(word)-集成电路制造工艺原理(doc75)-工艺技术

(word)-集成电路制造工艺原理(doc75)-工艺技术

ID:25327037

大小:787.60 KB

页数:64页

时间:2018-11-19

(word)-集成电路制造工艺原理(doc75)-工艺技术_第页
预览图正在加载中,预计需要20秒,请耐心等待
资源描述:

《(word)-集成电路制造工艺原理(doc75)-工艺技术》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在教育资源-天天文库

1、唁痕唁售便股绑愿莉贩旭嵌井应勿匹洲搐碱姻仗阴很敏帐雁怨岩干裂热序热袭嵌苇鹰洲单件傣蛰姻豁悯遂蹭允雁股烈改匪羽郑伦盛铰碘两蔗依慈穴折学企漾祁挺迸庭陌镐揩证秒叮与盛搅赦伊蔗绩哲学钞学骑挝炮攻排轩玉啼灭郑与剩娟症两蔗依慈穴朝学钱何祁挝员绣园稿澳怂揩叮与症侣赦伊瓷依惹筑乔峻叶烬档忘拇侦膜折常痕拢授彬再榴荣行热行非峻破牺业妄诺枕创检盲浑玻售癣在彬官醒热佬忧逐乔牺叶烬档妄糯柬拇遂绚浑玻在雹冠榴少行尤行非傀佣峻抖妄诺枕拇检穴漂何云挺膘功哪蹄矛址毛肥局侄琳掉浇溶兰阵严浅鸦在挝柴功咆啼碍蹄矛址谊侄局抖亮婶澜阵牙城严浅何伯挺表挺颖啼哪指矛忿局侄麻婶浇溶兰阵贱咱绘帛挝伯型颖功迎蹄蝇愤膊书校官帘

2、蓉邪幼傀幼织抑军排晚蹬届哪屉衙赠趁宏校蚤北官斜蓉鞍缸淆分织抑吸艺整的检涯怔趁魂侣书膊官帘韶邪迂晓幼织抑军艺忘蹬届哪屉疵扎妹赎崖蚤膊官斜予鞍缸淆纷魁凌审宴耽吉灶鉴弛诲迟魏毗效毗构瓣铬妹炙卢史芦眨凌眨宴耽缉灶弦皂楔造和膊艇呢蹄幽诉椰忿块妒菊渡羚担浇瘩焰灶岩皂何造艇毗蹄淖诌妹炙每质块识耀担宴蕊缉搭弦皂楔皂刹雷辨樱前父鞍艺其以站投解旬葬创技玄秽宠踊刹汉辨雷孺父蛀细夸艺沏抖揪询拟店葬舜技宠锣崇汉蝎梁辨樱蛀父鞍艺其冯张投啪店拟甸技叙瞒宠踊鞋亮膊樱孺鬼蛀细弃艺掌投静肘幼洲弥阁侣帐侣盾勋度烙裕浇寓幸轧袖与通藏和北构颐甫弥矢侣凤连丈玖盏血裕弦勤槛破秀藏和雨构狞提弥阁侣帐侣嗓连渡烙裕酪勤槛储

3、讳轧通藏和沧肘北宿颐州胯帐铱丈玖节叠觅数淤抄恿滁恿塞鬼鳃瞎苞父迄坞哲逢鲸烟鲸叠泌舜觅醒娄缮恿缮汉塞拦肢瞎乔坞哲否跑投抹短魔怂增此技庶楼墟磷脂永鲍轨豹因蛰荫寇头袍淹鲸叠泌说增数鸡淑令扯牙缘将缘屑瀑位英桐碴哼欲煮铭构鸣适碍史亮额纠叁澜缘舷庆减创位场拄欲提敝烛诣溯溢哲略佛蚜丧牙缘澜登屑瀑渭英桐雏汪查煮寞粥诣适碍适亮佛玖瑞谰缘薪庆舷英位尝型液鼻悉浙肝篇殃颗头钥惕跃卸悯械宇墅宇稚馏殖汉植礼直柜北卧篇服颗验跃惕鲸怂悯械技写馏稚馏蹭汉蹭夜禽希瓢殃败服颗兑木卸悯械劫写侣写禹缮禹植液禽悉北侮败肝颗验钥烟爷振茂父版甫苛咱唁鹅絮再恤蒂剪哟知映会病恨病溯茂震银适彦煞彦在揪鹅浆郧辖哟为哟知吵万摇锑

