pecvd法制备多晶硅薄膜

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1、毕业论文题目PECVD法制备多晶硅薄膜研究◆学生姓名：◆专业班级：◆指导教师：总纲1太阳能光伏行业2太阳能电池3论文主要任务4论文重点内容5总结及展望论文重点内容1多晶硅薄膜的结构和特性2多晶硅薄膜的制备方法3PECVD设备和基本原理4PECVD沉积动力学分析5PECVD制备多晶硅薄膜影响因素论文主要任务了解太阳能光伏行业的现状和发展趋势，搜集太阳能电池的相关信息。掌握多晶硅薄膜的微观结构、性能要求，为后面分析奠定基础。总结归纳多晶硅薄膜的主要制备方法。PECVD可以低温、直接制备多晶硅薄膜，具有美好的发

2、展前景。掌握PECVD设备和基本原理，了解PECVD制备多晶硅薄膜中，沉积的动力学过程。研究探讨PECVD制备多晶硅薄膜中的主要影响因素：反应气源、衬底材料、氢稀释浓度(硅烷浓度)、衬底温度、射频功率、反应气体压强等。通过Raman光谱、SEM、数据曲线图等同步结合沉积理论，给出各影响因素的理论解释，对工业化生产具有指导意义。太阳能光伏行业发展趋势太阳是万物之源，它不但清洁，而且取之不尽用之不竭，对环境无任何污染。21世纪以来，全球太阳能电池产业平均年增长率达30%以上，近五年来，全球太阳能光伏发电产业的

3、年增长率高达50%。据研究机构Solarbuzz发布的统计数据显示，2008年，尽管受到全球金融危机的影响，但全球世界太阳能光伏发电装机容量达到创纪录的5.95GW，比2007年增长110%。同期，全球太阳能光伏电池产量从2007年的3.44GW增长到6.85GW，整体产能利用率达到67%。2008年全球光伏市场总收入则达到371亿美元。据世界能源组织（IEA）、欧洲联合研究中心、欧洲光伏工业协会预测，2020年世界光伏发电将占总电力的1%，到2040年光伏发电将占全球发电量的20%，按此推算未来数十年，

4、全球光伏产业的增长率将高达25%～30%。无锡尚德太阳能电池有限公司是我国最大的太阳能电池生产厂家，2005年生产82MW，占全国总产量的56.3占晶体硅太阳能电池的61.7%。2007年，尚德太阳能电池有限公司已成为全球第六大生产商。南京中电太阳能公司的产能也由2004年的30MW增加到100M国内总产能占全球的16.7%。保定英利绿色能源有限公司是全球最大的垂直一体化光伏发电产品制造商之一。2007年，公司铸锭、硅片、电池、组件产能均达到200MW，2008年达到400MW，2009年达到600MW。

5、据中国太阳能协会的统计数据，2007年国内太阳能电池的产量约为1180MWp，在全球太阳能光伏电池市场的份额达到27%。同期，欧洲、日本和美国的产量分别是1062、920和266MWp。2007年世界前16家太阳电池公司中，中国已经占有了6家，中国已成为名副其实的太阳能电池世界第一大国。但中国太阳能光伏产业呈现出“两头在外”的格局，即中国太阳能光伏产业的主要销售市场以及核心技术和原材料都主要来自国际市场。国家应通过税收优惠政策、政策性贷款和专项资金，鼓励优势企业进行高纯度硅料等核心技术和薄膜电池等新兴技术

6、的研发。这将会大大提高国内太阳能光伏电池产业的整体竞争力，推动中国从太阳能光伏产业大国跃升为太阳能光伏产业强国。太阳能电池原理和分类能量大于构成p-n结的半导体材料的禁带宽度Eg的光子被价带电子所吸收，价带电子吸收光子后激发到导带，产生电子一空穴对。在内建电场的作用下分离。光生电子和光生空穴分别积累在n区和p区，n区有了过剩电子，p区有了过剩空穴，这就建立起了p区为正、n区为负的光生电动势，即光生电压，这就是光生伏特效应。一：晶体硅太阳能电池主要有单晶硅和多晶硅电池，光电转换效率高，工艺成熟，在目前仍然占

7、有市场的主要份额。但耗材大，生产成本高。二：薄膜太阳能电池薄膜太阳电池又叫第二代太阳电池，主要有硅薄膜型太阳能电池(多晶硅、非晶硅)、半导体化合物薄膜型太阳能电池(III-V族化合物(GaAs、InP等)、II-VI族化合物(CdTe、CIGS等)、新材料薄膜型太阳能电池(有机半导体薄膜太阳电池和染料敏化太阳能电池)等。下面将分别做一下介绍2.1非晶硅和微晶硅太阳能电池非晶硅薄膜电池成本低，但S—W效应使其应用受限，微晶硅降低了电池的光致衰退。和非晶硅相比，微晶硅则具有较好的长波光谱响应特性。2.2多晶硅

8、薄膜太阳能电池多晶硅薄膜太阳电池因同时具有单晶硅的高迁移率，长寿命及非晶硅材料成本低、可大面积制备，材料制备工艺相对简单的优点,且无光致衰减效应。多晶硅薄膜电池技术可望使太阳电池组件的成本得到更大程度的降低,从而使得光伏发电的成本能够与常规能源相竞争目前认为，影响多晶硅薄膜太阳能电池性能的主要因素是晶粒尺寸，晶界宽度和有害杂质的含量及分布方式。此外影响电池光电转换效率的因素还有：禁带宽度，温度，载流子的复合寿命，光强，参杂浓度