前后清洗工艺培训

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1、前后清洗工艺培训目录一、太阳能电池片制造的工艺流程二、前清洗三、后清洗四、RENA机台常见报警信息五、前后清洗常见异常处理流程一、太阳能电池片制造的工艺流程制绒，利用陷光原理减少光的反射，形成对光的二次吸收或多次吸收；去除硅片表面的机械损伤层，多孔硅和硅片上残留的金属杂质。对电池片进行镀膜，再次减少光的反射；钝化界面。使电池片形成正负电极及背电场。利用三氯氧磷（POCl3）液态源扩散方法，掺入P，生成均匀的PN结。去除边缘N型硅，使硅片表面上下绝缘；去除因扩散形成的PSG前清洗后清洗扩散PECVD丝网印刷陷光原理示意图绒面的陷光原理硅片酸制绒后形成的绒面形

2、貌当入射光照射到具有一定角度的斜面后，光线被反射到另一斜面。形成二次吸收甚至是多次吸收，这样可以增加光的吸收效率。酸制绒后硅表面形成的高低起伏蜂窝状绒面，如上图所示。腐蚀深度在4.4±0.4µm时，制绒后的硅片表面反射率要一般在20%~25%之间，此时得到的电性能较好。腐蚀深度与电性能间的关系1.前清洗RENA槽体的基本构造RENAIntex前清洗设备的主体分为以上九个部分此外还有滚轮、排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。DryerRinse1AlkalineRinseRinse3Dryer2Rinse2AcidicRinseEtchb

3、ath二、前清洗HNO3+Si=SiO2+NOx↑+H2OSiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2[SiF6]Si+2KOH+H2O→K2SiO3+2H2NO2+H2O=HNO3+HNO2Si+HNO2=SiO2+NO+H2OHNO3+NO+H2O=HNO22.酸制绒工艺涉及的反应方程式:3.前清洗各槽体的作用槽体溶液组成各槽作用EtchbathHF+HNO3去除硅片表面的机械损伤层，在硅片表面形成无规则绒面。Dryer1将制绒槽药液吹回，减少硅片带出的药液，防止少液Rinse1DIWater清洗杂质和硅片上残留的酸AlkalineRin

4、seKOH去除硅片表面形成的多孔硅，中和前道制绒后残留在硅片表面的酸液。Rinse2DIWater清洗杂质和硅片上残留的碱AcidicRinseHcl+HF中和前道碱洗后残留在硅片表面的碱液，HF可去除硅片表面氧化层（SiO2），形成疏水表面，便于吹干（SiO2+4HF=SiF4+2H2;SiF4+2HF=H2[SiF6]），HCl中的Cl-有携带金属离子的能力，用于去除硅片表面金属离子Rinse3DIWater清洗杂质和硅片上残留的酸Dryer2吹干硅片表面4.前清洗主要工艺数据检测腐蚀度的公式：(硅片的前重－清洗后硅片的重量)×8.82μm/g腐蚀度范

5、围值：3.7±0.5μm我们要求控制在3.6-4.2之间绒面反射率:越低越好，酸制绒平均可以为25.4%,理想值<27%(设定)参数的调节范围：conveyor速度0.9－2.0m/min温度6－10℃（目前制绒绒槽温度8℃）主操作界面Startproduction键Scheduledstop键运行设备之前，主界面所有功能键按钮都是绿色。Manual界面drain制绒槽换液界面cleanStartmanualrinseFillchemistryprocessbathinitDosagetank②①③④⑤⑥⑦①：DIwater通过外围管道首先进入dosage

6、tank②：HNO3通过外围管道首先进入dosagetank③：HF通过外围管道首先进入dosagetank④:4个液位感应器从上到下分别代表过满，加满，液位不足，药液不足⑤：药液首次添加时通过直通气阀，补加药液时通过旁路气阀⑥：药液由dosagetank进入pumptank进行混合⑦：混合好的药液经过泵打入，经过滤芯过滤进入冷热交换器draincleanFillchemistryinit碱槽换液界面AIkalinebathDosagetank酸槽换液界面DosagetankdraincleanFillchemistryinitRinse槽换液界面Rins

7、e3槽换液界面Rinse1槽换液界面draindrainFillwithDiFillwithDiRinse1槽与Rinse3槽的储液槽管路是串联在一起的，Rinse1槽的水是由Rinse3槽溢流过去的。initinitRinse2槽换液界面drainFillwithDiinit前清洗工序中一些基本的工艺要求一、片子表面5S控制：不容许用手摸片子的表面，要勤换手套，避免扩散后出现脏片。称重：1.每批片子的腐蚀深度都要检测，不允许编造数据，搞混批次等。2.要求每批测量5片。3.放测量片时，把握均衡原则。每隔相同的时间测量一次，便于检测设备稳定性以及溶液的均匀性

8、。刻蚀槽液面的注意事项：正常情况下液面均处于绿色，如果一旦在流片过