SJT10626-1995键合金丝中杂质素的ＩＣＰ－ＡＥＳ测定方法.pdf

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1、吕J中华人民共和国电子行业标准SJ/T10626一1995键合金丝中杂质元素的ICP-AES测定方法MethodfordeterminingimpuritiesingoldwireforsemiconductorleadbondingbyICP-AES1995-04-22发布1995-10-01实施中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准键合金丝中杂质元素的SJ/T10626一1995ICP-AES测定方法Methodfordeterminingimpuritiesingoldwireforsemi

2、conductorleadbonding勿ICP-AES主题内容与适用范围1.飞主题内容本标准规定了电感藕合等离子体发射光谱对键合金丝中杂质元素的测定方法。1.2适用范围本标准适用于键合金丝中银、铜、钙、镁、锰、铁、秘、铅元素的测定。其测定范围:铅、秘为0.0008%-0.0500%，其余为0.0005-0.0500%.2方法原理概要本方法采用王水溶解试样，挥发除去大部分酸后，加入过氧化氢，在水浴中加热使金沉淀析出，离心分离后，上层清液引入等离子体.按表1所列各元素分析线波长进行其杂质元素含量的测定。表1}，波长

3、元素元素{nmAg}259.94Cu}Mn257.61Ca一Pb220.35或283.31Mg}一223.06或306.773试剂3.1无水乙醇:优级纯。3.2丙酮:分析纯。3.3过氧化氢:MOS纯。3.4电子级水:EV一I级。中华人民共和国电子工业部1995-04-22批准1995-10-01实施一t一SJ/T10626-19953.5硝酸(1+1):采用MOs纯硝酸配制。3.6盐酸(1+1);采用MOs纯盐酸配制。3.7盐酸(1十10)):采用MOs纯盐酸配制。3.8稀王水(硝酸:盐酸:水=1:3:4:采用M

4、Os纯硝酸和盐酸配制。3.9清洗剂:按乙醉:丙酮=1:4的比例配制。3.10标准溶液:3.10.1银标准贮存溶液称1.0000g纯银粉(99.95%以上)，加人25m1硝酸(见3.5)，加热溶解完全后，继续加热以除去氮的氧化物。冷却至室温，移入1000m1容量瓶中，以水(见3.4)定容，混匀。此溶液lml含lmg银。3.10.2铜标准贮存溶液称取1.2518g预先在105一110℃干燥至恒重的氧化铜(99.99%以上)，低温加热溶于30m1盐酸(见3.6)中，加入20ml水(见3.4)，加热溶解。冷却至室温。移入

5、l000ml容量瓶中，用水(见3.4)定容，混匀。此溶液Iml含lmg铜。3.10.3钙标准贮存溶液称取2.4972g预先在105-110℃干操至恒重的碳酸钙(99.99%以上)于300m1烧杯中，加入20m1水(见3.4),然后滴加盐酸(3.6)。至完全溶解。煮沸除去二氧化碳。再加人loml盐酸(3.6)。冷却，移人1000m1容量瓶中，用水(见3.4)定容，混匀。此溶液lml含lmg钙。3.10.4镁标准贮存溶液称取1.0000g镁(99.99%以上).先加20m1水(见3.4),然后慢慢加人20m1盐酸(见

6、3.6)。待溶解完全后，移入l000ml容量瓶中，以水(见3.4)定容，混匀。此溶液Iml含lmg镁。3.10.5锰标准贮存溶液称取1.58258预先在105-110℃干燥至恒重的二氧化锰于烧杯中，加入5m!浓盐酸，滴加4滴过氧化氢。加热溶解后，再加入5m1盐酸(见3.6)，冷却至室温，移入1000m1容量瓶中，以水(见3.4)定容，混匀。此溶液Iml含lmg锰。3.10.‘铁标准贮存溶液称取1.42988预先在105-110℃干燥至恒重的三氧化二铁(99.99%以上)。低温加热溶于20ml(见3.6)盐酸中，冷

7、却至室温，移入l000ml容量瓶中，用水(见3.4)定容，混匀。此溶液Iml含lmg铁。3.10.7铅标准贮存溶液称取1.59858预先在105-110℃干燥至恒重的硝酸铅于300m1烧杯中，加30m1盐酸(见3.6)和loml硝酸(见3.5)。待溶解完全后，移入1000m1容量瓶中，以水(见3.4)定容，摇匀。此溶液中lm!含lmg铅。3.10.8秘标准贮存溶液称取1.11508预先在105-110℃干燥至恒重的氧化秘(99.99%以上)于烧杯中，加50ml硝酸(见3.5)，加热溶解。待溶解完全后。冷至室温，移

8、入1000m1容量瓶中(容量瓶中预先加入50ml硝酸(见3.5)，用水(见3.4)定容，摇匀。此溶液lml含有lmg秘。3.10.9银系列标准溶液用银贮存溶液逐级稀释成一套不同浓度的校准溶液，每ml溶液分别含有银:如8"SJ/T10626-19950.05pg,0.10pg,0.50pg及2.Opga3.10.10其它元素系列棍合标准溶液用各元素的标准贮存溶液逐级稀释成不