PNSTONEWIB0712超纯水系统操作维护指导书.doc

《PNSTONEWIB0712超纯水系统操作维护指导书.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、PNSTONEWIB0712超纯水系统操作维护指导书　　上海博恩世通光电股份有限公司质量管理体系文件文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页1/16超纯水系统操作维护指导书版本与更改记载版本实施日期记载编制审核批准A/0xx/04/01首版上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页2/161目的确保机组的正常运行操作和良好的维护保养，保证生产需要。　　2适用范围本规程规定了超纯水制造运行操作步骤，内容，方法等等

2、，适用于超纯水制造机组的操作。　　整个系统包括碟片过滤，UF系统，RO系统，精密过滤装置，紫外线杀菌及总有机碳，脱气系统；EDI系统，抛光树脂桶。　　3职责厂务动力部负责设备的日常运行及维护。　　4定义无5控制内容5.1系统介绍5.1.1主要设备盘式过滤器；UF膜；原水泵；UF逆洗泵；5um过滤器；RO送水泵；一级RO增压泵；二级RO增压泵；RO膜；药洗泵；药洗过滤器；EDI送水泵；UV杀菌机；EDI送水泵；EDI模块；TOC-UV灯；1um过滤器；抛光树脂桶；0.1um过滤器，0.03um过滤器；脱氧

3、膜；真空泵；纯水增压泵。　　5.1.2辅助设备板式换热器；NaClO加药机；NaHSO3加药机；NaOH加药机；阻垢剂加药机；加药剂水箱；纯水桶氮封水箱；流量计；比例调节阀；背压阀；电动阀；气动阀；药洗水箱；UF反洗水箱；纯水箱；。PNSTONEWIB0712超纯水系统操作维护指导书　　上海博恩世通光电股份有限公司质量管理体系文件文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页1/16超纯水系统操作维护指导书版本与更改记载版本实施日期记载编制审核批准A/0xx/04/01首版上海博恩世通光

4、电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页2/161目的确保机组的正常运行操作和良好的维护保养，保证生产需要。　　2适用范围本规程规定了超纯水制造运行操作步骤，内容，方法等等，适用于超纯水制造机组的操作。　　整个系统包括碟片过滤，UF系统，RO系统，精密过滤装置，紫外线杀菌及总有机碳，脱气系统；EDI系统，抛光树脂桶。　　3职责厂务动力部负责设备的日常运行及维护。　　4定义无5控制内容5.1系统介绍5.1.1主要设备盘式过滤器；UF膜；原水泵；U

5、F逆洗泵；5um过滤器；RO送水泵；一级RO增压泵；二级RO增压泵；RO膜；药洗泵；药洗过滤器；EDI送水泵；UV杀菌机；EDI送水泵；EDI模块；TOC-UV灯；1um过滤器；抛光树脂桶；0.1um过滤器，0.03um过滤器；脱氧膜；真空泵；纯水增压泵。　　5.1.2辅助设备板式换热器；NaClO加药机；NaHSO3加药机；NaOH加药机；阻垢剂加药机；加药剂水箱；纯水桶氮封水箱；流量计；比例调节阀；背压阀；电动阀；气动阀；药洗水箱；UF反洗水箱；纯水箱；。　　5.2工作原理流程5.2.1超纯水系统就

6、是一个去离子的过程将水中的导电介质几乎完全祛除，又将水中胶体物质；气体及有机物均去除至很低程度的水。　　使它的电阻率大于18MΩ.cm。　　5.2.2超纯水系统先经过盘滤去除大于100um的颗粒；超滤去除颗粒细菌及病毒；RO逆渗透去除水中96%离子及悬浮污泥；脱氧膜去除水中的溶解氧及部分二氧化碳；EDI去除水中TDS;抛光树脂除盐。　　除抛光树脂桶外超纯水就是一个流经膜的过程。　　5.2.3EDI是借助离子交换树脂的离子交换作用以及阴阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用，在直流电场的作用下，实现离子

7、定向迁移，从而完成对水的深度除盐。　　由于离子交换、离子迁移及离子交换树脂的电再生相伴发生，犹如一个边交换边再生的混和离子交换树脂柱，可以连续不断地制取高纯水，因而该过程又称连续去离子。　　上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页3/165.3控制区域1FL洁净生产车间（研磨间；SCRUBBER间；清洗台间；光刻间）动力房所需的RO水1FL/2FL空调箱加湿用水制程冷却水5.4工作流程，内容和质量要求5.4.1开机前检查5.4.1

8、.1检查MCP及EDI电源柜通电将所有控制盘面板各动力机器（泵与电动阀）的选择开关打到“停止”位置；EDI电柜面板电源选择开关打到“停止”位置。　　5.4.1.2检查需要气体阀门的开启5.4.1.2.1检查CDA球阀是否开启，调节入口调压阀，使CDA压力在0.42MPA5.4.1.2.2检查N2球阀是否开启，调节入口调压阀，使N2压力暂处在0.11MPA5.4.1.3检查所需要关闭的阀（手动阀）5.4.1.3.1检查UF药洗回水阀关闭，UF