沉墨的猫：中央空调系统温湿度调节指导

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1、动力课培训资料------------中央空调系统温湿度调节指导中央空调系统温湿度调节指导一、中央空调温湿度调节权限及相关要求。1、调节权限：中央空调温湿度调节采取班长负责制，值班班长有调节权和发出调节指令并复查。值班员不得擅自进行相关调节。在常白班有运行组长、分管工程师在上班等情况时，对中央空调湿湿度的调节要先知会以上人员，共同分析和讨论，班长负责调节操作指挥。2、调节过程要在交接班记录表上有详细记录。3、调节须注意：A、在接到车间反映异常时，要多询问情况，以帮助分析判断，不要冒然去调节。B、个别站点异常应微调和观察，不要影响整个洁净区。C、重点保障二楼

2、光刻站温湿度正常，调节时以光刻站为依据，其他站点情况为参考依据。二、先介绍一下中央空调系统对温湿度调节有影响的各设备的功用。制冷机：可对冰水的温度进行设定，冰水的温度的高低可调节空调风箱中新风表冷后的温度、湿度，也可调节一二楼干表冷循环水的温度，继而影响洁净室各站点的干表冷后的循环空气的温度。冷冻水泵：可对冰水的流量进行调节，冰水的流量的变化可影响空调风箱的表冷器对新风的降温及除湿的效果；同样也可调节一二楼干表冷循环水的温度，继而影响洁净室各站点的干表冷后的循环空气的温度。空调风箱内各段功用：湿表冷器：主要对新风进行降温和除湿，调节其冰水阀门的开度，即调节

3、了其冷却量。阀门开度大，冷却量变大，新风温度降低，绝对含湿量减小（冷凝水增多）；阀门开度小，冷却量变小，新风温度升高，绝对含湿量增加（冷凝水减少）。电加热器：主要对新风进行加温，升温的同时可降低新风的相对湿度。喷雾式加湿器：主要对新风进行加湿，加湿的同时可降低新风的温度。喷雾式加湿器一般只在冬季干燥天气启用，但其一般要对新风升温到25℃以上才会有比较明显的效果，故现改为简易湿膜式加湿，其加湿效果更明显，且在15℃天气时也有较好的加湿效果。同样加湿的同时会略降低新风的温度。编号:D011拟制：沉墨的猫修定日期:2005-6-234/4动力课培训资料-----

4、-------中央空调系统温湿度调节指导干表冷器：因其是干表冷，在对空气进行降温时并不产生冷凝水，即其可洁净室各站点的循环风进行降温，但并不改变循环风的绝对含湿量，则循环风经干表冷降温的同时，相对湿度会略有上升。干表冷水泵：可对干表冷水的流量进行控制，干表冷水流量的大小可调节干表冷器对循环风的降温速度及幅度。流量大则降温快，流量小则降温慢。干表冷换热器：主要是干表冷循环水与冷冻水进行热交换的设备，调节换热器的冷冻水阀门及旁通阀开度的大小，可调节干表冷循环水的温度，继而影响干表冷器对循环风的降温速度及幅度。洁净室回风口：通过回风口的有机玻璃板调节回风口的大小

5、，以调节循环风的循环量，可对洁净室的温度和湿度进行微调。重点总结：1、冰水温度的设定和冰水流量（冷冻水泵的启动台数）会同时影响空调风箱的湿表冷器和干表冷器的作用，即对空调系统各参数会同时影响，调节时应仔细分析和操作。2、干表冷水泵的启停及干表冷换热器冷冻水阀门开度的调节，可综合调节干表冷循环水的冷却量，只影响洁净室循环风的降温速度，对湿度影响不大。则在洁净室湿度相对正常时，温度上下限超标时，应只调节干表冷系统以对温度进行调节控制。3、空调风箱的湿表冷器调节时，一般会同时对新风的温湿度有较大影响，其规律是：新风温度低则湿度小，新风温度高则湿度大。故调节对湿表

6、冷器有影响时应考虑周到。二、针对各种天气条件，温湿度调节的一般原理：1、高温高湿天气（一般在春夏季3-7月份）：主要需对新风降温、除湿，应主要加强空调风箱湿表冷器的作用，可通过降低冷冻水温度设定、加大冷冻水循环流量、开大湿表冷器的冷冻水阀门的开度等来实现。在湿度相对正常后，可主要调节干表冷循环水系统对温度进行调节。2、低温高湿天气（一般在春秋季部分月份）：在以上降温除湿的基础上，增开加热器。（一方面升温，升温的同时，相对湿度也能有所下降）3、高温低湿天气（一般在夏秋季8-11月份）：应主要加强干表冷的冷却作用。（如增开干表冷泵，降低冷冻水温度设定值，适当减

7、小风箱表冷器阀门）4、低温低湿天气（一般在冬季12-1月份）：开加热器和加湿器对新风加湿提高相对湿度，适当加强干表冷作用以控制温度。编号:D011拟制：沉墨的猫修定日期:2005-6-234/4动力课培训资料------------中央空调系统温湿度调节指导5、洁净室局部站点温湿度异常：大多数区域正常，局部异常时，主要通过调节回风口档板或干表冷流量。二、一般异常情况时温湿度调节的一般原理（以多数站点同时异常为主）：1、湿度正常略偏上限，温度偏下限：此时略升高循环风的温度即可，温度上升，湿度也会趋于正常。◇方法：提高干表冷循环水温度和降低干表冷循环水流量。◇

8、具体操作：减少一台干表冷循环水泵；关小干表冷循环水泵出水阀开度；关