mod法制备ybco薄膜及工艺的研究

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1、西南交遴大学硕士研究生鬻位论文第1页摘要YBCO嵩滏越罨薄貘在军事、藤攀及毫子等众多领域有菲鬻广溺的应用前景，哥前制备这种薄膜的主要方法有磁羧溅射、激光脉冲沉积等。本论文旨在采用无氟MOD法制得具有钙钛矿结构的致密YBCO薄膜。以无机盐为初始原料研究了溶胶形成过程中的化学反应及成膜机理，探讨了LaALO。基板上薄膜沉积技术等。逃一步用x射线错瓣纹纛扫攒电镜磺究了薄膜维梭、维鑫情凝窥表嚣影貌，分撰了楗廉瓣YBCO薄貘麓备的影豌，戳及举潮熬处理条箨辩薄膜结晶结构、形貌及性能的影响．研究结果如下；(1)采用钇、钡、铜的无机熊Y。0。，BaCO。

2、，CuO作出发原料，络念荆采用聚乙烯酵缩丁醛树脂的丙酸溶液，可以制得成膜质量好的稳定溶胶。(2)舞搽索袋穗MOD方法在LaAIO。(001)擎菇蒸舞主麓冬挂魏良好的YBCO怒鼯薄膜的最佳热簸毽条件，我稍在分解热处理条件确嗣的情况下改变成相、渗氧热处理的温度，确定了游膜制备的最佳热处理工艺。(3)XRD测试袭明由溶胶制成魄YBCO薄膜形成了比较完全的YBa。Cu。0，一。超导鞠，分褥表明YBCO具有受妊。辘敬囱，目眩杂穗较痧。(4)SEM测试分析YBCO薄膜熊有较好的表面彤貌，但样品转变濑度(7c)较低。关键词；YBCO，凭氟MOD，结晶织

3、构，热处理，外延生长一西南交滋犬学硕士研究生攀位论文第1I页AbstractYBCOhightemperaturesupercOnduclorfilmholdsgreatpromiseforapplicationsinmilitaryaffairs，iatrology，electronicandsoon．PresentlythemainmethodsofpreparingYBCOfilmshavemagnetronsputteringandlaserdeposition．InthispaperthedenseYBCOfilmswithpe

4、rovskitestructurewereexpectedtobepreparedbymetalorganicdeposition(MOD)process．Theconfectingmethodsofsotwerediscussedusinginorganicsaltasprecursors，andtheFTIRwasadoptedtoanalysethechemicalreactionandfilmformingmechanismofstables01．Thetechniquesofpreparingfilmbufferlayerson

5、LaAL03werestudied。TheSEM，TEMandXRDwereadoptedtostudythecrystalstructureoffiIres．Thein蠡uencesofsubstrateandheattreatmentconditiononthecrystalstructureandperformanceoftheYBCOfilmswerediscussed．Theresultsarelistedasfollows：(1)TheinorganicformateofY，BaandCuwasusedasprecursors

6、，forexample，Y203，BaC03andCuO，andPVBofPropionateascomplexedagents。Thestablefluorine·freeYBCOsolcanbeobtained。(2)InordertosearchafterthebesttemperatureinwhichYBCOsuperconductoffilmcanbepreparedonthesinglecrystalofLaAl03byMODmethod．Wechangethehightemperatureofheattreatmentin

7、theconditionofthesamedecomposedtemperature．(3)TheXRDtestingshowthatthefilmofYBCOsupefconducti霸gstructurehadbeenprepared，AnditwasindicatedthatYBCOistropismofCaxes．FewAaxestropismexist．(4)TheSEMtestingshowthatthefilmofYBCOsurfaceisverygood。buttheTcislow．keywords：YBCO，F-free

8、MOD，crystal，heattreatment，epitaxialgrowth西南交通大学硕士研究生学位论文第1页第一章绪论1．1高温超导材料发展历程1911年，昂内斯Ⅲ(Onnes)等人