微电机投稿模板

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1、自从人类进入商品经济社会以来，贸易即已成为人们日常活动的主要部分，并成为一国经济增长的主动力。国际分工的深化、大量国际统一标准规则的建立微电机投稿模板　　篇一：清华大学学报投稿模板　　一款微型静电旋转电机设计　　林奎成　　（清华大学精仪系，北京）　　摘要：微型静电电机是MEMS技术中一种非常重要的机械驱动装置，相关的研究引起了国内外学者的高度重视。本文从原理方案设计、结构设计、集总参数建模、数值仿真计算等方面对一款典型的微型静电旋转电机进行了设计。结合理论推导公式分析了静电旋转电机的性能优化方法。根据理论转矩公式设计了电机相关尺寸参数，计算出当最大激励电压为50V时

2、，其理论最大转矩为7N·nm，满足实际要求。采用表面微机械加工、表面刻蚀以及气相沉积相结合的方法设计了微型静电电机的加工工艺。　　关键词：微型静电电机；集总参数；结构设计；表面刻蚀中图分类号：　　Designofamicroelectrostaticrotarymotor　　LinKuicheng　　(DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanologyTsinghuaUniversity,Beijing)　　Abstract:Electrostaticmicro-motorisaveryimportanttechnology

3、intheMEMSmechanical随着信息化和全球化的发展，国家及地区之间的贸易也已成为拉动一国经济的三驾马车之一，甚至是三驾马车之首，奥巴马政府成立之日起自从人类进入商品经济社会以来，贸易即已成为人们日常活动的主要部分，并成为一国经济增长的主动力。国际分工的深化、大量国际统一标准规则的建立driveunit,relatedresearchhasarousedgreatattentionofscholarshomeandabroad.Fromtheprincipleofdesign,structuraldesign,lumpedparametermodeling

4、,numericalsimulationandotheraspects，atypicalmicroelectrostaticrotarymotorisdesigned.Combiningtheoreticalformula,thisarticleanalysedtheelectrostaticrotarymotorperformanceoptimizationmethods.Accordingtothetheoreticaldesignofthemotortorqueformula,thisarticledesignedsizeparameters,calculat

5、edthatwhenthemaximumexcitationvoltageof50V,itstheoreticalmaximumtorque7N?nm,meetingtheactualrequirements.Usingsurfacemicro-machining,surfaceetchingandvapordepositionmethoddesignedofamicroelectrostaticmotorprocesses.　　Keywords:electrostaticmicro-motor;lumpedparameter;structuraldesign;su

6、rfaceetching　　0前言随着信息化和全球化的发展，国家及地区之间的贸易也已成为拉动一国经济的三驾马车之一，甚至是三驾马车之首，奥巴马政府成立之日起自从人类进入商品经济社会以来，贸易即已成为人们日常活动的主要部分，并成为一国经济增长的主动力。国际分工的深化、大量国际统一标准规则的建立　　微机电系统（MEMS）技术的发展使得众多的工业领域出现了革命性的发展，微型电机是MEMS中的非常重要的一种机械驱动装置，一定程度上代表着MEMS发展水平。1987年加州大学伯克利分校科学家研制出世界上第一台微型静电电机，此后掀起了微电机的发展的浪潮，相继出现了顶驱动电机、侧驱

7、动电机、摆动电机、中心电机、法兰盘电机、线性步进电机等多种微电机。[1]微型静电电机具有转速　　高、无直流功耗、易于控制以及加工工艺可与IC制造工艺相结合的特点，因而引起了国内外学者的广泛关注和研究。微型静电电机技术主体包括五个方面，设计、建模和仿真、加工制造、应用及其可靠性分析。一般来说，微型静电电机可适用于诸如静电微泵等微驱动器、微传感器、半导体器件、光电子元件和数据存储介质等低转矩、高速的应用，且适合　　[2]　　于在芯片上完成工作。在制造工艺方面，以美国、日本以及德国分别代表了三种制造工艺，美国以硅表面超微加工技术为代表，利用牺牲层技术与集成电路工艺相结