洁净室技术应用中当前的几个热点问题

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1、洁净室技术应用中当前的几个热点问题

2、第1lun/s（100fpm），25%相对于0.125m/s（25fpm）。当前有关规范、导则等的推荐或参考值见表1。注：1、ISO14644-4对于气流速度/换气次数是明确作为参考资料的，表中所列仅适用于微电子及IC工厂；对制药厂只列ISO5级气流速度>0.2m/s，对ISO6～8级皆未列出参考值。2、（M）指混合流，N指非单向流；*指对污染源已采取有效的隔离措施的洁净区。表1中有关气流速度和换气次数的推荐或参考值，应该说是经验的反映。如ISO/DIS14664-4提出的数值皆明确适用于那类洁净室的；IEST的推荐值亦是被一些权

3、威机构认为仅适用于半导体工厂。由于具体情况变化较大，有的经验值可能已不适合当前的室内尘源控制措施及过滤器效率提高的情况。2.2对有关推荐或参考值的讨论近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为：(1)洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能；而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净室的理想自净时间Tr=体积/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少。(2

4、)末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度/换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。当前HEPA/ULPA的效率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8个9以上都可选择。其效率对气流速度的影响除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非单向流情况下，按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式可以得出：(a)室内发尘量较高时，末级过滤器效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这种情况下，过高的过滤效率是无必要的。(b)室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响增大。以上情况可

5、以引用的图1a～1c看出。作图有关数据：新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3室内发生量:G1=350个/m3.minG2=3500个/m3.minG3=35000个/m3.minG4=350000个/m3.min新风量对于全空气量的比率0.03当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室，采用FFU系统,带ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，这种情况下采用低

6、的气流速度可能是可取的。据报道，目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：≤ISO5级：气流速度0.2～0.5m/s；ISO6级或5级（非单向流）；换气次数＞200次/h；ISO7级：换气次数20～200次/h;ISO8级：换气次数2～20次/h;三.FFU系统的应用3.1当前FFU的情况FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：(1)采取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内;(2)电动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率<1/2HP）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极

7、式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。(3)但FF瓣出口静压不能过大，一般采用出口风速成0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。3.2FFU回风系统与其他方式相比的优点3.2.1一般评价优点：(1)灵活性大，便于改造；(2)占用建筑物空间较少；(3)洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。缺点：(1)要求回风道全部阻力（包括多孔地板、格栅及风道）、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力（在初阻力时），总共应

8、控制在165Pa左右，以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了FFU系统的综合优点。