《精密定位平台动力学建模研究》完...

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1、中国人民解放军军事交通学院毕业论文专　　业机械制造及其自动化07级　30　队　3　区队学员姓名陈凯题　　目精密定位平台动力学建模研究指导教员冯晓梅评阅教员冯晓梅2010年　12　月　4　日　　天津-18-目录目录……………………………………………………………1中文摘要……………………………………………………………2英文摘要……………………………………………………………2一选题背景，研究意义及国内外研究现状………………………21.1论文研究背景和意义………………………………………21.2国内外研究现状……………………………………………4二论文的研究内容………………

2、…………………………………92.1音圈电机直接驱动高速高精度定位机构的结构…………92.2机构动力学建模……………………………………………11三结论……………………………………………………………17参考文献……………………………………………………………17-18-精密定位平台动力学建模研究摘要：随着MEMS技术向微型化方向的发展，对其封装装备提出了更高的要求，高速高精度成为其发展趋势。现有的封装设备在速度和精度提高方面存在不同程度的局限性，已经不能满足使高速和高精度的要求。为解决此矛盾，国内外的研究工作者不断开展研究以寻求更好的解决办法。为此，论文就封装设备中的

3、重要机构—-精密定位平台进行了探索研究，提出一种由音圈电机直接驱动的高速高精度定位机构，对该机构进行了动力学建模，对其动力学特性进行了分析，为机构控制系系统设计与研究提供了基础。Abstract：WiththeminiaturizationofMEMStechnologytothedevelopmentofthedirectionofitspackageputforwardhigherrequirementsforequipment,highspeedandprecisionasitsdevelopmenttrend.Existingpackagingequip

4、menttoimprovespeedandaccuracyintermsofvaryingdegreesoflimitations,cannotmeettherequirementsofhighspeedandhighprecision.Toresolvethiscontradiction,theresearchersathomeandabroadcontinuetocarryoutresearchtofindabettersolution.Tothisend,thepaperpackagingequipmentfortheimportantinstitutio

5、ns-aprecisionpositioningplatformforexplorationandresearch,isproposedbyavoicecoilmotordirectdrivehighspeedandprecisionpositioningmechanism,thekineticmodelingoftheinstitution,itsdynamicschoolcharacteristicswereanalyzedfortheorganizationofcontrolsystemdesignandprovidesafoundation.关键词：高速

6、高精度音圈电机精密定位机构机构动力学建模Keywords：HighSpeedVoicecoilmotorPrecisionpositioningmechanismDynamicmodelingagencies一选题的背景、研究意义及国内外研究现状1．1论文研究背景和意义MEMS（MicroElectroMechanicalSystem，微机电系统、微电子机械系统）器件的微连接、微封装、微组装等装备是MEMS制造技术中的重要组成部分，是影响MEMS发展的关键技术。而wirebonding（见图1）是MEMS器件制造过程中的重要步骤，每年大约生产1.2到1.4万亿的

7、金属丝（wire）连接[1]。未来wirebonding仍将处于支配地位[2]。图1是金丝球焊及芯片封装图。一个wire连接包括两个焊点和一个焊环（见图2）。-18-图1金丝球焊及芯片封装图图2WireBonding循环图MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域。目前，随着MEMS技术的发展，为进一步提高MEMS制造质量和生产效率，对该类装备的性能提出了更高的要求，体现了该类作业装备向高速高精度方向发展的趋势。然而，现有的此类装备如引线键合机（WireBonder）和芯片焊接机（DieBonder）（见图3）多数采用串联型的

8、直线工作台（电机-丝杠-