光刻机双驱动微动台温度场研究

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1、硕士学位论文光刻机双驱动微动台温度场研究RESEARCHONTEMPERATUREFIELDOFLITHOGRAPHYDUALDRIVEWAFERSTAGE牛成诚哈尔滨工业大学2013年7月国内图书分类号：TH113.1学校代码：10213国际图书分类号：621密级：公开工学硕士学位论文光刻机双驱动微动台温度场研究（应用型）硕士研究生：牛成诚导师：刘亚忠副教授申请学位：工学硕士学科：机械制造及其自动化所在单位：机电工程学院答辩日期：2013年7月授予学位单位：哈尔滨工业大学ClassifiedInde

2、x:TP113.1U.D.C:621DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringRESEARCHONTEMPERATUREFIELDOFLITHOGRAPHYDUALDRIVEWAFERSTAGE（Applied）Candidate：NiuChengchengSupervisor：AssociateProf.LiuYazhongAcademicDegreeAppliedfor：MasterofEngineeringSpeciality：MechanicalMa

3、nufacturingandAutomationAffiliation：SchoolofMechatronicsEngineeringDateofDefence：July,2013Degree-Conferring-Institution：HarbinInstituteofTechnology目录目录摘要错误！未定义书签。ABSTRACT错误！未定义书签。第1章绪论11.1课题背景及研究的目的和意义11.2光刻机工件台的国内外研究现状及分析11.2.1光刻机工件台的国外研究现状及分析错误！未定义书签。

4、1.2.2光刻机工件台的国内研究现状及分析错误！未定义书签。1.3本文的主要研究内容错误！未定义书签。第2章有限元热分析的相关理论22.1引言22.2热分析相关理论22.2.1热传递的三种基本方式22.2.2导热微分方程及边界条件42.2.3热应变及热应力62.3有限元分析方法的相关知识82.3.1有限元分析方法的基本思想82.3.2有限元分析方法用于对结构进行热分析82.4本章小结11第3章晶圆升降装置温度场分析及结构分析123.1引言123.2晶圆升降装置温度场分析123.2.1有限元模型的建立1

5、23.2.2材料参数的设定133.2.3热分析计算结果及分析133.2.4热－结构耦合分析计算结果及分析153.3晶圆升降装置静力学分析153.3.1材料参数的设定153.3.2有限元模型的建立153.2.3载荷及边界条件的确定163.2.4计算结果及分析16目录3.3晶圆升降装置模态分析173.3.1模态分析理论基础173.3.2模态分析参数及载荷约束条件193.3.3模态分析计算结果及分析193.4本章小结20第4章光刻机微动台CHUCK部件温度场分析214.1引言214.2有限元模型的建立214

6、.2.1光刻机双驱动微动台系统方案介绍214.2.2微动台实体模型的建立224.2.3微动台Chuck部件有限元模型的建立244.3热源的分析及计算254.3.1热源的分析254.3.2直线电机热载荷计算264.4微动台Chuck部件热分析304.4.1Z向重力补偿器热载荷作用下热分析314.4.2XY平面电机铰链热载荷作用下热分析324.4.3XY平面电机挡热板热载荷作用下热分析334.4.4RA传感器热载荷作用下热分析344.4.5晶圆热载荷作用下热分析354.5Chuck部件热－结构耦合分析36

7、4.5.1Z向重力补偿器热载荷作用下热－结构耦合分析374.5.2XY平面电机铰链热载荷作用下热－结构耦合分析404.5.3XY平面电机挡热板热载荷作用下热－结构耦合分析434.5.4RA传感器热载荷作用下热－结构耦合分析464.5.5晶圆热载荷作用下热－结构耦合分析494.6Chuck部件在重力和温度场综合作用下的变形534.6.1重力作用下的变形534.6.2重力和温度场综合作用下的变形544.7本章小结60第5章XY平面电机定子温度场实验615.1温度场传感器的类型615.2温度场传感器的选择6

8、15.3XY平面电机定子温度场分析62目录5.4实验数据处理625.5本章小结64结论66参考文献68哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限72致谢73哈尔滨工业大学硕士学位论文第1章步进扫描光刻机工件台系统介绍1.1光刻机双驱动微动台系统方案介绍作为步进扫描光刻机的关键系统，工件台系统必须具有快速步进、超精密定位、同步扫描及精确的逐场调焦调平的功能和特点。在步进扫描光刻机工作过程中，工件台和掩模台进行超精密同步扫描运动，工件台承载硅片将其从预处理工