纯水系统介绍王亮

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1、纯水系统学习心得------2013.4.15厂务水处理王亮系统的认识目前的缺失节能想法工艺机台作用刻蚀酸洗机台酸槽清洗有机清洗机台清洗去蜡撕金机台撕金后清洗ITO/BOE酸洗机台酸洗后请洗有机部件清洗机台部件清洗酸洗部件清洗机台酸洗后清洗photo显影机显影后清洗backend研磨研磨用水系统的系统的认识芯片中纯水用水点水质/水量指标类别水量pH电阻率TOCSiO2压力温度超纯水85m3/h≥18MΩ·cm≤50ppb≤50ppb3.8±0.5Kg/cm222±1℃软化水PCW/锅炉用水≥18m3/h7.5～8.5<17us/cm--2.5-3.0kg/cm222±2℃系统的系统的认

2、识原水箱NO.1热板换多介质过滤器活性碳过滤中间水箱NO.1ROOR浓水箱NO.2RO一级RO水箱保安过滤器二级RO水箱EDI紫外杀菌脱气膜精密过滤器终端过滤器TOC脱除器N2封水箱抛光混床使用点软水软水使用点絮凝剂杀菌剂还原剂阻垢剂NO.2冷板换反洗反洗回水浓水回水系统的系统的认识用来保证系统的进水温度，从而提高反渗透系统产水量及保证系统水质的稳定。一号板式换热器设置在一级反渗透前，温度较低时使用，以便控制反渗透进水温度在比较合适的范围内（25℃±2℃），天气温度升高时，换热器可以停止使用。二号板式换热器设置在抛光混床前，温度较高时使用，以便控制抛光混床进水温度在比较合适的范围内（2

3、2℃±2℃），天气温度降低时，换热器可以停止使用。系统的系统的认识7尺寸：3000*1800mm材料：碳钢衬胶填料：无烟煤、石英砂水由压力驱动，经过过滤层。多介质过滤器的主要作用是截留大颗粒、悬浮物以及经过絮凝过后的胶体物质多介质过滤器的一般截留精度是10~100um，主要祛除一些粗分散系的水中杂质。目前多介质过滤器每累计运行满24小时反洗一次，反洗耗水量70吨左后多介质过滤器系统的系统的认识8填料：多介质过滤器系统的系统的认识石英砂0.5～32mm石英砂，1000mm15.6吨无烟煤0.8～1.2mm无烟煤，200mm2吨活性炭过滤器：活性炭0.6～1.2mm活性炭，1000mm4吨

4、石英砂0.5～32mm石英砂，200mm3.5吨1.在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解2.吸附从前级泄漏过来的小分子有机物等污染性物质，3.对水中异味、胶体及色素、重金属离子等有较明显的吸附去除作用。4.可以进一步降低RO进水的SDI值，保证SDI<5。目前活性炭过滤器每累计运行满36小时反洗一次，反洗耗水量70吨左后上周SDI检测结果：35T1.450T1.3活性炭过滤器系统的系统的认识过滤器系统的系统的认识保安过滤器、精密过滤器、终端过滤器、清洗过滤器（以一期为例）名称：保安过滤器型号：HTY-45-1000材质：不锈钢滤

5、芯数量：45支滤芯精度：5u-40″数量：1台品牌：恒通源名称：精密过滤器型号：HTY-18-1000材质：不锈钢滤芯数量：18支滤芯精度：0.45u-40″数量：1台品牌：恒通源名称：终端过滤器型号：HTY-25-1000材质：不锈钢316滤芯数量：25支滤芯精度：0.1u-40″数量：1台品牌：恒通源名称：清洗过滤器型号：HTY-36-1000材质：不锈钢316滤芯数量：36支滤芯精度：5u-40″数量：1台品牌：恒通源系统设备介绍反渗透一期一级数量：14组/70支膜排列方式：9/5式二级数量：7组/35支膜排列方式：5/2式二期一级数量：15组/75支膜排列方式：10/5式二级数

6、量：9组/45支膜排列方式：6/3式RO品牌：海德能PROC10400ft2反渗透：RO（ReverseOsmosis）反渗透技术是利用压力表差为动力的膜分离过滤技术,.RO去除水中的盐，TOC，微粒和微生物RO反渗透膜孔径小至纳米级（1纳米=10*-9米），在一定的压力下，H2O分子可以通过RO膜，而源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质无法通过RO膜，从而使可以透过的纯水和无法透过的浓缩水严格区分开来。系统设备膜组排列方式产水量回收率脱盐率一期一级149/560m3/h75%≥98%二级75/238m3/h84.4%≥90%二期一级1510/560m3/h75%

7、≥98%二级96/355.6m3/h86.5%≥90%系统设备介绍UV灯材质：不锈钢品牌：VITR0波长：254nm/185nm其工作原理是：在真空的石英管中加入定量的高纯汞（水银），通过对两端电极提供电压差（压降），产生离子放电，从而产生紫外线辐射。脱气膜脱气膜的工作原理是利用疏水性中空纤维膜的疏水性和透气性，即在一定的条件下气体可以透过膜而液体不能透过膜的特性而达到脱气目的的。欲脱气的水流过疏水性中空纤维膜一侧，在膜的另一侧通入快速流动的N