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时间:2018-07-28
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1、高纯气体中微量杂质的测定1主题内容与适用范围本标准规定了高纯氮、高纯氢、高纯氦的技术要求、微量气体含量试验方法。2引用标准GB/T7445-1995GB-T8979-2008GB 5832.13技术要求高纯氮、高纯氢、高纯氦的技术指标表1项目指标高纯氮高纯氢CO氮,氢,一氧化碳纯度,10-2≤99.99999.999 99.999氧含量,10-6≤311氩含量,10-6≤——31氮含量,10-6≤——52一氧化碳含量,10-6≤110.5二氧化碳含量,10-6≤110.5甲烷含量,10-6≤110.5水分,10-6≤333氢(H2)含量10-6≤
2、1——1硫(S)含量10-6≤2224试验方法4.1高纯气体含量的测定4.2纯度氮气纯度按式(1)计算:φ=100-(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6)×10-4……(1)式中:φ——高纯气纯度(体积分数),10-2;φ1——氧含量(体积分数),10-6;φ2——氢含量(体积分数),10-6;φ3——一氧化碳含量(体积分数),10-6;φ4——二氧化碳含量(体积分数),10-6;φ5——甲烷含量(体积分数),10-6;φ6——水含量(体积分数),10-6。4.3高纯氮中氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定采用带有氧化锆检测器和氢火焰离子化
3、检测器的气相色谱仪测定氮中的氢、氧、一氧化碳、甲烷和二氧化碳。纯氮和高纯氮中的氢、氧、一氧化碳、甲烷的测定按HG/T2686执行。检测限0.1×10-6。氧含量允许采用GB/T6285规定进行测定。氢含量允许采用GB/T8981规定进行测定。4.4 高纯氢,高纯氦中氢、氧,氮含量的测定 4.4.1 方法提要 采用变温浓缩技术,热导色谱法测定。该法将被测组分在液氮温度下的吸附柱上定量吸附,然后于室温(水浴)下定量脱附,使样品中微量被测组分预先提浓,经色谱柱分离后,用热导池检测器进行检测。4.4.2 仪器本标准采用带有预浓缩系统的实验室色谱
4、仪,色谱流程图1。仪器的其他条件如稳压电源、测量桥路等与一般色谱仪相同,记录仪量程为O~1mV,检测器为四臂钨丝热导池,S值大于1000。4.4.3 测定条件 a.载气:高纯氢,高纯氦,符合本标准要求,流量40~60mL/min。 b. 浓缩柱:长约40~50cm,内径约4mm,内装粒度为0.25~0.40mm的601或TDX-01型碳分子筛3~4g。 c.色谱柱:长约3m,内径约4mm,内装约1m长的5A分子筛(粒度:0.25~0.40mm)和约2m长的椰壳活性碳(粒度:0.25~0.40mm)。该柱经活化处
5、理后,对各待测组分间的分离度(R)应大于1。 d. 吸附温度:-196oC(液氮温度)。脱附温度:室温(水浴)。4.4.4 准备工作4.4.4.1 将浓缩柱、色谱柱通干燥气体(浓缩柱禁止用氧气)加温活化处理。4.4.4.2 将所有活塞仔细涂好活塞油,检查色谱系统无泄漏。4.4.4.3 开启载气,调节流量至40~60mL,吹洗色谱系统约2h,接通仪器电源,待仪器工作稳定。4.4.4.4 转动活塞,关闭浓缩柱,套上液氮浴,5min后,取下液氮浴,套上室温水浴,记录仪上无色谱峰出现为正常。4.4.4.5 转动活塞,令载气通过浓
6、缩柱,在小心防止空气倒吸的情况下,浓缩载气5min,测定色谱系统空白值,应附合4.2.3条a的要求。4.4.5 操作步骤4.4.5.1 取样 将待测样气瓶经针型减压阀及金属管道与仪器紧密连接,开启螺旋夹、瓶阀、针型阀,以至少3次升降压的方法用样气充分置换阀体及管道,使所取样品具有代表性。4.4.5.2 浓缩 转动活塞6、ll、12,切断通往浓缩柱的载气,同时将样气以不高于1000mL/min的流量通过浓缩柱,吹洗3~5min后,关闭活塞12,将浓缩柱套上液氮浴,开通活塞12,样气流经鼓泡器15,由湿式流量计计量后放空。 浓
7、缩操作应始终保持在鼓泡器10鼓泡的情况下进行。样气的浓缩体积由仪器的检测限和待洲组分的含量选定。4.4.5.3 解吸 浓缩完毕后,关闭活塞ll,取下液氮浴,待20~50S后,放去吸附的氦,关闭活塞12,再将浓缩柱套上水浴,旋转活塞11、12、6,令载气通过浓缩柱,而后进入色谱柱。 读取浓缩体积(V1)。记录备待测组分的色谱流出曲线。测量色谱峰面积(A1)。4.4.5.4 标定 将标准混合气瓶经针型阀、金属管道与仪器连接,开启瓶阀、针型阀,在用标准气体以至少3次升降压的方法充分置换,取得代表样后,切换六通阀(F)进样。记录并测
8、量各组分色谱峰面积(A2) 标准混合气以氦气为底气,按GB/T 5274或GB/T 10627或GB/T 10628规定配制。其中
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