资源描述：
《基于弛豫铁电单晶的红外热释电探测器研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、项目基金：国家自然科学基金资助项目（60708028；60837003）基于弛豫铁电单晶的红外热释电探测器研究马学亮123,邵秀梅12,于月华12,李言谨12(1.中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海2000832.中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海2000833.中国科学院研究生院,北京100039)摘要：热释电非制冷红外探测器在工业、民用探测领域具有广泛的应用。弛豫铁电单晶（1-x）Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3（PMNT）是一种新型热释电材料，具有优异的热释电综合性能。本文重点研究了新型热释电材料PMNT的低损
2、伤减薄工艺、电极成型、耦合封装等关键技术，研制了基于PMNT的单元热释电探测器。对减薄后约30µm晶片材料性能的测试分析表明，部分热释电系数约为9.0×10-4C/m2K，无明显衰减。采用低噪声电路提取单元探测器的微弱热释电电流，对所研制的单元探测器性能进行了测试、分析并指出了下一步研究的重点。关键词：红外、热释电探测器、弛豫铁电单晶、非制冷PyroelectricInfraredDetectorBasedonRelax-basedFerroelectricSingleCrystalsMaXueliang123,ShaoXiumei12,YuYuehua12,Li
3、Yanjin12（1.StateKeyLaboratoriesofTransducerTechnology,ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics,ChineseAcademyofScience,Shanghai2000832.KeyLaboratoryofInfraredImagingMaterialsandDetectors,ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics,ChineseAcademyofScience,Shanghai2000833.GraduateSchooloftheChineseA
4、cademyofScience,Beijing100039）Abstract:Pyroelectricinfrareddetectorshavetheadvantageofworkingatroomtemperature.Theyarewidelyusedinindustrialandcivilianfield.PMNTsinglecrystalisanovelpyroelectricmaterialwithsuperiorpyroelectricperformances.Thekeyprocessofthefabricationofpyroelectircinf
5、rareddetectorsbasedonPMNTsinglecrystal,includinglappingandpolishingofthecrystal,metallizationandassembly,werecarriedout.ThepyroelectriccoefficientofPMNTchipwiththicknessof30µmwasmeasuredandtheresultsindicatethatthepyroelectriccoefficientsofsomechipsaresimilarwiththePMNTsinglecrystalwi
6、ththicknessof500µm.Weakpyroelectriccurrentwasmeasuredbyatestsystem.Intheend,theresearchemphasesinthefuturearepointedout．Keywords:infrared;pyroelectricdetector;relax-basedferroelectricsinglecrystals;uncooled1.引言热释电探测器是利用热释电体中自发极化随温度变化的特性而设计的，广泛应用于报警、红外成像、非接触测温、气体分析等领域，在光谱仪，激光器、红外地平仪中均有
7、应用[1]。热释电探测器属于非制冷红外探测器，具有室温工作、结构紧凑、稳定可靠等优点。在0.8--25µm波段，热释电探测器具有平坦的光谱响应[2]。国际上很早就开展了关于热释电探测器的研究并持续至今[3-7]，目前国外研究机构和公司在非制冷红外焦平面阵列上取得了一系列的成果[8-13]。近年来，中科院上海硅酸盐研究所罗豪甦课题组率先发现弛豫铁电单晶（1-x）Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3（PMNT）是一种新型热释电材料，具有综合优异的热释电性能[14]，如：室温下热释电系数优于钽酸锂（LiTaO3）和硫酸三甘肽（TGS）等常规热释电材料，介电常
8、数适中、可
