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时间:2018-10-05
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1、1Crosslight软件使用Copyright2010CrosslightSoftwareInc.www.crosslight.com2第一部分软件介绍第二部分软件使用和操作3第一部分软件介绍–分类器件模拟软件semi-conductordevicesimulatorApsys电子器件及光电子器件(激光器除外)模拟器(二维/三维)Lastip二维边发射激光器件模拟器Pics3d三维边发射、面发射激光器件,光放大器件及光波导器件模拟器微电子工艺模拟软件full3DprocesssimulatorCsuprem3D沉积,图形化刻蚀,离子注入,氧化,热扩散等工艺模拟化
2、合物生长模拟软件MOCVDprocesssimulatorProcomMOCVD环境中化合物生长模拟4第一部分软件介绍–应用各类硅器件;量子阱,多量子阱发光二极管(LED);有机发光二极管(OLED);光子晶体(PhC);太阳能电池;光电探测器(PD);高电子迁移率晶体管(HEMT);双极形异质结晶体管(HBT);行波半导体光放大器;共振隧穿二极管(RTD);量子阱红外光电探测器(QWIP)主要应用APSYS5第一部分软件介绍–应用FP激光器;多体效应;多模式计算;多量子阱结构计算;光泵浦激光器;PML/EEIM方法计算;短波激光器;自发热效应计算;瞬态模拟;量子
3、隧穿效应;Type-II多量子阱结构;量子级联激光器;多腔激光器主要应用LASTIP多腔激光器6第一部分软件介绍–应用各类型FP激光器;各类型DFB激光器;各类型DBR激光器;多断器件;电吸收调制器(EAM);半导体光放大器(SOA);波导光电探测器;光泵浦激光器;外部腔激光器;自发热效应;垂直腔表面发射激光器(VCSEL)主要应用PICS3D7第一部分软件介绍–应用离子注入模拟;氧化模拟;图形化刻蚀;热扩散;FINFET;MOSFET;MEMS;Solarcell;导出结构到APSYS做电学,力学,光学计算主要应用Csuprem3D8第一部分软件介绍–应用反应速
4、率分布计算;气体流量分布计算;温度分布计算;生长速率计算;化学组分分布计算;杂质,缺陷分布计算主要应用PROCOM9第一部分软件介绍–数据输出各种参量关系图,如:I-V,P-I,Index-Wavelength,自发射谱,增益谱,能带图,载流子浓度-位置图,量子效率-电流强度关系等10第一部分软件介绍–数据输出各种分布图,如:杂质浓度、缺陷分布,电势、电场和电流分布,温度分布,光强分布,光模式分布;参量的三维分布等11第二部分软件使用和操作运行几个Apsys的典型范例(示范操作)界面程序和文件关系图界面程序的使用和操作讲解范例批量计算12第二部分软件使用和操作运行
5、几个Apsys的典型范例(示范操作)打开SimuApsys[开始]→[程序]→[Apsys-2008]→[SimuApsys.exe]打开范例a)LED范例[Apsys安装目录]apsys_examplesLED_generalexpressgan_basicganled.solB)探测器(PD)范例[Apsys安装目录]apsys_examplesphoto_sensitiveAPD_GBapdapd.sol产生网格(mesh)计算查看结果13第二部分软件使用和操作界面程序和文件关系图SimuCenter(Apsys,Lastip,Pics3
6、D,Csuprem)模拟计算中心,用于项目文件的管理和编辑,以及各功能程序的调用.sol主模拟文件设置计算参数调用.doping杂质分布.mater材料设定和编号.msh网格结构.geo任意结构轮廓.layer行列结构轮廓.plt用命令行得到图形结果CrosslightView图形界面程序后处理后处理LayerBuilder(3D)设计行列结构的图形界面程序GeoEditor(3D)设计复杂结构的图形界面程序调用调用产生产生产生产生14第二部分软件使用和操作跟随操作一次计算流程打开SimuApsys打开范例[Apsys安装目录]apsys_examplesLE
7、D_generalexpressgan_basicganled.sol查看结构.layer产生.geo.geo产生.msh用.mplt查看.msh中保存的网格运行.sol运行.plt查看结果15第二部分软件使用和操作界面程序的使用和操作LayerBuilderGeoEditorCrosslightViewSimuCenter(以SimuApsys为例)16第二部分软件使用和操作界面程序的使用和操作LayerBuilder行(line)和列(column)的概念绘制基本图形(方形,梯形)材料[组分和渐变]设置掺杂设置电极设置Label的设置网格的设置(rati
8、o概念)1
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