纯水系统操作指导书

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1、宜昌南玻硅材料有限公司硅片加工项目纯水系统操作说明22目录第1章前言2第2章设备操作维护规范3第3章单元操作说明43-1.盘式过滤器43-2.板式换热器43-3．UF超滤系统53-4.加药系统73-5.保安过滤器83-6.二级逆渗透RO系统93-7.水泵133-8.EDI系统163-9.抛光床系统233-10.UV紫外线杀菌机、除TOC机24第4章异常原因及对策2522第1章前言纯水系统是以活性炭过滤器、超滤系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO逆渗透膜作为二级除盐设备、EDI电

2、化去离子设备，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统，此系统具有完善、可靠的自动化性能及安全保护和报警功能，无需专人看管，并有误操作保护功能，配有远程监控系统，采用先进可靠的工控机及相应的监控组态，对系统实施远程监控并能打印相关参数。本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上。系统部件、设备、均采用了先进可靠的知名品牌，如：GE的EDI模块、陶氏或海德能的RO膜、GF仪表、富士/施耐德/OMRON/SIEMENS等品牌的电

3、器元件。22第2章设备操作维护规范开始操作此系统前，请操作、维护人员务必详读本操作手册，使系统达到最佳使用状况，同时确保系统的正常运行及延长设备使用年限。1.供应商在试车时，所调整的流量、压力等值请勿随意变动，并请操作人员做好详细的运行参数记录，若发现有异常变化，请及时通知供应商派人处理；2.设备的维护、管理、记录请派专人负责，并妥善保管记录资料及供应商所附的各项原始资料；3.设备在保固期内，要求每月月底传真一份设备的运行记录表至供应商，以便能及时发现问题，确保系统的正常运行；4.本超纯水系统为全自

4、动运行控制，运行时只需将所有开关置于自动状态即可，也可手动操作或半自动操作；5.手动操作及半自动操作：开机时必须先打开阀门，再开启水泵，关机时必须先关闭水泵，再关闭阀门。6.系统所用滤芯，当进出水压差大于1kg/cm2时请及时更换；7.请保存原水水质分析表，并随时注意是否异常；8.各种腐蚀药品，请远离设备；9.请尽量避免设备遭受日晒、雨淋；10.纯水站宜配备相应的检测仪表,检测水质,如SDI值、硬度、余氯等项目，每月进行一次水质检测，并记录相关数据。如在质保期内，数据超出正常标准，请及时与本公司联系

5、，以保证用户水质要求，否则由于操作维护不当所带来的损失将由业主自行承担。22第3章单元操作说明3-1.盘式过滤器3-1.1目的盘式过滤器的核心部分是叠放在一起的塑料滤盘，滤盘上有特制的沟槽或棱，相邻滤盘上的沟槽或棱构成一定尺寸的通道，粒经大于通道尺寸的悬浮物均被拦截下来，达到过滤效果。3-1.2设计规范能力：58T/H3-1.3操作过程盘式过滤器可采用时间或压差方式进行控制，实现全自动运行，时间控制的设备在运行一定时间后开始反冲洗；压差控制方式利用进出口之间的压差作为控制信号，当过滤器拦截的悬浮物达

6、到一定量时，压力损失会迅速增加，当进出水口之间的压差达到设定值时设备自动开始反冲洗。压差控制器同时具备压差、时间、手动三种控制功能，可通过手动按钮进行反冲洗。3-2.板式换热器3-2.1目的由于水温对RO膜的产水量影响较大，利用换热器来提高进水温度，使RO进水温保持在250C，确保了RO膜的产水量。3-2.2换热器规格能力：58T/H，两侧水温5℃至25℃热源：130℃饱和蒸汽3-2.3操作过程正常运行时为自动控制方式：通过换热器冷水侧出水管路上的在线温控仪，来控制换热器热源进入阀（电磁阀）的开启。

7、温控仪的设定值为250C，RO系统在采水状态，并且送水泵与高压泵已正常运行，检测水温低于250C时，温控仪将信号传至电磁阀并打开电磁阀。3-2.4注意事项1.通过调整蒸汽管路上的手动阀来控制蒸汽进气量，以保证冷水侧出水的温度在250C；2.RO采水时冷水侧出水的温度不得超过450C，否则将损坏RO膜；3.定期清洗蒸汽管路上的过滤器滤网，以确保管路畅通。223-3．UF超滤系统3-3.1目的UF超滤是一种与膜孔径大小相关的筛分过程，以膜两侧的压力差为驱动力，以超滤膜为过滤介质，在一定的压力下，当原液流

8、过膜表面时，超滤膜表面密布的许多细小的微孔只允许水及小分子物质通过而成为透过液，而原液中体积大于膜表面微孔径的物质则被截留在膜的进液侧，成为浓缩液，因而实现对原液的净化、分离和浓缩的目的。3-3.2设计参数工艺参数此种膜元件用于死端过滤的过滤方式。典型工艺参数如下膜过滤压降：50-100kPa反洗膜过滤压降：80-200kPa反洗通量：250-300l/m2.h反洗时间：30s反洗频率：1-2次/小时典型通量：70-100l/m2.系统参数：本工艺选择诺芮特SXL-2