znosi异质结光响应研究型综合实验设计

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1、ZnO/Si异质结光响应研宄型综合实验设计凌塁塁张腑李书光张鵬王素辛黄柳宾中国石油大学（华东）理学院摘要：设计丫“ZnO/Si异质结光响应研究”的研究型综合实验。实验设计包括前期调研、ZnO/Si异质结的制备、测量电路设计及计算结果分析讨论3部分，并在此基础上进行实验拓展能力的培养，实验内容密切联系学科发展前沿。教学实践证明，研究型综合实验有助于学牛.提高专业知识综合应用能力，有助于创新型、科研型人才的培养。关键词：研宄型综合实验;ZnO/Si异质结;伏安特性曲线;光响应;作者简介：凌翠翠（1982—），女，山

2、东青岛，博士，副教授，研究方向纳米材料•传感器.E-mail:lingcuicui@upc.edu.cn收稿日期：2017-05-18基金：国家自然科学綦金项FI（11604390）Designonresearch-orientedcomprehensiveexperimentofphotoresponseofZnO/SiheterojunctionLingCuicuiZhangYapingLiShuguangZhangFengyunWangSuxinHuangLiubinCollegeofScience,Ch

3、inaUniversityofPetroleum;Abstract：Aresearch-orientedcomprehensiveexperimentofthephotoresponseofZnO/Siheterojunctionisdesigned.Theexperimentaldesignincludesthefollowingthreesections:thepreliminaryinvestigation,thepreparationofZnO/Siheterojunction,andthediscus

4、sionofthemeasuringcircuitdesignandcalculationresultanalysis.Onthisbasis,theexperimentiscarriedouttoexpandthestudents'developmentability,andtheexperimentalcontentsarecloselyrelatedtothefrontierofthedisciplinedevelopment.Theteachingpracticehasprovedthattherese

5、arch-orientedcomprehensiveexperimentisbeneficialforthestudentstobefamiliarwiththeresearch-orientedexperimentprocess,fortheimprovementoftheircomprehensiveapplicationabilityofprofessionalknowledge,andforthepromotionofthecultivationofinnovativeandresearch-orien

6、tedtalents.Keyword：research-orientedcomprehensiveexperiment;ZnO/Siheterojunction;volt-amperecharacteristiccurve;photoresponse;Received：2017-05-18木实验是培养学生的创新、科研能力，促进创新型人才发展的研宄型综合实验。在实验中，学生可以在一个自由开放的实验平台上开展创新活动，完成自己感兴趣的实验项目。这里的自由开放的实验平台指的是由管理人员、工程技术人员和具有不同学科背景

7、的工作在科研一线的骨干教师组成的团队的指导下，在规范的开放实验管理制度和仪器安全操作守则的基础上，时间、空间、内容、资源各方位开放的实验平台。因此，在实验中学生可以得到多样化设备操作的训练、多层次的经费支持。通过完成研究型综合实验，真正将实验探索创新活动融入到口常实验教学活动屮，推动和培养了学生实验动手能力、创新意识和创新精神[1-3]o本文将教师科研内容引入到实验教学中，设计研究型ZnO/Si异质结光响应的综合实验。本实验是以测量ZnO/Si异质结的I-V特性曲线为基础，研宄其光学响应特性的综合性实验。此实验

8、注重学科交叉和交流，激发了学生对研究型创新实验的浓厚兴趣，提高了学生的综合运用半导体物理和材料基础、薄膜材料制备、材料分析技术等专业知识的能力，培养了学生的创新精神。1实验依据纳米ZnO具有宽的禁带宽度、较高的电子饱和漂移速率，较好的化学和热稳定性,良好的抗辐照性能，因此它在紫外光探测、紫外发光器件、高速高功率电子器件等方面具有极其重要的应用价值。ZnO/Si异质结紫外光探测器具备低能