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时间:2018-10-12
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1、律I怵实用其语伺汇半导体实用英语词汇1.acceptancetesting(WAT:waferacceptancetesting-品圆验收测试)勺工一’、受it入2.acceptor:受主,接受器(无线)如B,掺入Si中需要接受电子了夕七y夕一;受容体3.ACCESS(7夕七x):—个EDA(EngineeringDataAnalvsis-.T程数据分析-工二了V〉夕夭一夕解析)系统4.Acid:酸(吞人)5.Activedevicet%):有源器件(Active:积极,主动),如MOSFET(非线性,可以对信号放大)6
2、.Alignmark(key):对位标记合矛)甘—夕7.Alloy:合金(二3含/v)8.Aluminum:锅二夕厶)9.Ammonia:氣水(7:z乇二7)10.Ammoniumfluoride:NH4F(滅化钱)弗化了>千二夕厶11.Ammoniumhydroxide:NH4OH(2氧化钱)水酸化7>千二夕厶12.Amorphoussilicon(了乇卟7r只>3>):a-Si,非品硅(不足多品硅)13.Analog(7于口夕"):模拟的14.Angstrom(才>夕''只卜口一厶):A(1E-10m)挨15.Anis
3、otropic(異人性):各向界性(如POLYETCH)16.AQL(AcceptanceQualityLevel):接受质M标准,在一定采样卜,可以95%置信度通过质景标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时问后的失效率)受U•人九品質爪17.ARC(Antireflectivecoating反射防止膜):抗反射层(用于METAL(金属)等层的光刻)18.Antimony(Sb)锑:于乇>19.Argon(Ar)氫20.Arsenic(As)砷砒素(邝乇)1.Arsenictrioxide(As2O3)三氧化二砷(二酸化毗素
4、)2.Arsine(AsH3)砷化氢了爪3.Asher:去胶机了y汐弋一4.Aspectratio卜比)n:形貌比(ETCH中的深度、宽度比)5.Autodoping(才一卜卜一匕〉/):fi搀杂(外延时SU巳的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,乂回掺到外延层)6.Backend(儿;/夕工W):后段(CONTACT(W)以后、PCM测试前)7.Baseline7^>):标准流程8.Benchmark(《〉子了一夕):蕪准9.Bipolar(八4沢一7)••双极10.Boat(术一卜):扩散用(石英)舟11.CD:(Cri
5、ticalDimension…限界、法)临界(关键)尺寸。在工艺上通常指条宽,例如POLYCD为多晶条宽。12.Characterwindow(今义3夕夕一々<>卜’々):特征窗U。川文字或数字描述的包含工艺所有特性的一个方形区域。13.Chemical-mechanicalpolish(化学機械研磨)(CMP):化学机械抛光法。一种去棹圆片表面某种物质的方法。14.Chemicalvapordeposition(化9蒸肴)(CVD):化学汽相淀积。一种通过化学反应巾成一层薄胶的T艺。15.Chip(千W):碎片或芯片。1
6、6.CIM:computer-integratedmanufacturing(37>匕'二一夕統合生産)的缩写。用计算机控制和监控制造工艺的一种综合方式。17.Circuitdesign(M路設,计):电路设计。一•种将各种元器件迮接起来实现一定功能的技术。18.Cleanroom(夕—>a—厶):一•种在温度,湿度和洁净度方面都需要满足某些特殊要求的特定区域。19.Compensationdoping(補償卜一匕>夕'):补倦掺來。昀P型平•异体橡入施主杂质或
7、njN型掺入受主杂质。20.CMOS:complementa
8、rymetaloxidesemiconductor(in補型念屈酸化膜半導体)的缩写。一种将PMOS和NMOS在M—个硅衬底上混合制造的丄艺(互补金属氧化物半导体)。21.Computer-aideddesign(J>匕'二一夕支援設計)(CAD):计算机辅助设计。22.Conductivitytype(導電艰):传导类型,由多数载流子决定。在N型材料中多数载流子是电子,在P型材料中多数载流子是空穴。1.Contact(口乂夕夕卜):孔。在工艺屮通常指孔1,即连接铝和硅的孔。2.Controlchart(制御図•管理図):
9、控制图。一•种用统计数据描述的可以代表工艺某种性质的曲线图表。3.Correlation(相互関連):相关性。4.Cp:工艺能力,详见processcapability(:/口七7能力•工程能力)。5.Cpk:工艺能力指数,详见processcapabilityindex(:/口七只能力指数•工程能力指
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