22纳米碳化硅制备方法及研究进展+

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1、纳米碳化硅的制备方法及研究进展郝斌张萌（唐山学院环境与化学工程系河北唐山063000）摘要：纳米SiC材料是多种性能非常优越的材料，本文对纳米碳化硅的研究进展做了综述，并介绍了几种常用的制备纳米碳化硅粉体、碳化硅纳米线的方法，同时就其应用及大规模生产方面简述了其各自的特点，并提出了一些需要注意的问题。关键词：纳米碳化硅；制备方法；研究进展1引言纳米材料的出现是21世纪材料科学发展的重要标志，它所表现出的强大的科学生命力不仅是因为揭示出科学的深刻物理含义，而更重要的是它所发现的新结构、新现象、新效应源源不断地被用来

2、开发具有新结构、新性能的固体器件，对通讯、微电子等高新技术产生极其深远的影响。纳米碳化硅具有良好的导热性、化学稳定性、抗热震性等优点，而且能够在高温、强腐蚀性等苛刻条件下使用，使得它成为化学反应中催化剂载体的理想材料，并且已经被成功应用于一些重要的化学反应中，如：低温脱硫、催化氧化、汽车尾气的净化、甲烷偶联、直链烷烃的异构化等[1]。所以，对纳米碳化硅材料制备方法的研究具有十分重要的意义。2纳米SiC的研究进展碳化硅（SiC）是第三代半导体的核心材料之一，与硅、砷化镓相比，它具有许多优点，如宽带隙、高电子饱和高击

3、穿场强、热导率、化学稳定性好等，非常适于制作高温、高频、抗辐射、大功率和高密度集成的电子器件[2]。90年代以后，6H-SiC和4H-SiC单晶片分别于1991，1994年实现商品化[3]，并且SiC薄膜制备技术方面也取得了可喜进展，如：化学气相沉淀法（CVD），分子束外延法(MBE)、原子层外延法及脉冲激光淀积（PLD）等，使得SiC单晶薄膜的质量不断提高，SiC已成为比较成熟的宽带隙半导体材料之一[4]。SiC作为一种高效发光半导体材料已经久为人知，早在1932年，人们既已发现SiC的注入导致发光现象[5]。

4、经过多年研究，目前已经清楚，SiC是一种间接带隙半导体材料，它有效的发光来源于杂质能级间的间接复合过程，因此，SiC的掺杂对其光学性能有很大的影响，过去40年来，SiC的浅杂质能级一直是研究的热点。掺入不同杂质，可改变发光波长，其范围覆盖了从红到紫的各种色光。SiC发蓝光具有很重要的意义。蓝光是自然界的重要基本色光，是平面全色显示的要素，因为其波长较短，用于光信息存储，可以大幅度提高信息存储密度，同时，它还是一种水下通讯的重要载息光源。蓝光器件在彩色复印、彩色打印、彩色扫描、光谱色谱仪器、医疗器械、图像处理和仪表

5、显示等方面也是极其重要的元件。鉴于SiC能够发蓝光，研究者对此作了大量的工作。廖良生等人利用离子注入法将c+注入到硅基片上形成3C-SiC，经退火、阳极氧化后得到多孔3C-SiC，发现其具有蓝光发射能力，波长为4552.79ev[6]。Liu[7]等于真空条件下高温分解聚酰亚胺在孔状衬底上得到3C-SiC膜，经900℃热处理后仍然具有蓝绿光的光致发光效应。国内外许多学者对低维3C-SiC纳米材料的蓝光发光效应，进行了大量的实验，但是对其发光机制仍处于众说纷纭的阶段。这是因为，人们对采用不同工艺方法制备的碳化硅纳米

6、材料电子结构性质的了解，还远不像对单晶碳化硅那么清楚，这尚需一个逐渐深化的过程。因此，开展3C-SiC纳米材料的制备工作对研究其发光机理具有非常重要的作用。3纳米SiC材料的制备方法3.1纳米SiC线制备宽带隙半导体低维纳米材料的合成及其物理性质研究已经渐渐成为备受关注的研究对象之一。尤其是一维纳米材料的合成方法、物理性质和应用研究逐渐成为人们研究的热点。近些年来，人们对具有一维纳米结构的SiC产生极大的兴趣，这是因为理论计算和试验结果都表明，SiC纳米线的弹性、硬度、韧性等机械性能都比SiC块体、SiC晶须要高

7、[8]。一维纳米结构的SiC极有希望成为陶瓷、金属、聚合物基材料的增强剂。目前制备一维纳米结构的SiC主要有碳纳米管模板生长法（又叫碳纳米管限制反应法）、还原碳化法、激光烧蚀法、电弧放电法、流动催化剂法和热解有机前驱体法。下面就部分方法做下介绍：3.1.1电弧放电法[9]电弧放电法是将含有Fe元素的SiC棒作为阳极，石墨作为阴极，在低气压下进行电弧放电，在反应室的石英管内壁上形成SiC纳米线。在电弧放电过程中，高温使得阳极顶端的SiC分解为Si和C。同时，除了放电加热外，SiC阳极自身由于高电阻而发热，使得阳极沿

8、轴向的温度高于Fe的熔点，SiC棒内的Fe融化蒸发，对纳米SiC晶须的生长起催化作用。这种方法使用的原材料易得，设备简单，材料成本低，有条件成为大规模生产制备SiC纳米晶须的前提。3.1.2热解有机前躯体法将商用六甲基二硅烷放入坩埚，然后放入石英管式炉中，将三氧化二铝基板置于气流下游离坩埚约10cm处。待管内的空气排尽后，在氩气的保护下，以10℃/min的速度加热到120