GB-T14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法

《GB-T14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、中华人民共和国国家标准硅片直径测量方法光学投影法GB/T1414093Siliconslicesandwafers-Measuringofdiameter-Opticalprojectingmethod主题内容与适用范围本标准规定r用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为卢40-0100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度本标准用作仲裁测量方法弓!用标准GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB12962硅单晶方法提要利用光学投影仪，将硅片投影到显示屏上，使用螺旋测微计和标准长度块进行测量以硅片投影的两端边缘分别与

2、显示屏上的垂直坐标轴左右两边相切，其位置差即为硅片直径测量仪器4.1光学投t;仪放大倍数为10-50X，载物台可在X和Y方向移动，移动范围皆为。^-25mm移动精度为1pm,4.2样品架，包括支架和祥品夹两部分。样品夹能在支架r滑动。滑动范围为50^-100m-4.3标准长度块，长度范围为5^100mm，绝对误差小于1km，一套共20块。试验样品从一批硅片中按GB2828计数抽样方案或商定的方案抽取试样。6测量步骤已月..测量在23士5℃下进行。样品架及标准长度块应洁净e门Z移动载物台到中间位置。巳C.曰按硅片的导电类型确定要测量的三条直径的位置，见图1。硅片参考面位置

3、应符合GB12962的规定。国家技术监督局1993一02一06批准1993一10一01实施GBJT14140.1-93P;100P(11!户Nu0nN仁11、图1各类试样直径的测量位置6.3.1对干P<111)和N(100)硅片，要测量的三条直径是平行于t参考面的直径和与该直径成45。角的另二条直径。6.3.2对于P(100)硅片，第一条直径位于主、副参考面的中间，第二条直径垂直于第一条直径，第三条直径与第二条直径成300角。6.3.3对于N(111)硅片，第一条直径平行于主参考面，第二条直径与第一条直径成3。角，第三条直径与第二条直径也成30。角。6.4硅片放入样品夹

4、，使被测直径处于测量位置。6.5将与硅片直径尺寸相当的标准长度块置于样品架左端。6.6滑动样品夹，使硅片边缘靠紧标准长度块6.7调节光学投影仪，使硅片边缘轮廓清晰地显示在显示屏上6.8调节螺旋测微计，使载物台在x方向移动，直到硅片边缘轮廓的左边与显示屏[的垂直坐标轴相切、见图2。记下此时螺旋测微计读数FGB/'r14140.1-93图2试样边缘在与垂直轴左边相切位置6.9移走标准长度块.记下基准长度L,滑动样品夹靠紧支架左端。6.10调节螺旋测微计，使载物台在X方向移动，并使硅片边缘轮廓的右边与显示屏F垂直坐标轴相切，见图3记下此时螺旋测微计读数5。6.11旋转硅片，使

5、另一被测直径处于测量位置u重复6.5-6.10条测量步骤，直至测完三条直径乖自轴试样图很图3试样边缘与垂直轴在右边相切位置测量结果计算7.1硅片直径值按公式(Cl)计算:GB/'r14140.1--93D;=L十(F一S)······································⋯⋯(式中:D;—硅片直径测量值，mm;L一一基准长度值,mm;F--一第一次记录的读数,mm;S-一第二次记录的读数.mm=注硅片直径大于基准长度时，(FS)为正值;硅片直径小于基准长度时，(F-S)为负值7.2硅片直径的平均值D按公式(2)计算:D一合客。8精密度本方法单个

6、实验室测量二倍标准偏差为士16}im9试验报告9.1试验报告应包括以下内容:a.硅片编号;b.硅片批量及检测试样数量;c硅片直径测量值及直径平均值;d，本标准编号;e.检测者及检测日期附加说明本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由洛阳单晶硅厂负责起草。本标准主要起草人王从赞、夏光勤。本标准等效采用ASTMF613-82《硅片直径测量方法》标准。