[信息与通信]少子寿命测试仪故障翻译

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1、15.DiagnosticsandTroubleshooting15.诊断和故障TheWT-2000isdesignedforyearsofreliableoperation.Intheeventthataproblemoccurs,refertothischapterforproceduresyoucanfollowtodiagnosethecauseoftheproblem.Insection15.1,theusercanfindtheterminologysection,whichdescribesthedifferentpartsof

2、thesystem.Itisnecessarytounderstandtheterminologyinordertodoeffectivetroubleshooting.Latersectionscontainacollectionofpossibleproblemsandthemethodstoeliminatethem.Thetopicsareorganizedasshownbelow:WT-2000年reliable运作设计。在该事件中出现问题，请参阅本章程序您可以按照来诊断问题的原因。第151条用户可以找到条术语描述系统的不同部分。有

3、必要了解术语做有效的疑难解答。后面各节包含可能存在的问题和消除这些方法的集合。该主题组织，如下所示：•CommunicationProblems,section15.2·•ProblemsatInitialization,section15.3·4•Problemsduringmeasurement,section15.4•μ-PCDLifetimeMeasurementErrors,section15.5•JPVMeasurementErrors,section15.615.1Terminology术语Thissectiondefinest

4、henamesofthepartsinthesystem.该章节定义了系统内各个部件的名称。Section15.1.1describespartsofthescannerunit,section15.1.2describespartsoftheindustrialcomputer,andsection15.1.3discussestheoperationalsoftware,includingtheSystemDiagnosticfile.15.1.1章节阐述扫描单元的部件。15.1.2章节阐述了工业计算机的部件。15.1.3章节讨论了运行软

5、件，包括系统的诊断文件。15.1.1PartsoftheScannerUnit15.1.1扫描仪单元的部件15.1.1.1MeasurementStage15.1.1.1测量工作台Themeasurementstage(Figure15-1)holdsthesample.Inthemiddleofthemeasurementstage,therearethevacuumchuck,whichfixesthesampleduringthemeasurement,andtheoptionalwaferliftpinswhichliftupandp

6、utdownthewafer.如图15-1示，测量工作台装有样品。在测量工作台中间，有一个真空吸口，用来在测量期间固定样品。可选硅片升降针，用来升高或降低硅片。Figure15-1:Measurementstage测量平台Ontherightsideofthemeasurementstagetherearesomeoutlets(Figure15-2).（图15-2）测量工作台右侧有一个出口。Figure15-2:Outletsontherightsideofthemeasurementstage图15-2：测量工作台右侧的出口Thetopo

7、neisthewaferliftcable(optional).顶部一个是硅片升降线。（可选项）Thesecondone(fromthetop)istheground(GND)cable.从顶部向下数，第二个是地线，GNDWhenthemeasurementstageisinthesystem,theGNDcablemustbeconnected.测量工作台的地线必须系统接地。Thethirdone(fromthetop)isthevacuumcable.Whenthemeasurementstageisinthesystemithastob

8、econnected.Thebottomoneisthewaferliftcable(optional).第三个是真空管，测量工作台在系统中必须连接，底部是硅片升降