电致变色woltxgt薄膜的掺杂改性研究

《电致变色woltxgt薄膜的掺杂改性研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、重庆大学硕士学位论文中文摘要摘要w03电致变色薄膜因具有着色效率高、可逆性好、响应时间短、寿命长、成本低等优点，使其在许多领域有着广阔的应用前景，因此引起了科技界的高度重视，在世界范围内的研究异常活跃，被认为是最有发展前途的电致变色材料之一。但是目前它离实际大规模应用还有一定的距离，使其真正进入实际应用是当前众多研究者努力的方向。通过多种途径可以提高w03薄膜的电致变色性能，优化制备工艺参数和对薄膜进行掺杂是其中两种有效的方法。到目前为止，制备电致变色薄膜最常用的方法有溶胶一凝胶法、真空蒸发法、化学气相

2、沉积法和溅射沉积法等，其中磁控溅射以沉积速率高、基片温升低、膜层均匀性及附着力好、工艺参数易控制等优点丽日益成为制备电致变色薄膜尤其是w03薄膜最理想的工艺方法。但是目前用磁控溅射方法制备w03薄膜的报道相对较少，对该方法制备的薄膜的性能研究也很少见。本课题研究采用磁控反应溅射工艺，以纯钨和纯镍(钛、钒)为靶材在ITO玻璃上制备Ni(Ti、V)掺杂wq电致变色薄膜，通过紫外．可见分光光度计和x射线衍射仪及XPS分析，研究了制备工艺参数对w仉薄膜电致变色性能和结构的影响，并论述了掺杂对薄膜电致变色性能的影

3、响机理。研究表明：用反应磁控溅射制备的wQ薄膜为非晶态，表现出良好的电致变色性能；而wq薄膜掺杂之后，非晶态的趋势强于未掺杂的wq薄膜，结构的变化导致了wq薄膜具有更好的电致变色性能；掺杂工艺对w仉薄膜的电致变色性能影响较为复杂，主要与掺杂方式和相对掺杂量两方面有关，当相对掺杂量处于有效掺杂范围和最佳值附近，掺杂越均匀，将在很大程度上提高wQ薄膜的电致变色性能，非均匀掺杂的薄膜由于界面势垒的存在，电致变色性能要逊于均匀掺杂的薄膜，甚至是未掺杂的wQ薄膜。对于不同的掺杂物，对提高woI薄膜电致变色性能的贡

4、献各不相同：Ni、v的掺杂可以提高记忆存储能力，Ti的掺杂可以延长循环寿命。关键词；电致变色，反应磁控溅射，氧化钨，掺杂，非晶态薄膜重庆大学硕士学位论文英文摘要ABSTRACTOwingtothespecialperformanceofcontinuousandreversephotoelectricpropertywhichcallbemanuallycontrollcd，electrochromicfilmmaterials，whicharcpaidattentiontobythesciencean

5、dtechnologyworld，andstudiedactively,havebeenwidelyappliedinmanyfields，especiallyintheelectrochromicdevices．Amongmanyelcctrochromicmaterials．W03isregardedasoneofthemostpotentialmaterialsbccanseofitshighcolorationefficiency,strongreversibility,shorttransmi

6、ssionresponsetime,longcyclelifeandlowercost．Itisapitythattheyarefarfrompracticalnse，anditisimportantworkthatthematerialisputintopractice．Therearesomewaystoimprovethefilms’electrochromicperformances，forinstance，optimizingprocessparametersanddopingmethodar

7、etwoeffectiveways．Withpuretungstenandnickel(titanium、vanadium)targets，WOxandWOx：Ni(WOx：Ti、W0x：V)filmsweredepositedonITOglasssubstratesbyreactivemagnetronsputteringandtheywereanalyzedusingspeetrophotometer,XRDandXPS．Theeffectoftheprocessparametersanddopin

8、gparametersontheelectrochromicperformancesandthestructureofWOxfilmswerediscussed．Alsotheinfluencemech-anismofdopingonf卿Zfilms‘electrochromicperformancesandstructure觥discussedwiththehelpofthestudyresultsbyotherresearchers．T