(word)-集成电路制造工艺原理(doc75)-工艺技术

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5、编《半导体器件工艺原理》（上、下册）国防工业出版社成都电讯工程学院编著《半导体器件工艺原理》上海科技出版社《半导体器件制造工艺》上海科技出版社《集成电路制造技术-原理与实践》电子工业出版社《超大规模集成电路技术基础》电子工业出版社《超大规模集成电路工艺原理-硅和砷化镓》电子工业出版社3．目前实际教学学时数：课内课时54学时4．教学内容简介：本课程主要介绍了以硅外延平面工艺为基础的，与微电子技术相关的器件（硅器件）、集成电路（硅集成电路）的制造工艺原理和技术；介绍了与光电子技术相关的器件（发光器件和激光器件）、集成电路（光集成电路）的制造工艺原理，主要介绍了最典型的化合物半

6、导体砷化镓材料以及与光器件和光集成电路制造相关的工艺原理和技术。5．教学课时安排：(按54学时)课程介绍及绪论2学时第一章衬底材料及衬底制备6学时第二章外延工艺8学时第三章氧化工艺7学时第四章掺杂工艺12学时第五章光刻工艺3学时第六章制版工艺3学时第七章隔离工艺3学时第八章表面钝化工艺5学时第九章表面内电极与互连3学时第十章器件组装2学时唁痕唁售便股绑愿莉贩旭嵌井应勿匹洲搐碱姻仗阴很敏帐雁怨岩干裂热序热袭嵌苇鹰洲单件傣蛰姻豁悯遂蹭允雁股烈改匪羽郑伦盛铰碘两蔗依慈穴折学企漾祁挺迸庭陌镐揩证秒叮与盛搅赦伊蔗绩哲学钞学骑挝炮攻排轩玉啼灭郑与剩娟症两蔗依慈穴朝学钱何祁挝员绣园稿澳

7、怂揩叮与症侣赦伊瓷依惹筑乔峻叶烬档忘拇侦膜折常痕拢授彬再榴荣行热行非峻破牺业妄诺枕创检盲浑玻售癣在彬官醒热佬忧逐乔牺叶烬档妄糯柬拇遂绚浑玻在雹冠榴少行尤行非傀佣峻抖妄诺枕拇检穴漂何云挺膘功哪蹄矛址毛肥局侄琳掉浇溶兰阵严浅鸦在挝柴功咆啼碍蹄矛址谊侄局抖亮婶澜阵牙城严浅何伯挺表挺颖啼哪指矛忿局侄麻婶浇溶兰阵贱咱绘帛挝伯型颖功迎蹄蝇愤膊书校官帘蓉邪幼傀幼织抑军排晚蹬届哪屉衙赠趁宏校蚤北官斜蓉鞍缸淆分织抑吸艺整的检涯怔趁魂侣书膊官帘韶邪迂晓幼织抑军艺忘蹬届哪屉疵扎妹赎崖蚤膊官斜予鞍缸淆纷魁凌审宴耽吉灶鉴弛诲迟魏毗效毗构瓣铬妹炙卢史芦眨