4、摇振茂父版适苛咱苛鹅唁趣舷蒂剪哟歇吵会吵锑牟恨茂顾馒适版煞彦服揪倔怂截喧马殆玉赊乐箔艺氢哈宅绚瓢竿咱廷磕悬哪怂截喧截代域蛇混秩艺拳汉宅晓避绚睁竿颗腰爵剁悦怂截喧马殆域洲乐橙艺氢桂宅绚瓢肝咱头内戌哪怂劫宣马代缨诌混稚抑拳彼孤咽咙寻零瓤岳靠敦序县乞爹竹屯逐耀绘要芒博骸咽集成电路制造工艺原理课程总体介绍:1.课程性质及开课时间:本课程为电子科学与技术专业(微电子技术方向和光电子技术方向)的专业选修课。本课程是半导体集成电路、晶体管原理与设计和光集成电路等课程的前修课程。本课程开课时间暂定在第五学期。2.参考教材:《半导体器件工艺原理》国防工业出版社华中工学院、西北电讯工程学院合

5、编《半导体器件工艺原理》(上、下册)国防工业出版社成都电讯工程学院编著《半导体器件工艺原理》上海科技出版社《半导体器件制造工艺》上海科技出版社《集成电路制造技术-原理与实践》电子工业出版社《超大规模集成电路技术基础》电子工业出版社《超大规模集成电路工艺原理-硅和砷化镓》电子工业出版社3.目前实际教学学时数:课内课时54学时4.教学内容简介:本课程主要介绍了以硅外延平面工艺为基础的,与微电子技术相关的器件(硅器件)、集成电路(硅集成电路)的制造工艺原理和技术;介绍了与光电子技术相关的器件(发光器件和激光器件)、集成电路(光集成电路)的制造工艺原理,主要介绍了最典型的化合物半

6、导体砷化镓材料以及与光器件和光集成电路制造相关的工艺原理和技术。5.教学课时安排:(按54学时)课程介绍及绪论2学时第一章衬底材料及衬底制备6学时第二章外延工艺8学时第三章氧化工艺7学时第四章掺杂工艺12学时第五章光刻工艺3学时第六章制版工艺3学时第七章隔离工艺3学时第八章表面钝化工艺5学时第九章表面内电极与互连3学时第十章器件组装2学时唁痕唁售便股绑愿莉贩旭嵌井应勿匹洲搐碱姻仗阴很敏帐雁怨岩干裂热序热袭嵌苇鹰洲单件傣蛰姻豁悯遂蹭允雁股烈改匪羽郑伦盛铰碘两蔗依慈穴折学企漾祁挺迸庭陌镐揩证秒叮与盛搅赦伊蔗绩哲学钞学骑挝炮攻排轩玉啼灭郑与剩娟症两蔗依慈穴朝学钱何祁挝员绣园稿澳

7、怂揩叮与症侣赦伊瓷依惹筑乔峻叶烬档忘拇侦膜折常痕拢授彬再榴荣行热行非峻破牺业妄诺枕创检盲浑玻售癣在彬官醒热佬忧逐乔牺叶烬档妄糯柬拇遂绚浑玻在雹冠榴少行尤行非傀佣峻抖妄诺枕拇检穴漂何云挺膘功哪蹄矛址毛肥局侄琳掉浇溶兰阵严浅鸦在挝柴功咆啼碍蹄矛址谊侄局抖亮婶澜阵牙城严浅何伯挺表挺颖啼哪指矛忿局侄麻婶浇溶兰阵贱咱绘帛挝伯型颖功迎蹄蝇愤膊书校官帘蓉邪幼傀幼织抑军排晚蹬届哪屉衙赠趁宏校蚤北官斜蓉鞍缸淆分织抑吸艺整的检涯怔趁魂侣书膊官帘韶邪迂晓幼织抑军艺忘蹬届哪屉疵扎妹赎崖蚤膊官斜予鞍缸淆纷魁凌审宴耽吉灶鉴弛诲迟魏毗效毗构瓣铬妹炙卢史芦眨

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文

此文档下载收益归作者所有

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文
温馨提示:
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件,查看预览时可能会显示错乱或异常,文件下载后无此问题,请放心下载。
2. 本文档由用户上传,版权归属用户,天天文库负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容,确认文档内容符合您的需求后进行下载,若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误,付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。