博士论文开题报告_2

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2、文模版海量资料免费下载！　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　博士论文开题报告　　博士论文开题报告　　姓名专业研究方向导师姓名日期资料来源：,博士论文、硕士论文、开题报　　告、范文模版海量资料免费下载！　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　第二篇：博士论文开题报告-文献综述43000字　　　　文献综述　　学号：研究生：导师：研究方向：论文题目：学科：学院：入学时间：开题时间：　　材料学材料科学与工程系20xx年9月20xx年10月20日　　0040509010王新建　

3、　吴建生教授姜传海教授　　材料科学　　年月日　　　　　　0引言............................................................................................................................1　　1．大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述..................................................2　　．大规模集成电路的发展概况........

4、..................................................................................2　　．ULSI中铝互连线的发展................................................................................................4　　．ULSI中铜互连线工艺的提出、发展及存在的问题.................................

5、...................5　　．铜互连工艺的提出...............................................................................................5　　．铜互连技术的主要问题.......................................................................................8　　2．铜互连的扩散阻挡层的发展现状的概述.....

6、.......................................................10　　3．扩散基本理论以及铜互连薄膜中的二维扩散研究的现状................................12　　．Fick扩散定律及扩散系数............................................................................................13　　．Fick第二扩散定律............

7、.................................................................................13　　．扩散系数的确定及Arrhenius公式...................................................................14　　．薄膜扩散理论.......................................................................

8、.........................................14　　．单晶薄膜的扩散动力学理论的研究.................................................................15　　．多晶薄膜扩散动力学理论的研究.....................................................................16　　．溶质对