液晶面板cell生产流程毕业论文

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1、长沙民政职业技术学院2011届系另lh电子信息工程学院专业：应用电子技术班级：电子1131班液晶面板CELL生产流程摘要错误！未定义书签。第1章概述错误！未定义书签。1.1液晶面板简介错误！未定义书签。1.2CELL工程概要错误！未定义书签。第2章液晶面板CELL制造流程（前工程）错误！未定义书签。2.1PI前洗涤错误！未定义书签。2.2PI印刷错误！未定义书签。2.3RUBBING（配向）错误！未定义书签。2.4GAP工程错误！未定义书签。第3章液晶面板CELL制造流程（后工程）错误！未定义书签。3.1CPS（CUTTINGWITHPE

2、NETRABLESCRIBE）错误！未定义书签。3.2GRINDER（研磨清洗）错误！未定义书签。3.2AUTOPROBE（检查）错误！未定义书签。第4章总结错误！未定义书签。第5章结束语错误！未定义书签。参考文献错误！未定义书签。E摘要】TFT-LCD液晶显示屏是薄膜晶体管型液晶显示屏，也就是“真彩”（TFT）。Cell工程目的是把Array工程制作的ITT基板和彩膜（CF）基板，经过一系列处理后真空合贴成合格的液晶屏（Panel）,流到模组（Module）工程。关键词：TFT-LCDCe11工程、TFT基板、CF基板、真空合贴第一章概

3、述1.1液晶面板简介TFT(ThinFilmTransistor)即薄膜场效应晶体管。所谓薄膜晶体管，是指液晶显示器上的每一液晶象素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息。TFT属于有源矩阵液晶显示器。偏光板'玻璃■'透明电极■配向膜液晶'配向膜'彩膜1玻璃偏光板(液晶屏基本结构)1.2CELL工程概要TFT-LCDCeII工程是阵列制程的后工序，它是以前段Array的玻璃为基板，与彩色滤光片的玻璃基板结合，并在两片玻璃基板间灌入渔晶(LC)。主要工序包括：清洗、PI涂布、RUBBING配向

4、、LC液晶DOTTING(GAP)、SEAL涂覆(GAP),真空贴合(GAP)、切割(CPS)、研磨(GRIND)、检查(AUTOPROBU)等。(VALC)第二章液晶面板CELL制造流程（前工程）2.1PI前洗涤投入前洗浄目的：•除去TFT、CF基板上的异物粒了•和污染物•提高配句膜的印刷性清洗方法:洗净方法的类型用途和特征化学清洗药液清洗多量有机污染物的去除，需根据污染物选择溶剂纯水清洗用于上述药液的去除，但附着粒子去除不充分湿式清洗滚刷清洗（Brush）用于去除强固吸附的大粒子（3um以上），但不适于微小粒子的去除，可与化学清洗组合

5、使用干式清物理清洗高压Jet超声波清洗HyperMix低压水银灯UV用于去除中等粒径（1-3um）的异物粒子用于除去小粒径（1Pm以下）的异物粒子利用气液混合方式除去中小粒径的异物粒子可以用于除去膜状有机物，并且可以提高成膜的涂布性EUV作用同上，但是EUV的清洗效果更好洗净原理UV(EUV)洗净紫外线（UV）使02生成03,并进一步分解为具有强氧化性氧自由基（0），使有机物氧化分解达到洗净效果。EUV的原理相同，只是其波长更短（即光子能量更高），产生0的能力更强，因而洗净效果更好。Brush（滚刷）洗净利用滚刷在一定压入量（压力）的条件

6、下，在基板表面旋转时产生的机械剥离力将异物粒子除去。它针对的主要是大粒径的异物粒子。基板干燥方法：空气刀（AirKnife）干燥:空气刀是使用高压干燥空气从狭缝中吹出，将停留在基板表面的纯水除去。经过气刀干燥的基板还需要进一步干燥。IR干燥：利用高温加热（IR）的方式将残留在基板表面的水分彻底除去，IR干燥只能用于除去少量水分，干燥效果与加热温度和时间有关。基板经过IR干燥后需要冷却，一般有冷板（ColdPlate）型和空冷型。2.2PI印刷配向膜印刷目的：配向膜印刷工艺的目的是在TH基板及CF基板上均匀的印刷一层可使液晶分子取向的配向材

7、。所使用的配向材为聚酰亚胺（PI,Polyimide）。PI在大面积均匀性、涂覆性、摩擦性、取向控制力、化学稳定性以及对液晶兼容性等方面均优于其它高分子。PI设备构成及其作用PI印刷机在GLASS上面，将PI膜用薄膜印刷的设备预备干燥炉PI在高温（50~150°）PLATE上进行干燥的装置PTNMURA检查GLASS表面的斑点，利用光源检查PATTERN不良有无PI塑性机涂覆的PI液经过热硬化，形成薄膜的装备COOLINGBUFFER高温的GLASS进行自然冷却的BUFFER异物RPR接收PTNMURA数据后，用LASER或者TAPE研磨

8、去除异物PI涂覆方式: