分子束外延生长的zno压电薄膜及其声表面波器件特性_刘凤娟

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1、------------------------------------------------------------------------------------------------分子束外延生长的ZnO压电薄膜及其声表面波器件特性_刘凤娟第33卷第3期发光学报Vol.33No.32012年3月CHINESEJOURNALOFLUMINESCENCEMar．，20127032（2012）03-0328-06文章编号：1000-分子束外延生长的ZnO压电薄膜及其声表面波器件特性刘凤娟，胡佐富，李振军，

2、张希清*（北京交通大学光电子技术研究所发光与光信息技术教育部重点实验室，北京100044）摘要：用RF-MBE在蓝宝石（0001）衬底上引入MgO和低温ZnO双缓冲层生长了ZnO薄膜，并制备了声表面仅观测到（0002）面的XRD，且衍射峰增强，半高宽减小，表明ZnO薄膜c轴取向性更波器件。在ZnO薄膜中，好，晶体结构更优。室温下自由激子吸收峰更尖锐和吸收边更陡峭以及仅观测到自由激子发光，且发光线宽变窄、发光强度变大，表明ZnO薄膜缺陷密度减小，薄膜质量提高。测得该ZnO压电薄膜的电阻率高达4×107Ω·cm，

3、其声表面波的速度高达5010m/s。关键词：ZnO；MgO缓冲层；声表面波文献标识码：ADOI：10．3788/fgxb20123303．0328中图分类号：O422；O472．3SurfaceAcousticWaveBasedonZnOThinFilmsGrownbyRF-MBE——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------

4、------------------LIUFeng-juan，HUZuo-fu，LIZhen-jun，ZHANGXi-qing*（KeyLaboratoryofLuminescenceandOpticalInformation，MinistryofEducation，InstituteofOptoelectronicTechnology，BeijingJiaotongUniversity，Beijing100044，China）*CorrespondingAuthor，E-mail：xqzhang@bjtu．

5、edu．cnAbstract：HighqualityZnOpiezoelectricthinfilmshavebeengrownbyRF-MBEonsapphire（0001）substratewithMgOandZnOdoublebufferlayers．OnlyZnO（0002）diffractionpeakwasobservedintheXRDpatterns，withanarrowFWHMof0．10°．Asharpabsorptionpeakandasteepabsorptionedgewereob

6、servedinabsorptionspectra，onlyonePLpeakfromfreeexcitonemission，withanarrowFWHMof12．7nm，wasobtainedinPLspectra．TheelectricalresistivityoftheZnOthinfilmsisupto4×107Ω·cm．TheseresultsindicatethatZnOthinfilmshavegoodc-axisorien-tationwithwurtzitestructure，lowdef

7、ectdensitiesandlowbackgroundcarrierconcentration．ThisismainlyduetothattheMgOandZnOdoublebufferlayersaccommodatedthemismatchbetweentheZnOthinfilmsandthesapphiresubstrate．TheSAWdevicesbasedonthehighqualityZnOthinfilmswerefabricated．Thecenterfrequencyofthesurf

8、aceacousticwave（SAW）filteris835MHz，——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------andtheSAWpropagationspeedisupto5