ito腐蚀分析报告

《ito腐蚀分析报告》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、LCD组件ITO腐蚀分析报告合同号：FX044-0791第15页共15页报告编号FX03-合同号FX044-0791总页数15页分析报告样品名称：LCD组件（手机显示）型号规格：＃10154＃1082分析类别：委托分析委托单位：世成电子（深圳）有限公司信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心LCD组件ITO腐蚀分析报告合同号：FX044-0791第15页共15页分析报告产品名称LCD组件（手机显示组件）商标－生产单位南太电子世成公司型号规格＃10154（彩色）＃1082（单色）委

2、托单位南太电子世成公司分析类别委托分析委托单位地址深圳市保安区西乡镇固戌工业村邮政编码518126联系人篮珂电话0755－27495818－3840传真0755－27494013Emaillanke@namtai.com.cn样品来源方式委托单位送样收样日期2004.05.10样品数量编号彩色1只：1＃；单色1只：2＃。样品描述无外观异常。分析时间2004.05.10－2004.05.27分析项目ITO腐蚀点分析分析环境条件温度15～35℃，湿度45～75%RH，气压86～106Kpa(通常大气条件)分析依据①GJB548－96微电子

3、器件试验方法和程序方法5003。②FX01-JE2-5电子组件失效分析程序与方法。分析结论1＃、2＃样品ITO发生腐蚀，1＃ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀，2＃样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀；两种样品ITO腐蚀的根本原因是氯的存在。1＃、2＃样品均无钠存在，氯的存在不是工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留。以下空白信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心附件仪器设备清单签名主检编制审查批准职务：日期2004年月日2004年月日2004年5月31日2004年月日信息产业部电子第五研究所元

4、器件可靠性研究分析中心LCD组件ITO腐蚀分析报告合同号：FX044-0791第15页共15页1、样品描述样品为手机显示组件，LCD上ITO发生腐蚀，分析腐蚀点腐蚀原因。2、分析过程2.1、项目观察样品外观见图1。1＃（彩屏）样品腐蚀项目见图2，2＃样品（单色屏）见图3。图中可见：①1＃（彩屏）样品腐蚀有电化学腐蚀的特征1＃腐蚀点位于ACF与硅橡胶交接处的相邻的两条ITO上，腐蚀从两条ITO相邻边往外发展，具有电化学腐蚀的特征，见图2。①1＃样品腐蚀部位附近颜色异常1＃样品腐蚀部位呈现银白色，腐蚀部位附近呈现乳白色，与离腐蚀部位较远的

5、地方有明显的差别，见图2。②2＃（单色屏）样品腐蚀点具有化学腐蚀的特征2＃样品腐蚀发生在多条ITO上，腐蚀点的外围形成包围状图形，具有化学腐蚀的特征。③2＃（单色屏）样品腐蚀点有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征2＃（单色屏）样品腐蚀部位有形成包围的特征，具有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征。2.2、腐蚀点成份分析1＃、2＃样品腐蚀点均位于两种材料的界面处，为了对腐蚀部位开展成份分析，必须将腐蚀部位完全暴露在最表面。制样中难以确保腐蚀产物暴露在最表面，因此，将腐蚀点上的ACF或硅橡胶去除干净：先用机械的方法，将ACF、硅橡胶刮除

6、，再用有机溶剂擦除腐蚀点表面的ACF和硅橡胶，采用物理分析方法对腐蚀微区进行特征成份分析。本次分析采用二次离子质谱分析（SIMS）仪开展分析，SIMS分析图谱见图4～图15，图16是2＃样品1个腐蚀点的氯的分布图形。从SIMS分析图谱可见：①1＃样品（彩屏）、2＃样品（单色屏）腐蚀点存在氯图4、图6、图10、图12是腐蚀部位SIMS分析的负离子图谱，可见，1＃样品、2＃样品腐蚀部位存在氯。信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心LCD组件ITO腐蚀分析报告合同号：FX044-0791第15页共15页①1＃样品（彩屏）、2＃样品

7、（单色屏）腐蚀点无钠存在图5、图7、图11、图13是腐蚀部位SIMS分析的正离子图谱，可见，腐蚀部位无钠存在。证明氯不属于人体的汗水污染。②正常部位（无腐蚀部位）未见氯或氯含量远比腐蚀点低图8、图9、图14、图15分别是1＃、2＃样品ITO正常部位（无腐蚀部位）的SIMS分析图谱，可见，正常部位（无腐蚀部位）不含氯或氯的含量远比腐蚀部位低。3、综合分析腐蚀部位的形貌特征及成份特征可见：1＃样品腐蚀主要是电化学腐蚀，电化学腐蚀的主要原因是该部位存在氯，在水的情况下电离形成电解液，由于电场的存在，发生电化学腐蚀。腐蚀部位附近呈现乳白色，可

8、能是ITO电化学腐蚀的产物。2＃样品的腐蚀主要是化学腐蚀，其腐蚀是由于氯和水(潮湿)对ITO作用的结果。1＃、2＃样品SIMS分析中，未见钠的存在，证明腐蚀部位氯不是来自组件工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD组件