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薄膜抛光过程仿真与实验研究

薄膜抛光过程仿真与实验研究

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页数：50页

时间：2018-11-10

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1、上海海事大学硕士学位论文薄膜抛光过程仿真与实验研究姓名：杨浩申请学位级别：硕士专业：机械电子工程指导教师：董丽华20060701

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