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1、------------------------------------------------------------------------------------------------磁控溅射WO_3薄膜的电致变色机理研究_吕淑媛Vol.30No.9Sep.2009铸造技术FOUNDRYTECHNOLOGY磁控溅射WO3薄膜的电致变色机理研究吕淑媛,梁猛(西安邮电学院电子与信息工程系,陕西西安710121)摘要:在不同氧分压条件下对WO3粉末靶进行磁控溅射,在ITO导电玻璃基底上沉积得到WO3薄膜。分析发现,当氧分压O2BAr为1B10的时,WO3薄膜的显微
2、组织均匀细密,薄膜原态的透光率可达88%。将WO3薄膜作为不同电极在LiClO4溶液中进行电色反应,发现着色态透光率在紫光区可达41%,在整个红外区透光率最高不过25%;而漂白态在紫光区可达85%,在整个红外区透光率在82%左右。采用XPS光电子能谱研究了WO3薄膜的电致变色机理,发现遵循典型的双离子注入模型。关键词:磁控溅射;WO3薄膜;电致变色;透光率;XPS谱中图分类号:TB381文献标识码:A文章编号:1000-8365(2009)09-1153-04ElectrochromicPerformanceofMagnetronSputteringWO3ThinF
3、ilmLVShu-yuan,LIANGMeng——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------(DepartmentofTelecommunications,XipanInstituteofPostsandTelecommunications,Xipan710121,China)Abstract:AseriesofWO3filmsareprepare
4、donITOconductivethinfilmbymagnetronsputteringunderdifferentpartialpressuresofoxygen.Itisfoundthatthefilmswithoxygenpartialpressureratio1:10presentfineuniformmicrostructure.Thetransmittanceoforigina-lstatefilmisupto88%.WO3thinfilmreactinLiClO4solution.Thetransmittanceofcolor-stateisupto
5、41%inultravioletregion,thehighesttransmittanceintheinfraredregionisnomorethan25%.Atthesametime,thetransmittanceofbleached-stateisupto85%inultravioletregion,thetransmittanceintheinfraredregionisabout82%.ElectrochromicmechanismofWO3thinfilmisstudiedusingphotoelectronspectroscopyXPS.Itfol
6、lowsthelawoftypicaldualionimplantationmodel.Keywords:Magnetronsputtering;WO3thinfilm;Electrochromic;Transmittance;XPSspectrum氧化钨(WO3)薄膜是一种间接能带的O型半导体型材料,它具有良好的电子学和光学特性。将WO3薄膜作为阴极,在外加电场的作用下注入阳离子(Li,H等)呈现出良好的电致变色特性,而且随着阳离子的注入多少,具有多色性[1~6],当抽取掉阳离子又可以回复至本来面目。因此,将WO3作为电致变色涂层制作的电致变色器件,具有记录(着色
7、)、储存(去除电压,记录保存)、擦除(加反向电压可漂白)的功能,可用作图——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------像信息显示。如果将WO3与同样具有电致变色特性的P型半导体材料配合使用,能够构成具有互补显色性的EC器件,制作的/灵敏窗(smartwindow)0可用于光调制,在工业中有特殊的用途[1~3]++件,均有不少研究,取得了比较理想
