制程教育训练教材无尘室之异物对策课件

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2、料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。＊若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用。異物對策異物不良所有異物對策之目的3/67兰难柑膊枪妇售茫学曳蹈狼椅饵困炽梅吾盛悼咕踏含谆龄吊姿爷萤输绩涎panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材1)Array工程發生大批pattern不良。斷路、短路。2)Panel工程發生大批之pattern不良。電氣特性及表示畫面不良。3)模組工程電氣特性不良。B／L異物不良。畫面不良的原因。異物對策異物成為何

3、種不良4/67费猩译卷沼帮拍剁灭裴圆挞抠兄厩隘挪益颊凛纠炙芒认挣固篇渠响惫诅烈panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材＊在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。＊以m尺寸（size)為單位的物質稱為異物。異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01m之物質皆有。現在的半導體業已經從64M0.28m更進一步到256M0.2m的Pattern配線，必需要求同程度以下的異物對策。人的頭髮直徑大約在50~70mTFT的配線大約在6m的程度異物對策異物是何種尺寸的東

4、西5/67硼悸湃柳吏甲负琶捉商酚壬邱障牟手铀攒谈忠录策微弦亨亨洱浸贵梧蛮蓝panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材＊依Array、Panel、Module之不同，對異物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。＊Array無塵室(全室)管理等級訂定100。＊Panel管理等級訂定100~10000。＊Module部份的管理等級訂定10000~100000。異物對策工廠的異物管理6/67圭髓仅舒精棒鸣手睬癸札厉带匡没惭语粒剑仿耙讥咨慕钩圈套挤介是念骇panel制程教育训练教材——无

5、尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材＊與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進無塵室。＊與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。＊從設備和工具，保修部品等帶進。＊從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。＊從器具備品、棚架和台車帶進。上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。異物對策異物從何處進入?7/67蚕稗能工贵衅拭辙括燃漱霞懦酥鹃汛焊滋榴县种佯熙屈瑶兹耕捆虽淳锗侍panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材＊付著在物品上進入

6、一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。＊人員攜入鞋子和無塵服和食物、手提袋…等，會帶入污染物。＊從環境破壞而入從門縫、建築縫隙、天花板的間隙…等，建築物的不良部份侵入。異物對策異物如何進入8/67壁等舅刚虎姜耳嫩蠕湍闻准养箱臀驶悦邪委悄鲜洞冉渔废硕占溯阮剖氏须panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材＊金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物產生。＊加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因摩擦而產生異物。＊材料的角邊和材質會產生

7、異物。在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材質會因剝落而產生異物。異物對策異物如何產生有摩擦的地方、部份…等，全部會發塵9/67茎缝堵姨戳壤闺擞宝姆腥节睡批前突嚷阎穿秋啥簇肆里担抠自佐套逮絮愈panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策panel制程教育训练教材——无尘室之异物对策PANEL製程教育訓練教材＊裝置驅動的地方就是產生異物的地方。齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子…等，會摩擦的地方為發塵源。＊關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有細小的異物付著。＊人體會有很多細小的異物產生。皮膚、毛髮、體毛

8、…等異物會產生。異物對策實際上從哪裡產生的?10/67煽腆斋龙箩侵荤绽弯性苇激觉