对软件的测试验证了硅外延设备监控软件功

7、能的可靠性。关键字：IC制造，硅外延，监控软件，观察者模式IABSTRACTABSTRACTICmanufacturingisthenationaleconomyandRealizationofelectronicinformationindustryoneofthemodernhigh-techupgrade.ICmanufacturingprocessgenerallyneedtoslice,extension,deposition,lithography,ionimplantation,aprocesscompleted.Whilethesilicon

8、epitaxialequipmentasthefro