p12异常报错处理(上)

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1、全自动晶片检测器型号：P-12XL错误/辅助代码列表TOKYOELECTRONLIMITED目录1．错误。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。.1-11.1阶段错误----------------------------------------------------------------------1–11.1.1Motor错误（所有轴）代码E0001------------------------------------1-11.1.2X轴电机错误代码E0010-------------------------------------

2、--------1-21.1.3Y轴电机错误代码E0030---------------------------------------------1-31.1.4Z轴电机错误代码E0050---------------------------------------------1-41.1.5θ轴电机错误代码E0070--------------------------------------------1-51.1.6Sensor错误代码E0100-----------------------------------------------1-61.1.7Image识别设备错误代码E0

3、200------------------------------------1-81.1.8Other错误代码E0600--------------------------------------------------1-91.1.9Marker错误代码E0700-----------------------------------------------1-121.1.10ASU相机错误代码E0730-------------------------------------------1-131.1.11Timer错误代码E0800--------------------------

4、--------------------1-131.1.12Alignment错误代码E0850-----------------------------------------1-141.1.13System错误代码E0900-----------------------------------------1-151.2加载程序错误。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。1-181.2.1Undefined装载机错误代码E2001-------------------------------1-181.2.2Upper臂错误代码E2010--------

5、-------------------------------------1-181.2.3Lower臂错误代码E2029----------------------------------------------1-191.2.4Loaderθ错误代码E2037---------------------------------------------1-201.2.5Subchuckθ错误代码E2049-----------------------------------------1-221.2.6Loaderž错误代码E2059----------------------------

6、------------------1-231.2.7Slide错误代码E2082--------------------------------------------------1-261.2.8Vacuum错误代码E2110----------------------------------------------1-271.2.9Subchuckž错误代码E2130-------------------------------------------1-281.2.10Loaderž错误代码E2140-----------------------------------------

7、---1-291.2.11Wafer表错误代码E2170--------------------------------------------1-311.2.12Buffer表错误代码E2180-------------------------------------------1-321.2.13Prealign错误代码E2203--------------------------------------------