GB-T7774-1987 涡轮分子泵性能测试方法

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1、UDC621.525:531.787J78中华人民共和国国家标准GB7774-87涡轮分子泵性能测试方法Methodsofmearursementoftheperformancecharacteristicsofturbo-molecularpumps1987-05-23发布1988-01-01实施国家};K准局发布中华人民共和国国家标准UDC652.215:57881.7涡轮分子泵性能测试方法GB7774-87Methodsofmearutsementoftheperformancecharacteristicsofturbo一molecularpumps本标准规定了涡轮分子泵性能测

2、试方法。本标准参照采用国际标准ISO/DP5302+涡轮分子泵性能测试方法》。1内容及适用范围木标准适用于涡轮分子泵极限压力、抽速及最大压缩比的测试。所用前级泵的抽速，应是分子泵名义抽速的0.02^-0.1倍。分子泵性能测试选定两个压力范围。即:a.1^-10-"Payb.低于10-Pa.2术语2.1抽气速率(休积流率)泵装有标准测试罩并按规定条件工作，从测试罩流过的气体流量(Q)与测试罩上指定位置测得的平衡压力(P)之比，简称泵的抽速，即:一多，m'/h或L/so2.2极限压力泵装有标准测试罩并按规定条件工作，在不引入气体的正常工作情况下，趋向稳定的最低压力口2.3最大压缩比泵入口的

3、气流量为零，试验气体在前级区分压至少占全压的90%时，其前级压力与入口压力之比。3装里〔压力范围1-1。一"Pa)3.1测试革如图1所示。罩为圆筒形，其轴向尺寸为罩内径D的1.5倍。试验气体进气管口在测试罩轴线上，距泵入口法兰为D,测全压力的规管接头距泵口法兰为0.5D，其轴线垂直于测试罩轴线;与此规管接头成90”另设一同样接头，用来连接残余气体分析仪。测试景应配备烘烤装置。对口径小于或等于100mm的泵，测试罩内径取100mm。用图2所示的锥形连接管把泵与测试罩连接起米。对口径大于1.00mm的泵，测试罩内径与泵口内径刀相同。3.2宾空计真空计必须校准。对压力高于或等于1Pa的真空计

4、，其校准精度应在土5%以内;对压力低于1Pa的真空计，其校准精度应在110%以内。前级压力用带有液氮冷阱(流导不小于2L/s)的高压强热阴极电离计测量。分子泵入口压力用热阴极电离真空计—B-A规测量。3.3气体流SAIf装置国家机械工业委员会批准1988-01一01实施GB7774-s7图1测试罩A压力范围1^-10-`Pa图2锥形连接管根据所测流量大小选择测量气流量的方法。其精度为:a.流量大于1Pam'/s为13%;b.流量在1,10-`Pam3/s内为15%。建议采用滴管式流量装置，参照GB6307.1-86<蒸汽流真空泵抽气速率测量方法》中，2.4,通.2条。气体流量测试装置见

5、附录C图，3.4分子泵出口至前级泵间的压力浏三及进气装里测试系统如图3所示。调节装在前级泵入口附近的微调阀，以得到前级区不同的压力值。分子泵与前级泵间采用一内径等于分子泵出口直径的圆管连按。规管用圆短管连接，其轴线垂直于分子泵与前级泵间接管的平直部分，且规管应靠近分子泵出口。409试方法(压力范围1一10-0Pa)采用“定压法”测试。将测试罩装在泵上，分子泵按规定条件运转。在整个测试过程中，室温应在15-25℃之间的某一温度。侧试时、温度允许变化士1G.测试罩烘烤后，测试系统的温度应均匀，且在15^-25℃之间，温度变化不超过土3℃。4,1极限压力测通分子泵启动1h后，烘烤测试罩，烘烤

6、温度不超过120Co若泵备有洪烤装置，应按制造厂规定进行烘烤。烘烤持续时间不得超过21hp在烘烤期间及其以后，测量极限压力的热阴极电离计规管必须按制造厂规定进行去气，每10h进行GB7774-87图3分子泵出口至前级泵间压力测量及进气装置1一分子泵2一微调阀3一测试罩4一超高真空计规管5一剩余气体分析仪接管6一高压强真空计7一液氮冷阶8一微调阀9一双级旋片泵一次，最末一次去气至少应在测量极限压力前5h进行。烘烤结束后48h内用热阴极电离计测得的压力，即为分子泵极限压力。此时，压力与时间的关系曲线的斜串不应为正值。4.2.大压缩比测，取干燥空气、氢气为试验气休。当测试罩中达到极限压力尸。

7、时，测量相应的前级压力PEu;此尸‘。值应低于10-'Pa.调节图3中微调阀，试验气体进入前级区，使前级压力增大到某一欲测值尸。，待压力稳定后，测量分子泵入口压力尸，，对不同尸。值重复上述程序，,,.压弧量级测三点。绘制分子泵入口压力尸，对前级压力尸。的关系曲线。分子泵最大压缩比由下式给出:尸‘一尸b。K=(I)--p丁二户测试时须接残余气体分析仪或其他能指示气体纯度的仪器。注:①应使用对试验气休校准过的真空计，测量分子泵入口压力及前级压力。②