内层显像-蚀刻-剥膜处理-3.5m设备规范

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1、內層顯像/蝕刻/剝膜處理設備規範一、規範依據:1.產能:350,000ft2/月2.產能依據:PCBPANELSIZE16"(L)x18"(W)板距2"3.生產工時:25天/月x20工時/天=500工時/月4.PCB規格:MAX24"x24"MIN12"x10"厚度2mil～80mil(thincore)，銅箔厚度1oz≒1.4mil板件無孔5.顯像條件:溼膜規格0.8mil顯像藥液1%Na2CO3顯像溫度28～32℃Breakpoint42秒6.蝕刻條件:蝕刻藥液CuCl2比重1.280HCl含量3.0Mole/LiterH2O2含量25Cap.蝕刻溫度4

2、8～52℃蝕刻速率84秒7.剝膜條件:溼膜規格0.8mil剝膜藥液3%NaOH剝膜溫度45～55℃剝膜速率51秒8.酸洗條件:酸洗藥液3～5%H2SO4酸洗溫度常溫酸洗速率6秒二、作業流程序:入料→顯像→水洗→吸乾→檢視→蝕刻→水洗→吸乾→出料→入料→剝膜→水洗→酸洗(中和)→水洗→吸乾→吹乾→烘乾→出料三、設備內容:設備名稱機型代號設備長度(mm)───────────────1.入料輸送LCV-088(U)8802.溼膜顯像DVP-233(U)23253.溼膜顯像DVP-134(U)13354.中壓複合水洗(配置FILTER)FWF-184(MU)184

3、05.滾輪吸乾SQD-039(U)3856.檢視輸送ICV-088(U)8807.氯化銅蝕刻CET-233(U)23258.氯化銅蝕刻CET-233(U)23259.氯化銅蝕刻CET-233(U)232510.複合水洗QWF-156(U)156011.滾輪吸乾SQD-039(U)38512.出料輸送FCV-055(U)55013.入料輸送LCV-055(U)55014.震動式過濾剝膜RSR-339(U)338515.中壓循環水洗(配置FILTER)DWR-079(MU)79016.化學蝕洗CRR-069(U)68517.複合水洗QWF-156(U)15551

4、8.滾輪吸乾SQD-039(U)38519.冷風吹乾CAD-078(U)78020.熱風烘乾HAD-114(U)114021.出料輸送FCV-055(U)55022.顯像液攪拌添加槽SMD-150(H)23.氯化銅控制系統SGC-100CE24.蝕刻廢液緩衝槽CWT-01025.剝膜液攪拌添加槽(配槽用)SMD-100(H)26.剝膜液攪拌添加槽(添加用)SMD-100(H)四、設備能力:1.工作高度:900mm(可依需求墊高或調整)2.工作寬度:660mm3.輸送速度:1.5～4.5M/min可調整4.生產速度:顯像段3.5M/min±10％蝕刻段3.5M

5、/min±10％剝膜段3.5M/min±10％5.顯像能力:線路寬度3mil線路間距3mil6.蝕刻能力:線路寬度3mil線路間距3mil蝕刻因子3.0五、耗用資源:1.總耗電量:3ψ50Hz271.KW2.總耗水量(市水):1.86T/Hr3.總抽氣量:Max51.6CMM(風速12M/sec)4.耗冰水量:10℃冰水約260L/min六、設備尺寸:長26935mmx寬4700mmx高1726mm七、場地尺寸:長29000mmx寬5500mmx高3000mm八、設備特點:1.設備整體性規劃，針對製程步驟重點設計各機段功能，完全符合製程需求。2.組合性機型設

6、計，可依製程及產能需求組合，並且可因應客戶製程改變或產能增加而擴充修改。3.機體材質採用耐酸鹼工程塑膠或不銹鋼製作堅固耐用，並附調整式機腳，以克服凹凸不平的場地，保持完好之水平狀態。4.機體上蓋採用強化玻璃，耐溫不變形，透明度及密氣性佳。5.化學處理段及水洗段桶槽採用斜底式設計，方便排液清槽節省時間，藥水段並附加藥口，方便臨時性檢測及加藥。6.水洗段桶槽容量縮小化，採用瀑流式溢流(Cascaderinsing)系統，有效保持水槽清潔度及最佳換槽率。7.傳動輸送系統採用模組式設計，95%以上模製品，零件標準化，便於維護保養備品零件充裕取得容易，薄板傳輸穩定。8

7、.輸送系統組件全部以卡扣式設計，沒有螺絲掉落或腐蝕之顧慮。9.擋水滾輪採用本公司自行開發之生產技術製造，滾輪有絕佳的柔軟性及擋水效果，阻水效果好壽命長。10.噴管採快拆式卡位設計，不須工具即能確實定位，維護保養容易。11.各個PUMP皆附有卡式或盤式過濾系統，有效防止異物進入PUMP及阻塞噴嘴。12.化學處理段上下噴壓採獨立球閥，壓力表調節顯示便於管理。13.化學處理段上蓋附安全保護開關以確保操作、保養人員作業安全。14.化學處理段具線上特用之添加系統可連續大量生產、信賴性高、方便管理。15.放流水洗段採用省水型廣角噴嘴，附流量計及節流閥有效控制耗水量。16

8、.顯像機、蝕刻機採用雙層強化玻璃並附安全保護開關以確