titin多层膜crcrn多层膜电弧离子镀调制周期腐蚀性能耐磨性论文

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1、电弧离子镀多层膜的工艺及性能研究【摘要】为了研究多层膜的力学性能和腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,本文采用电弧离子镀技术,通过周期性变换环境中N2和Ar气沉积时间,成功地在铜合金和不锈钢上获得不同调制周期的Ti/TiN和Cr/CrN多层膜,并对多层膜的结构和性能进行研究。结果表明：周期性的变换生长环境中的N2和Ar气的通入时间可以获得界面清晰的Ti/TiN和Cr/CrN多层膜。Ti/TiN沉积膜中含有面心立方结构的TiN相和六方结构的金属Ti相,TiN相具有明显(111)晶面的择优取向；Cr/CrN沉积膜主要由Gr、CrN两相组成,也有部分Cr2N相,CrN

2、(220)方向的择优取向较为明显。随调制周期增加,Ti/TiN多层膜硬度先提高后降低,在调制周期为550nm时具有最高的硬度2069HV；而Cr/CrN多层膜硬度随调制周期的增加而提高,在调制周期为1380nm时具有最高硬度3156HV,在相同调制周期时,Cr/CrN多层膜的硬度显著高于Ti/TiN多层膜的硬度。Ti/TiN和Cr/CrN多层膜与衬底的结合强度都随调制周期的增加先提高,到达最大值后下降,它们最大结合强度对应调制周期分别为480nm和650nm。Ti/T... 更多还原【Abstract】Inordertostudythemechanicalpro

3、pertiesandcorrosivepropertiesofmultilayerfilmsandpromotetheapplicationofmultilayerfilmsinindrustry,Ti/TiNmultilayerfilmsonCualloyandCr/CrNmultilayerfilmsonstainlesssteelalloywerepreparedbyarcionplatingbyadjustingthedepositiontimeofN2andArintheenvironment,Thestructureandpropertyofmult

4、ilayerfilmswerestudiedinthispaper.TheresultsshowthatTi/TiNmultilayerfilmsandCr/CrNmultilayerfilmswithclearlam... 更多还原【关键词】Ti/TiN多层膜；Cr/CrN多层膜；电弧离子镀；调制周期；腐蚀性能；耐磨性；【Keywords】Ti/TiNmultilayerfilms；Cr/CrNmultilayerfilms；arcionplating；modulationperiod；corrosiveresistance；wearresistance；摘要

5、5-6Abstract6-7第一章绪论10-201.1金属氮化物薄膜材料的发展现状10-121.2金属氮化物薄膜的性能及应用12-161.2.1二元金属氮化物薄膜12-131.2.2三元及多元金属氮化物薄膜13-141.2.3金属氮化物多层膜14-161.3薄膜制备的常用方法16-191.3.1物理气相沉积16-181.3.2化学气相沉积18-191.4课题研究的目的和意义19-20第二章实验材料与实验过程20-262.1实验材料202.2多层膜样品的制备20-222.2.1镀膜设备20-222.2.2多层膜的制备222.3多层膜的显微结构222.3.1膜层的表

6、面及断面形貌222.3.2膜层的XRD谱222.4多层膜的性能检测22-262.4.1硬度测试22-232.4.2结合强度23-242.4.3腐蚀性能24-252.4.4断裂韧性252.4.5摩擦系数25-26第三章实验结果与分析26-563.1Ti/TiN多层膜26-403.1.1Ti/TiN多层膜的微观组织26-303.1.2不同调制周期的Ti/TiN多层膜的XRD谱30-313.1.3不同调制周期的Ti/TiN多层膜的性能31-403.2Cr/CrN多层膜40-553.2.1Cr/CrN多层膜的微观组织40-443.2.2Cr/CrN多层膜的XRD谱44-

7、453.2.3不同调制周期的Cr/CrN多层膜的性能45-553.3Ti/TiN多层膜与Cr/CrN多层膜性能比较55-563.3.1硬度比较553.3.2耐腐蚀性比较553.3.3韧性的比较55-56第四章结论56-57参考文献