欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:21191840
大小:25.50 KB
页数:19页
时间:2018-10-20
《集成电路实习报告》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在应用文档-天天文库。
1、今年以来我们在上级党组织的领导和区精神文明办的关心支持指导下坚持以邓小平理论和三个代表重要思想为指导认真落实科学发展观集成电路实习报告篇一:集成电路生产实习报告 一、实习目的 通过生产实习,了解本专业的生产过程,巩固所学专业知识。了解半导体产业发展现状;熟悉半导体元器件和集成电路制造、测试技术;熟悉集成电路封装技术。 二、实习时间三、实习地点四、实习内容 集成电路工艺认识实习报告 1.专题一MEMS(微机电系统)工艺认识1.1重庆大学微系统研究中心概况 重庆微光机电工程技术研究中心依托于重庆大学,主要合作单位有中国电子科技集团公司第二十四研究所等。中心主要从事MEMS设
2、计、研发及加工关键技 术研究、产业化转化和人才培养。 中心建立了面向西南地区的“MEMS器件及系统设计开发联合开放实验室,拥有国际先进的MEMS和CMOS电路设计及模拟软件,MEMS传感器及微型分析仪 器的组装和测试设备。 1.2主要研究成果紧紧围绕中心工作以创建区级文明单位活动为载体切实加强思想道德建设和企业文化建设深入开展群众性的精神文明创建活动今年以来我们在上级党组织的领导和区精神文明办的关心支持指导下坚持以邓小平理论和三个代表重要思想为指导认真落实科学发展观 真空微电子压力传感器、集成真空微电子触觉传感器、射频微机械无源元件、硅微低电压生化分析系统、折衍混合集成微
3、小型光谱分析仪器、全集成硅微二维加速度传感器、集成硅微机械光压力传感器、硅微加速度阵列传感器、硅微力平衡电容式加速度传感器、反射式混合集成微型光谱分析系统、微型振动式发电机系统、真空微电子加速度传感器 1.3微系统中心主要设备简介1.3.1.反应离子刻蚀机 1.3.2双面光刻机 1.3.3.键合机 1.3.4.探针台 1.3.5.等离子去胶机 1.3.6.旋转冲洗甩干机 1.3.7.氧化/扩散炉 1.3.8.低压化学气相淀积系统 1.3.9.台阶仪 1.3.10.光学三维形貌测试仪 1.3.11.膜厚测试仪 1.3.12.感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机
4、1.3.13.箱式真空镀膜机 1.3.14.槽式兆声清洗机 1.3.15.射频等离子体系统 1.4 MEMS的主要特点紧紧围绕中心工作以创建区级文明单位活动为载体切实加强思想道德建设和企业文化建设深入开展群众性的精神文明创建活动今年以来我们在上级党组织的领导和区精神文明办的关心支持指导下坚持以邓小平理论和三个代表重要思想为指导认真落实科学发展观 体积小,重量轻,材料省,能耗低;完整的MEMS一般是由微动力源、微致动器、微传感器组成,智能化程度高,集成度高;MEMS整体惯性小,固有频率高,响应快,易于信号实时处理;由于采用光刻、LIGA等新工艺,易于批量生产,成本低;MEM
5、S可以达到人手难于达到的小空间和人类不能进入的高温,放射等恶劣环境,靠MEMS的自律能力和对微机械群的遥控,可以完成宏观机械难于完成的任务。 1.5MEMS器件的应用 1.5.1工业自动控制领域 应用MEMS器件对“温度、压力、流量”三大参数的检测与控制,目前普遍采用有微压力、微流量和微测温器件 1.5.2生物医学领域 微型血压计、神经系统检测、细胞组织探针和生物医学检测,并证实MEMS器件具有再生某些神经细胞组织的功能。 1.5.3光电领域 Agere公司推出业界首款三维MEMS系统。该系统由微镜像开关、驱动器芯片等系列器件构成,集光、电、微机械和微封装于一体 M
6、EMS器件应用于数字光处理器件(DLP)。 日本航空电子研究所的OADH元件使用于DMDW通信系统中,用于筛选出某个波长信号或者迭加信号。 1.5.4生活家庭领域 汽车安全气囊、汽车用各种参数检测中的微传感器、游戏机系统均采用MEMS器件。1.5.5军工领域射频元器件紧紧围绕中心工作以创建区级文明单位活动为载体切实加强思想道德建设和企业文化建设深入开展群众性的精神文明创建活动今年以来我们在上级党组织的领导和区精神文明办的关心支持指导下坚持以邓小平理论和三个代表重要思想为指导认真落实科学发展观 燃料电池制导弹药电子引信 仿生机器生物微飞行器微纳卫星 2.专题二高压阻尼线、
7、水温传感器、点火线圈生产工艺认识 2.1重庆栋能汽车电子有限公司概况略 2.2高压阻尼线工艺流程:2.2.1下线(根据汽车型号) 2.2.2穿针2.2.3铆接2.2.4装箱2.3水温传感器2.3.1原理 水温传感器是一个负温度系数的热敏电阻,热敏电阻式温度传感器的主要部件是热敏元件,在热敏元件的两个端面各引出一个电极,并连接到传感器插座上。热敏电阻是利用陶瓷半导体材料的电阻值随温度变化而变化的特性制成的,其突出优点是灵敏度高、响应特性好、结构简单、成本低廉。汽
此文档下载收益归作者所有